기판전면에 패턴 없이 15 nm Co/15 nm Ni/70 nm polysilicon/200 nm $SiO_2$/Si(100) 구조로 적층된 구조로부터 급속열처리기 (rapid thermal annealer : RTA)를 이용하여 40초간 700, 900, $1000^{\circ}C$의 실리사이드화 온도를 변화시키면서 CoNi 복합실리사이드를 형성하였다. 완성된 두께 100 nm 정도의 CoNi 복합실리사이드층으로 배선층을 만든다고 상정하여, 이중 집속이온빔(dual beam focused ion beam : FIB)을 써서 30 kV에서 표면전류를 $1{\sim}100$ pA 범위에서 조절하면서 나노급 선폭제작의 가능성을 확인하였다. 각 온도별 복합실리사이드에 동일한 이온빔 조건으로 $100{\mu}m$ 길이의 패턴을 만들고, 이온빔으로 양 끝단에 트렌치를 만들어 FE-SEM으로 각 조건에서의 선폭, 두께, 최종 에칭형상을 확인하였다. 기존 형상변형이 많아서 나노급 선폭 구현이 불리한 폴리사이드 공정에 비해서, 최초로 새로운 저저항 복합실리사이드에 대해서 100 nm 이하의 나노급 피치를 가진 선폭 제작이 $30kV{\sim}30pA$ 범위에서 가능하였다.
기지국 안테나의 수직 패턴 형태는 자기 셀 뿐만 아니라 인접 셀의 통신 품질에도 크게 영향을 미치므로, 셀의 설계에 있어서 매우 중요한 고려 사항이다. 현재 기지국 안테나에 적용되는 수직 패턴의 형태는 크게 5가지로 분류될 수 있다. 안테나의 설계에 있어서, 5가지의 수직 패턴은 단독으로 적용되기도 하고, 또는 복합적으로도 적용될 수 있다. 본 논문에서는 상측의 부엽이 억압되고, 하측의 널이 널 필링된 수직 패턴을 갖으며, 또한, 수직면 상에서 연속적인 전기적 다운 틸팅이 가능한 이중 편파의 기지국용 안테나를 설계 및 제작하였다. 성형 빔 합성은 R. S. Elliott이 제안한 패턴 합성법들을 순차적으로 사용하여 구현하였으며, 또한 전기적인 다운 틸팅 기능을 위해 위상 배열 안테나 기술이 적용되었다. 측정한 결과, 0°~14°의 연속적인 다운 틸팅 범위와 13.3dBi 이상의 이득, 그리고 최대 -23dB의 상측 부엽 성능이 나타났다. 또한, 다운 틸팅 시에도 상측 부엽의 변화가 크지 않음을 확인할 수 있었으며, 패턴의 널 필링 특성도 전반적으로 양호하다.
Purpose: This study aimed to evaluate the use of dental cone-beam computed tomography (CBCT) in the diagnosis of osteoporosis among menopausal and postmenopausal women by using only a CBCT viewer program. Materials and Methods: Thirty-eight menopausal and postmenopausal women who underwent dual-energy X-ray absorptiometry (DXA) examination for hip and lumbar vertebrae were scanned using CBCT (field of view: $13cm{\times}15cm;$ voxel size: 0.25 mm). Slices from the body of the mandible as well as the ramus were selected and some CBCT-derived variables, such as radiographic density (RD) as gray values, were calculated as gray values. Pearson's correlation, one-way analysis of variance (ANOVA), and accuracy (sensitivity and specificity) evaluation based on linear and logistic regression were performed to choose the variable that best correlated with the lumbar and femoral neck T-scores. Results: RD of the whole bone area of the mandible was the variable that best correlated with and predicted both the femoral neck and the lumbar vertebrae T-scores; further, Pearson's correlation coefficients were 0.5/0.6 (p value=0.037/0.009). The sensitivity, specificity, and accuracy based on the logistic regression were 50%, 88.9%, and 78.4%, respectively, for the femoral neck, and 46.2%, 91.3%, and 75%, respectively, for the lumbar vertebrae. Conclusion: Lumbar vertebrae and femoral neck osteoporosis can be predicted with high accuracy from the RD value of the body of the mandible by using a CBCT viewer program.
