• 제목/요약/키워드: a-Si:H

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Magnetized inductively coupled plasma etching of GaN in $Cl_2/BCl_3$ plasmas

  • Lee, Y.H.;Sung, Y.J.;Yeom, G.Y.
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 1999년도 추계학술발표회 초록집
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    • pp.49-49
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    • 1999
  • In this study, $Cl_2/BCI_3$ magnetized inductively coupled plasmas (MICP) were used to etch GaN and the effects of magnetic confinements of inductively coupled plasmas on the GaN etch characteristics were investigated as a function of $Cl_2/BCI_3$. Also, the effects of Kr addition to the magnetized $Cl_2/BCI_3$ plasmas on the GaN etch rates were investigated. The characteristics of the plasmas were estimated using a Langmuir probe and quadrupole ma~s spectrometry (QMS). Etched GaN profiles were observed using scanning electron microscopy (SEM). The small addition of $Cl_2/BCI_3$ (10-20%) in $Cl_2$ increased GaN etch rates for both with and without the magnetic confinements. The application of magnetic confinements to the $Cl_2/BCI_3$ inductively coupled plasmas (ICP) increased GaN etch rates and changed the $Cl_2/BCI_3$ gas composition of the peak GaN etch rate from 10% $BCI_3$ to 20% $BCI_3$. It also increased the etch selectivity over photoresist, while slightly reducing the selectivity over $Si0_2$. The application of the magnetic field significantly increased positive $BCI_2{\;}^+$ measured by QMS and total ion saturation current measured by the Langmuir probe. Other species such as CI, BCI, and CI+ were increased while species such as $BCl_2$ and $BCI_3$ were decreased with the application of the magnetic field. Therefore, it appears that the increase of GaN etch rate in our experiment is related to the increased dissociative ionization of $BCI_3$ by the application of the magnetic field. The addition of 10% Kr in an optimized $Cl_2/BCI_3$ condition (80% $Cl_2/$ 20% $BCI_3$) with the magnets increased the GaN etch rate about 60%. More anisotropic GaN etch profile was obtained with the application of the magnetic field and a vertical GaN etch profile could be obtained with the addition of 10% Kr in an optimized $Cl_2/BCI_3$ condition with the magnets.

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Research on the Multi-electrode Plasma Discharge for the Large Area PECVD Processing

  • Lee, Yun-Seong;You, Dae-Ho;Seol, You-Bin
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.478-478
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    • 2012
  • Recently, there are many researches in order to increase the deposition rate (D/R) and improve film uniformity and quality in the deposition of microcrystalline silicon thin film. These two factors are the most important issues in the fabrication of the thin film solar cell, and for the purpose of that, several process conditions, including the large area electrode (more than 1.1 X 1.3 (m2)), higher pressure (1 ~ 10 (Torr)), and very high frequency regime (VHF, 40 ~ 100 (MHz)), have been needed. But, in the case of large-area capacitively coupled discharges (CCP) driven at frequencies higher than the usual RF (13.56 (MHz)) frequency, the standing wave and skin effects should be the critical problems for obtaining the good plasma uniformity, and the ion damage on the thin film layer due to the high voltage between the substrate and the bulk plasma might cause the defects which degrade the film quality. In this study, we will propose the new concept of the large-area multi-electrode (a new multi-electrode concept for the large-area plasma source), which consists of a series of electrodes and grounds arranged by turns. The experimental results with this new electrode showed the processing performances of high D/R (1 ~ 2 (nm/sec)), controllable crystallinity (~70% and controllable), and good uniformity (less than 10%) at the conditions of the relatively high frequency of 40 MHz in the large-area electrode of 280 X 540 mm2. And, we also observed the SEM images of the deposited thin film at the conditions of peeling, normal microcrystalline, and powder formation, and discussed the mechanisms of the crystal formation and voids generation in the film in order to try the enhancement of the film quality compared to the cases of normal VHF capacitive discharges. Also, we will discuss the relation between the processing parameters (including gap length between electrode and substrate, operating pressure) and the processing results (D/R and crystallinity) with the process condition map for ${\mu}c$-Si:H formation at a fixed input power and gas flow rate. Finally, we will discuss the potential of the multi-electrode of the 3.5G-class large-area plasma processing (650 X 550 (mm2) to the possibility of the expansion of the new electrode concept to 8G class large-area plasma processing and the additional issues in order to improve the process efficiency.

