• 제어로봇시스템학회논문지
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• 제3권3호
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• pp.238-243
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• 1997

A new transfer alignment algorithm using the velocity and the quaternion partial matching methods is proposed to reduce the effect of a ship's Y-axis flexure on the performance of azimuth error estimation of Kalman filter. The simulation results show that it can significantly reduce the effect of Y-axis flexure on error estimation by the transfer alignment algorithm. As its results, azimuth transfer alignment error is reached up to 3 mrad under proper roll and pitch attitude motion of the ship.

• 한국항공우주학회지
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• 제48권12호
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• pp.987-995
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• 2020

고성능 탑재체들과 자세제어 센서들 간의 정밀정렬은 인공위성의 정확한 자세지향 및 높은 지향 안정성을 위해 필수적이다. 위성 개발사들은 조립 및 시험기간 동안 위성 정렬을 위해 데오드라이트 측정 시스템을 주로 사용한다. 데오드라이트 측정 시 시선 방향 오차, 수평축의 오차, 수직방향 인덱스 오차 그리고 수직축 오차로 인해 측정오차가 발생할 수 있다. 이러한 오차들 뿐 아니라 다수의 데오드라이트를 사용한 측정 시 발생할 수 있는 오차들을 정렬큐브 측정실험을 통해 분석하였다. 정렬큐브 측정실험을 기반으로 정렬측정 정확도를 향상시킬 수 있는 방법이 제안되었고, 측정 결과 위성의 설계 요구조건도 만족시킬 수 있었다.

• 한국광학회지
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• 제15권6호
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• pp.527-530
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• 2004

회전검광자방식 편광분석방법을 이용하여 LCD (liquid crystal display) 편광판에 부착되어 있는 보상판의 느린축이 편광판의 투과축 대비 틀어진 각도를 0.1도 이내로 정밀하게 측정할 수 있는 방법을 제안하였다. 본 방법을 이용하면 보상판을 LCD 편광판과 접합하는 공정에서 발생하는 광축정렬의 오차를 줄일 수 있고 궁극적으로 LCD의 화질을 일정하게 유지, 관리하는데 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 1997년도 Advance Program of 14th optics andquantum Electronics conference, 1997제14 회 광학 및 양자전자 학술 발표회 논문 요약집
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• pp.65-65
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• 1997

• 한국광학회지
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• 제4권1호
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• pp.15-21
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• 1993

본 연구에서는 설계제작된 KrF 엑시머 레이저 스텝퍼는 광원인 KrF엑시머 레이저, 조명광학계, 축소트영광학계, 정밀구동 웨이퍼 스테이지, 정렬시스템 및 이들을 제어하기 위한 제어계로 구성되어 있다. 본 실험에서 사용한 KrFdprtlaj 레이저는 밴드폭 3pm, 반복주파수 200Hz, 평균축력 3W이고, 5:1 투영렌즈는 N.A. 0.42, 전체 필드영역 $\varphi$21.2mm, 왜곡수차 최대 60nm 이하이다. 또한 정밀구동 웨이퍼 스테이지의 재현성과 해상도는 각각 $\pm$0.08$\mu\textrm{m}$/200mm(3 sigma), 100mm 반경에서 0.05 $\mu\textrm{m}$이다. 자동 초점 시스템은 $\pm$50$\mu\textrm{m}$범위에서 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈으며, 자동수평시스템은 120 arcsec 범위에서 larcsec의 해상도를 나타냈다. OFF-AXIS 정렬방식에서는 0.2$\mu\textrm{m}$의 해상도를 가지며, 두빔의 간섭을 이용한 새로운 TTL 정렬은 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈다. 스텝퍼 패턴 실험결과 SAL603레지스트를 사용하였을 때 웨이퍼의 노광후 열처리 $105^{\circ}C$, 60초에서 0.3$\mu\textrm{m}$ Lines and Spaces(L/S)까지 해상되었으며, 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S에서 1$\mu\textrm{m}$의 초점심도를 얻을 수 있었다. 마스크 패턴과 레지스트 패턴의 선형성은 0.4$\mu\textrm{m}$ L/S가지 유지 되었다. 또한 XP-89131레지스트의 경우 노광후 열처리 $110^{\circ}C$, 60초에서 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S까지 해상됨을 알수 있었다.

