An electromagnetic flowmeter(EMF) was developed and its characteristics were compared with a commercial EMF. The measuring tube of the EMF was basically designed as 100 m diameter. A signal processing circuit was also developed for generating the magnetic field and converting the flow signal to flowrate and flow quantity. To obtain a more stable and reliable flow signal, the double magnetizing frequency was adopted for magnetizing the coil of the EMF For the characterization of EU, the uncertainty of calibrator was estimated within ${\pm}0.5{\%}$, the method of estimation was in accordance with the ISO 17025 recommendation. It was found that the flow signals between the electrodes were about ${\pm}60\;-\;{\pm}300{\mu}V$, which were sufficient for the discrimination of the flowmeter and protecting the noise. The test result against the calibrator, showed the good linearity in the range of $3 m^{3}/h\;and\;70m^{3}/h$. A commercialized design of the EMF will be technically more competitive in domestic and foreign market.
본 논문에서는 반도체 생산 공정 중 클리닝 공정 설비에서, 웨이퍼의 장착 위치를 인식하는 영상 인식 시스템을 제안한다. 제안한 시스템은 웨이퍼의 위치 이탈에 따른 위치오차 발생 시 이를 클리닝 설비에 전달하여, 웨이퍼 클리닝 장비의 파손을 방지하여 시스템의 신뢰성과 경제성을 높이기 위한 것이다. 제안한 방법은 기존의 시스템에서 체스보드 형태의 캘리브레이터를 사용시 발생되는 오차를 줄이기 위하여 방사형 캘리브레이터를 디자인 및 제작하고 이의 매핑합수를 구하는데 있다. 제안한 시스템은 고 신뢰성과 고 정밀의 위치인식 알고리즘을 사용하여, 효율적으로 웨이퍼 인라인 공정에 설치함을 목표로 하며 실험결과 기존의 방법에 비해 충분한 허용 기준 내에서 오차를 검출해내는 좋은 성능을 보여준다.
Light Oil Flow Standard System(LOFSS), as a national oil flow standard system, in Korea Research Institute of Standards and Science(KRISS) was developed for oil flowmeter calibration, and the expanded uncertainty of flow quantity determination was estimated within 0.04 %. In order to improve the reliability of the LOFSS measurement, a proficiency test was carried out in the flow range of 20 and $240\;m^3/h$ (Reynolds number $20,000{\sim}900,000$). A turbine flowmeter was used as a transfer package in round robin test. The water flow standard system of KRISS, the pipe prover of the national calibration and test organization and the master meter calibrator of the turbine flowmeter supplier, which used the different working fluid respectively, were compared with the turbine flowmeter measurement. The maximum difference of measurement was 0.15 % between the LOFSS and the pipe prover. The En numbers of the each system measurement were evaluated at the same Reynolds number. It was found that the En numbers were less than 1 in the comparison, which means the procedures of the uncertainty estimation of the each calibrators were reasonable and reliable.
Coriolis mass flowmeter(CMF), which can measure the mass flow directly, is getting rapid attention for the industrial and custody transfer purpose. In order to study the characteristics and the applicability of CMF, it is tested with the national flow standard system. Two types of sensing tube, U-type and straight type, are employed in the test. Water, spindle oil and viscosity Standard Reference Material whose viscosities are 1, 20 and, 67 $\textrm{mm}^2$/s, respectively, are studied. It is shown that the linearity of CMF is getting deteriorated as the fluid viscosity increases, which is due to the zero drift and the relaxation time of the fluid. To test its applicability in the case of high pressured gas, it is calibrated using compressed air, It shows 1∼l.6 % deviations compared to the calibration results using water. It concludes that the fluid velocity in CMF should be lower than the sonic velocity. In addition, the effects of the vibration from the pipeline and pump on CMF as well as the long term stability are studied.