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한국 희귀 특산식물 꼬리말발도리 집단의 유전적 다양성 및 구조 (Genetic Diversity and Structure of the Korean Rare and Endemic Species, Deutzia pdaniculata Nakai, as Revealed by ISSR Markers)

  • 손성원;최경수;박규태;김은혜;박선주
    • 한국자원식물학회지
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    • 제26권5호
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    • pp.619-627
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    • 2013
  • 꼬리말발도리(Deutzia paniculata Nakai)는 전 세계적으로 우리나라 경상남북도 일부지역에만 자생하는 매우 제한된 분포범위를 가지는 특산식물이다. 이러한 꼬리말발도리 집단의 유전적 다양성 및 구조를 조사하기 위해 5집단 155개체에 대한 ISSR(Inter Simple Sequence Repeat) 분석이 수행되었다. 총 6개의 ISSR 프라이머를 이용하여 31개의 증폭산물을 관찰하였으며, 집단 수준에서의 유전적 다양성의 평균은 SI(Shannon's information index)=0.429, h (Nei's genetic diversity)=0.271로, 매우 높은 수준으로 나타났다. 집단별로는 큰 차이는 없었지만 비교적 높은 개화율을 보이는 밀양, 양산 집단이 다른 집단에 비해 다소 높은 유전 다양성을 유지하고 있는 것으로 나타났다. AMOVA 분석 결과 전체 유전변이의 약 16%가 집단 간 차이에 기인하는 것으로 설명되었으며, 나머지 84%는 집단 내 개체간에 존재하는 것으로 나타났다. 이처럼 제한된 분포범위를 가지는 꼬리말발도리 집단에서 나타나는 높은 유전다양성과 집단간 낮은 유전적 분화율은 완전 타가수정하는 교배양식과 집단내 비교적 풍부한 개체수의 영향인 것으로 판단된다. 따라서 현재의 유전다양성을 유지할 수 있는 적절한 현지 내 보전대책 수립이 요구된다.

태백산의 관속식물상 (Vascular Plants in Mt. Taebaeksan(Taebaek-si), Korea)

  • 신현탁;윤정원;김상준;허태임;권영한;임동옥;안종빈
    • 한국환경생태학회지
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    • 제29권3호
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    • pp.309-332
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    • 2015
  • 본 연구는 강원도 태백시에 위치한 태백산 도립공원 지역의 관속식물의 분포조사를 수행하고자 실시하였다. 조사는 2014년 4월부터 2014년 10월까지 실시하였다. 그 결과 관속식물은 총 79과 238속 352종 4아종 43변종 7품종 406분류군을 확인하였다. 그 중 특산식물은 키버들, 진범, 홀아비바람꽃 등 8분류군, 산림청 지정 희귀식물은 VU등급 두메개고 사리 등 4분류군, LC등급 세잎종덩굴, 너도바람꽃, 등칡 등 12분류군까지 총 16분류군을 확인하였다. 식물구계학적 특정식물은 총 107분류군으로 V등급 좀미역고사리, 눈측백, 승마 3분류군, IV등급 골개고사리, 들바람꽃, 회리바람꽃 등 14분류군, III등급 분비나무, 주목, 거제수나무 등 31분류군, II등급 다람쥐꼬리, 좀나도히초미, 가래고사리 등 32분류군,I등급 관중, 낚시고사리, 잣나무 등 27분류군이 각각 조사되었다. 또한 귀화식물은 닭의덩굴, 소리쟁이, 유럽점나도나물 등 16분류군으로 확인되었으며, 도시화지수는 5%, 귀화율은 3.9%로 각각 나타났다.