• 제어로봇시스템학회논문지
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• 제17권11호
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• pp.1159-1167
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• 2011

A novel 3D tube scanning technique is proposed. The proposed tube scanning technique is developed for a special tube inspection module which consists of four line-lasers and one camera. Using the scanning module, we can reconstruct the 360 degree shapes of the inner surfaces of a cylindrical tube. From an image frame captured by the camera, we reconstruct a partial tube model based on four laser triangulations. Then by aligning such partial models with respect to a reference tube axis, a complete 3D shape of the tube is reconstructed. The tube axis in each reconstructed frame is aligned with a 3D Euclidean transformation to the reference axis. Several experiments show that the proposed method can align multiple tube axes very accurately and reconstruct 3D shapes of a tube with very low shape distortion.

• 대한기계학회논문집A
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• 제30권9호
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• pp.1166-1172
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• 2006

This paper describes an alignment method of the ion column which is used for a focused-ion-beam machining system. The alignment parameters for mechanical and electrical components are introduced, and also sample images are used for evaluating the experiments. The experimental results show that geometrical positions of mechanical components have an influence on the quality of emitted ion beam. In addition, we can successfully align the traveling axis of ions by using mechanical and electrical methods.

• 천문학회보
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• 제42권1호
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• pp.56.4-57
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• 2017

The Schwarzschild-Chang off-axis telescope is a "linear astigmatism-free" confocal system. The telescope comprises two pieces of aluminum-alloy freeform mirrors that are fabricated with diamond turning machine (DTM) process. We designed optomechanical structures where optical components in the telescope system can be adjustable on a linear stage. Optomechanical deformation caused by the weight of system itself and its temperature variation is analyzed by the finite element analysis (FEA). The results show that the deformation is estimated in the tolerance range. For the optic-axis alignment of telescope system, three-point alignment (TPA) method is chosen. The TPA method uses three parallel lasers and a plane mirror. Point source images were taken from collimated light and field observation. The performance of optical system was tested by point spread function and aberration measurement of the point sources.

• 대한족부족관절학회지
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• 제10권2호
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• pp.140-143
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• 2006

Purpose: To present tibial axis-talar ratio and tibia-ankle surface angle in lateral measured on standing ankle lateral radiographs of adults who did not have specific ankle pathology. Materials and Methods: On Fifty-six radiographs without ankle osteoarthritis and malalignment, radiographic measures were performed with use of a custom dizitizing program based on $PV-WAVE^{(R)}$. AP ankle alignment was quantified by tibia axis-talar ratio (TTR) and tibia ankle surface angle in lateral (TLS angle). The data was compared with previously reported american data and analyzed using a t-test. Results: The average TTR and TLS angle of our series were $33.9{\pm}3.3%$, and no significant difference compared with reported american adults (p=0.152). Conclusion: The T-T ratio and TLS angle measured on standing ankle lateral radiographs of our series were $33.9{\pm}3.3%$ and $80.4{\pm}3.3^{\circ}$. This measures appear to be a useful measure for determining AP ankle alignment.

• 한국정밀공학회지
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• 제17권9호
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• pp.75-80
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• 2000

Although laser interferometer is widely accepted as a tool for measurement of motion accuracy the set-up procedure is time-consuming because of the strict requirement on alignment between laser head and optic units. This paper presents a 4-axis auto-aligning system which is useful for easy set-up of laser interferometer so as to evaluate precision of a 2-axis feeding system. This paper proposes two ideas for alignment in laser interferometer set-up: one is use of mirror and retroreflectors. and the other is taking advantage of the pre-defined movement and peculiar characteristic of retroreflecotrs. The pros and cons of the two methods are discussed. Illustrative experimental results are presented in which the developed system is applied to a XY table.