집속 이온빔 마이크로리소그라피를 위한 비정질 $Se_{75}Ge_{25}$ 무기질 레지스터의 이온 유기 변화
(Ion-Induced Changes in a $Se_{75}Ge_{25}$ Inoaganic Resist for Focused Ion Beam Microlithgraphy)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 1992년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.30-33
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- 1992