마른멸치(Engraulis japonicus) 첨가 쌀(Oryza sativa) Collet을 이용한 Snack의 제조 및 저장안정성 (Preparing and Maintaining the Quality of Snacks Made from Rice Oryza sativa and Dried Anchovy Engraulis japonicus)

  • 강경훈;박시영;제해수;강영미;성태종;윤문주;김정균
    • 한국수산과학회지
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    • 제49권6호
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    • pp.758-765
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    • 2016
  • This study investigated the quality, sensory characteristics, and commercialization potential of a rice snack made from dried anchovy Engraulis japonicus. Mild and spicy snacks were produced using a single extruder, with an oil coating or seasoning, respectively. The approximate respective compositions of the mild and spicy snacks were as follows: moisture 5.20% and 4.71%; crude protein 8.71% and 8.59%: crude lipids 21.14% and 28.5%; ash 1.57% and 1.82%; salt 1.5% and 1.5%; water activity 0.18 and 0.19; and pH 6.31 and 6.28. The peroxide values increased for 30 days after preparation and then decreased from 30 to 90 days. The thiobarbituric acid values increased slightly during storage at $27{\pm}2^{\circ}C$. During storage at $27{\pm}2^{\circ}C$, the lightness and yellowness values were lower for the spicy snack than for the mild snack, while the redness value was higher for the spicy snack. The hardness values of both samples decreased slightly during storage at $27{\pm}2^{\circ}C$. The sensory score of the spicy snack was slightly higher than that of the mild snack. The spicy snack had a higher score than the mild snack in the sensory test, which suggested that the spicy snack made from dried anchovy has more commercial potential.

치매에 대한 최신 실험적 연구 동향;2000년 이후 한의학 학술지를 중심으로 (A Review of Experimental study on Dementia in Oriental medicine;within Oriental medicine journal since 2000)

  • 최성열;김대현;김상태;김태헌;강형원;류영수
    • 동의신경정신과학회지
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    • 제19권1호
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    • pp.125-146
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    • 2008
  • Objectives : The purpose of this study is to suggest for the following experimental study of dementia by reviewing recent oriental medicine journals that have been published since 2000. Methods: We have investigated various types of studies in relation to dementia through 90 articles that have been published from 2000 to 2007 in recent oriental medicine journals were registered Korea research foundation. Results and Conclusions : 1. Since 2000, 88 articles in relation to dementia have been published and almost of them are herbal medicine-centered studies. Also they show a tendency to increase every year. The journal of oriental neuropsychiatry carries the highest number of studies in relation to dementia. 2. According to the experimental paper, there are 30 cases of using herb simplexes, 48 cases of herb-combined prescription, and 10 cases of other ways. Especially 7 cases of using herb-combined prescription relation to Sasang constitution are all for the Taeumin. 3. There are 85 cases of Animal and cellular experimental, 60 cases of using pathologic model induced cytotoxic activity, a case of using L-NAME, 3 cases of 192 saporin, 4 cases of ibotenic acid, 10 cases of focal cerebral ischemia, 3 cases of alcohol-administered, and one case of natural degradation. 4. Moms water maze, Radial arm maze Passive avoidance learning model were using for examining learning and memory of model animal 5. We propose that following studies of dementia are to he investigated of the applied method of using siRNA with tranceduced gene, sample preparation by water-soaking, oriental medical diagnosis, standardization of differentiating symptom and herb simplexes, building the database by classified prescriptions, and experiment model which are based on precise examining mechanism with cell line as like mouse H19-7 hippocampus, rat HT22 hippocampus, astrocyte, microglia, using the model of animals at APP, PS1, BACE, CT99/PS1, APOE4, Tau, APP/PSI/Tau

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Lead-free inorganic metal perovskites beyond photovoltaics: Photon, charged particles and neutron shielding applications