In this paper, we investigate the characteristics of a piezoresistive AFM cantilever in the range of $0\~30{\mu}N$ by using nano force calibrator (NFC), which consists of a high precision balance with resolution of 1 nN and 1-D fine positioning stage. Brief modeling of the cantilever is presented and then, the calibration results are shown. Tests revealed a linear relationship between the probing force and sensor output (resistance change), and the force vs. deflection. From this relationship, the force constant of the cantilever was calculated to 3.45 N/m with a standard deviation of 0.01 N/m. It shows that there is a big difference between measured and nominal spring constant of 1 N/m provided by the manufacturer s specifications.
The calibration technique of Time Resolved Laser Induced Incandescence was investigated both experimentally and numerically by using standard-sized carbon black particles for the instantaneous soot measurement at exhaust tail pipe in engine. The carbon black particles (19nm, 25nm, 45nm and 58nm) used in this study are similar, though not identical, to soot particle generated from flame not only in morphology but also in micro-structure. The amount of soot loading in flow was controled by a diluted gas (nitrogen) and was measured by the gravimetric method at exhaust pipe in calibrator. The successful calibrations of primary particle size and soot mass fraction were carried out at the range from 19nm to 58nm and from $0.25mg/m^3$ to $37mg/m^3$ respectively. And based on these results the numerical simulation of LII signal was tuned and the effect of an exhaust temperature variation on the decay rate of LII signal was corrected.
A Process of 3-D Particle image velocimetry, called here, as '3-D volume PIV' was developed for the full-field measurement of 3-D complex flows. The present method includes the coordinate transformation from image to camera, calibration of camera by a calibrator based on the collinear equation, stereo matching of particles by the approximation of the epipolar lines, accurate calculation of 3-D particle positions, identification of velocity vectors by 3-D cross-correlation equation, removal of error vectors by a statistical method followed by a continuity equation criterior, and finally 3-D animation as the post processing. In principle, as two frame images only are necessary for the single instantaneous analysis 3-D flow field, more effective vectors are obtainable contrary to the previous multi-frame vector algorithm. An Experimental system was also used for the application of the proposed method. Three analog CCD camera and a Halogen lamp illumination were adopted to capture the wake flow behind a bluff obstacle. Among 200 effective particle s in two consecutive frames, 170 vectors were obtained averagely in the present study.
There are many typesof accelerometer sensor. There was mainly used high-g accelerometer to obtain data for vehicle in crash test. Accelerometer was mounted on test vehicle with mounting blocks. Test result can be influenced by condition of mounting i.e. bonding material and type of block. These influences can be evaluated to variation of sensitivity in calibration test. In this paper, Calibration test were carried out for 3 types of bonding material i.e. stud, beewax and double side tape. Other factor was taken into consideration by 3-types for mounting block. All test was conducted by sinusoidal signal vibrator up to 4500Hz. In order to investigate influence for sensitivity from different input voltage in the calibrator, the same test was repeated. Test results were compared with standard accelerometer data. Relative sensitivities and phases were showed small difference in sensitivity for bonding materials with one block, but significant one for another block and different input voltage below 1000Hz.
IEC 60270 에서는 부분방전 시험회로와 측정 시스템에 관하여 기술하고 있을 뿐 아니라 측정 시스템의 교정 및 교정기(Calibrator) 와 측정 시스템의 유지 관리 방법에 대해서 규정하고 있다. 유지관리 방법으로는 type tests, routine tests, performance tests, performance checks 가 있으며, 본 논문에서는 사용자가 주기적으로 시행하는 performance tests, performance check 에 관하여 기술한다.
This paper describes the standard system for calibrating pulse generator of partial discharge(PD) and its uncertainty. The system is consisted of digital pulse generator, digital recorder and evaluation software. The uncertainty requirement of calibrator charge is less than $\pm$ (0.1pC + 0.03q) and that of pulse duration is less than $\pm$ 10 %. The system can generate various kind of calibration pulses such as single pulse, double pulses, oscillation pulse, long-duration pulse, random pulses and evaluate their uncertainty.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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