This paper presents a numerical study on the rotordynamic analysis of a dual-spool turbofan engine in the context of blade defect events. The blades of an axial-type aeroengine are typically well aligned during the compressor and turbine stages. However, they are sometimes exposed to damage, partially or entirely, for several operational reasons, such as cracks due to foreign objects, burns from the combustion gas, and corrosion due to oxygen in the air. Herein, we designed a dual-spool rotor using the commercial 3D modeling software CATIA to simulate blade defects in the turbofan engine. We utilized the rotordynamic parameters to create two finite element Euler-Bernoulli beam models connected by means of an inter-rotor bearing. We then applied the unbalanced forces induced by the mass eccentricities of the blades to the following selected scenarios: 1) fully balanced, 2) crack in the low-pressure compressor (LPC) and high pressure compressor (HPC), 3) burn on the high-pressure turbine (HPT) and low pressure compressor, 4) corrosion of the LPC, and 5) corrosion of the HPC. Additionally, we obtained the transient and steady-state responses of the overall rotor nodes using the Runge-Kutta numerical integration method, and employed model reduction techniques such as component mode synthesis to enhance the computational efficiency of the process. The simulation results indicate that the high-vibration status of the rotor commences beyond 10,000 rpm, which is identified as the first critical speed of the lower speed rotor. Moreover, we monitored the unbalanced stages near the inter-rotor bearing, which prominently influences the overall rotordynamic status, and the corrosion of the HPC to prevent further instability. The high-speed range operation (>13,000 rpm) coupled with HPC/HPT blade defects possibly presents a rotor-case contact problem that can lead to catastrophic failure.
본 논문에서는 Sierpinski 프랙탈 구조를 이용하여 이중 대역에서 동작하는 배열 안테나를 제안하였다. 거울 대칭 형태의 $2{\times}2$ 배열 구조는 상부 $1{\times}2$ 배열과 하부 $1{\times}2$ 배열 간에 $180^{\circ}$ 위상차를 인가하면 cellular 대역과 WCDMA 대역에서 broadside 방향으로 복사 패턴을 형성한다. 따라서, 동위상 급전 회로를 적용하기 위해 배열 구조에서 상부와 하부 배열 간에 패치와 그라운드의 위치를 변경하여 위상 반전 구조를 구현하였다. 배열 안테나는 $28{\times}30{\times}5\;cm^3$의 크기를 가지며, -10 dB 반사 손실 대역은 1차 대역에서 855~1,380 MHz(47 %), 2차 대역에서 1,770~2,330 MHz(27 %)이다. 이득은 1차 대역에서 9.06~12.44 dBi, 2차 대역에서 11.76~14.84 dBi이다. 1,100 MHz에서 x-z 평면의 반전력 빔 폭은 $57^{\circ}$, y-z 평면의 반전력 빔 폭은 $46^{\circ}$이고, 2,050 MHz에서는 각각 $43^{\circ}$와 $28^{\circ}$이다.
A technical overview on the various sample preparation methods for electron backscattered diffraction (EBSD) analysis is carried out. The mechanical polishing with colloidal silica finish, electro-chemical polishing, dual layer coating and ion beam milling are introduced for the common sample preparation methods for EBSD observation and some issues that are frequently neglected by the common EBSD users but should be considered to get a reliable EBSD data are discussed. This overview would be especially helpful to the people who know what EBSD technique is but do not get a reliable EBSD data because of difficulties in sample preparation.
GPS/GLONASS 통합 수신기에서 사용 할 수 있도록 광대역 원편파 특성을 나타내면, 개인 휴대 및 차량용으로도 사용하기 적합한 작은 크기의 세라믹 유전체 패치 안테나를 설계, 제작하였다. 소형화를 위하여 높은 비유전율을 갖는 세라믹 유전체를 이용하였으며, 90。 위상차의 이중 급전 구조를 사용하여 광대역 특성을 구현하고, 또한 원하는 대역에서 낮은 축비를 구현하였다. 제작된 안테나는 -15 dB 대역폭 242 MHz, 축비 3 dB 이하 112。이상의 넓은 반전력 빔폭을 나타내면, GPS 및 GLONASS 신호를 동시에 수신하기 위한 안테나의 특성을 만족하였다.
서로 대칭되는 이중 조명을 이용한 홀로그래피 네파간섭계를 구성하여 횡변위와 종변위를 동시에 측정하였다. 물체파와 재생파의 간섭을 일으킨 후 위상이동법으로 변위위상도를 작성하였으며 최소제곱법맞춤으로 위상도의 잡음을 제거하였다. 이러한 방법으로 네파간섭계의 두 광로에 존재하는 위성의 차와 합에 대한 정보를 구하였으며, 파장 632.8 nm인 헬륨-네온 레이저 광선에 대하여 종변위와 횡변위는 각각 정밀도 .lambda./40 및 .lambda./100 이내로 측정되었다.
In focused-ion-beam (FIB) application of micromachining and device transplantation, four kinds of FIB processes, namely FIB sputtering, FIB-induced etching, redeposition, and FIB-induced deposition, are well utilized. As with FIB systems, scanning electron microscopes(SEMs) were extensively used in the semiconductor industry. They are the tools of choice for defect review and providing the image resolution needed for process monitoring. The enhanced capabilities of a dual-column on one chamber system are quickly becoming realized by the nano industry for performing a wide range of application.
This paper presents the design of two antennas for the Dual-channel Radiometers for Earth and Atmosphere Monitoring (DREAM) the main payload, will be launched at NARO space center in Korea in 2007. The antennas are designed to meet stringent requirements of a very high beam efficiency, good pattern symmetry, and low VSWR, at 23.8 GHz and 37 GHz bands. Corrugated horn antennas are used. The simulation results of the electrical performance are presented.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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