  • Srilakshmi Prabhu;Dhanya Y. Bharadwaj;S.G. Bubbly;S.B. Gudennavar
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제55권3호
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    • pp.1061-1070
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    • 2023
  • Over the last few years, lead-free inorganic metal perovskites have gained impressive ground in empowering satellites in space exploration owing to their material stability and performance evolution under extreme space environments. The present work has examined the versatility of eight such perovskites as space radiation shielding materials by computing their photon, charged particles and neutron interaction parameters. Photon interaction parameters were calculated for a wide energy range using PAGEX software. The ranges of heavy charged particles (H, He, C, N, O, Ne, Mg, Si and Fe ions) in these perovskites were estimated using SRIM software in the energy range 1 keV-10 GeV, and that of electrons was computed using ESTAR NIST software in the energy range 0.01 MeV-1 GeV. Further, the macroscopic fast neutron removal cross-sections were also calculated to estimate the neutron shielding efficiencies. The examined shielding parameters of the perovskites varied depending on the radiation type and energy. Among the selected perovskites, Cs2TiI6 and Ba2AgIO6 displayed superior photon attenuation properties. A 3.5 cm thick Ba2AgIO6-based shield could reduce the incident radiation intensity to half its initial value, a thickness even lesser than that of Pb-glass. Besides, CsSnBr3 and La0.8Ca0.2Ni0.5Ti0.5O3 displayed the highest and lowest range values, respectively, for all heavy charged particles. Ba2AgIO6 showed electron stopping power (on par with Kovar) better than that of other examined materials. Interestingly, La0.8Ca0.2Ni0.5Ti0.5O3 demonstrated neutron removal cross-section values greater than that of standard neutron shielding materials - aluminium and polyethylene. On the whole, the present study not only demonstrates the employment prospects of eco-friendly perovskites for shielding space radiations but also suggests future prospects for research in this direction.

충주광산 지역 계명산층의 텅스텐 스카른화작용 (Skarn Formation in Metamorphic Rocks of the Chungju Mine Area)

  • 김근수;박맹언
    • 자원환경지질
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    • 제28권3호
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    • pp.185-197
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    • 1995
  • 충주 광산 지역은 계명산층과 이를 관입한 중생대 화강암질 암석으로 구성되며, 이들 화강암질 암석중 백악기초(134 Ma) 흑운모 화강암과 계명산층을 구성하는 석영-운모 편암의 접촉부에서 회중석을 수반하는 스카른 광상이 산출된다. 스카른은 구성광물의 공생 특성과 주 구성광물의 양적인 비에 의해 석류석 스카른대, 규회석 스카른대, 녹염석 스카른대 및 녹니삭 스카른대로 분류된다. 석류석의 화학조성은 초기 순수한 안드라다이트 (>Ad96)에서 후기 알루미늄 함량비가 증가하는 안드라다이트-그라슈라(Ad~50)로 점이적인 변화를 나타내며, 녹염석은 $Fe^{3+}$ 의 함량비가 높은 고용체 상(Ps=35)에서 암루미늄 함량비가 높은 고용체 상(Ps=25)으로 변화하는 양상을 띤다. 광물 공생 및 화학 조성상의 특징으로 볼 때 스카른화 작용은 Ca와 Fe의 활동도가 흑운모 화강암의 접촉부에서 높고 Al, Mg, K 및 Si 활동도는 석영-운모 편암내에 발달되는 스카른에서 증가하는 경향을 나타낸다. 녹염석 스카른대에서 산출되는 회중석의 유체포유물 균질화 온도는 $300{\sim}380^{\circ}C$ 이며 NaCl 상당 염농도는 3-8wt. %로, 석영 및 녹염석 유세포유물 균질화 온도는 $300{\sim}400^{\circ}C$이다. 후기 녹니석 스카른대내에서 수반되는 황화광물의 황 동위원소비는(${\delta}^{34}S$) 황철석 $9.13{\sim}9.51%_{\circ}$, 방연석 $5.85{\sim}5.96%_{\circ}$이며, 공존하는 황철석-방연석 광물쌍에 의한 동위 원소 지질온도는 $283{\pm}20^{\circ}C$이다. 이산화탄소 몰분율($X_{CO_2}$)은 $L-CO_2$가 관찰되지 않으며 $H_2O$ 풍부한 유체포유물로 구성되고 있는점과, 안드라다이트 및 규회석의 광물공생 특성과 대비하여 볼때 약 0.01로 추정된다. 광물공생 및 화학조성, 상 안정 관계, 유체포유물 연구, 동위원소 지질온도계등의 연구 결과에 의해 충주광산 지역 스카른화 작용은 $400{\sim}260^{\circ}C$ 온도 조건과 산소분압이 감소($fo_2=10^{-30}{\sim}10^{-25}$)하는 환경에서 진행되었으며, 텅스텐 광화작용은 이러한 스카른 형성 과정 중 온도의 감소($350^{\circ}C$)와 산소분압이 감소($fo_2=10^{-27}$) 하는 조건에서 수반되었다.

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제주지역의 대기질 중의 음이온 및 양이온의 분포와 변이성 (Daily Variation and Distribution of Anions and Cations in the Aerosols of Jeju Island)

  • 신방식;이형환;이근광
    • 한국자연치유학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.10-19
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    • 2018
  • 본 연구는 제주의 휴양림 지역을 중심으로 16개 지점을 정해서 일간 별에 따른 대기질 중의 음이온과 양이온수를 측정하여 그 분포와 변이에 대한 연구가 목적이었다. 측정 평균수의 범위는 제일 낮은 제주시 4449.35 ions/cm3, 제일 높은 천지연폭포는 3471.25 ions/cm3 의 범주로 나타났다. 순서로 보면, 제일 낮은 제주시< 함덕 < 1100 m < 농장 < 교래A < 사려니 < 절물 < 교래B < 거문오름 < 제주시< 한라 숲길 < 한라산 수목원 < 성판악 < 동백산 < 정방 < 원양< 천지연 순이었다. 고도순으로 측정치의 음이온 본 연구는 제주의 휴양림 지역을 중심으로 16개 지점을 정해서 일간 별에 따른 대기질 중의 음이온과 양이온수를 측정하여 그 분포와 변이에 대한 연구가 목적이었다. 측정 평균수의 범위는 제일 낮은 제주시 4449.35 ions/cm3, 제일 높은 천지연폭포는 3471.25 ions/cm3의 범주로 나타났다. 순서로 보면, 제일 낮은 제주시< 함덕 < 1100 m < 농장 < 교래A < 사려니 < 절물 < 교래B < 거문오름 < 제주시< 한라 숲길 < 한라산 수목원 < 성판악 < 동백산 < 정방 < 원양 < 천지연 순이었다. 고도순으로 측정치의 음이온수치 함량의 차이를 일정하게 차이를 보이지는 않았으나, 통계적으로는 유의한 차이(p<.001)가 있었다. 양이온 평균수가 낮은 천지연폭포는 90 ions/cm3, 제일 높게 나타난 한라산 수목원의 수는 729.8 ions/cm3이었으며, 그 차이는 729.8 ions/cm3로 높게 나타났다. 높은 순서로 보면 제일 낮은 천지연 < 1100 m < 동백산 < 제주시 < 사려니 < 원양 < 성판악 < 함덕 < 정방 < 교래B < 절물 < 농장 < 교래A < 한라산 숲길 < 거문오름 < 한라수목원 순으로 측정되었다. 음양이온 모두 지형적으로 낮은 지대와 높은 지역은 함량이 낮게 측정되었다. 음이온과 양이온 및 고도의 분산분석에서 측정지역 간의 함량차이는 모두 유의성이 있었고, 또한 음이온과 양이온의 함량차이도 유의성이 있었으며, 고도와의 차이도 모두 유의성이 있었다. 상기의 음이온, 양이온 함량과 고도와의 요인간의 상관관계분석에서도 정적인 상관관계가 유의하게 나타났다(r=.396, p<001). 결론적으로 본 연구는 제주도 지역의 곶자왈 대기질 중의 이온의 분포에 대한 기초 연구로서 삼림욕을 통한 건강관리에 중요한 정보를 제공하고 있다. 수치함량의 차이를 일정하게 차이를 보이지는 않았으나, 통계적으로는 유의한 차이(p<.001)가 있었다. 양이온 평균수가 낮은 천지연폭포는 90 ions/cm3, 제일 높게 나타난 한라산 수목원의 수는 729.8 ions/cm3 이었으며, 그 차이는 729.8 ions/cm3 로 높게 나타났다. 높은 순서로 보면 제일 낮은 천지연 < 1100 m < 동백산 < 제주시 < 사려니 < 원양 < 성판악 < 함덕 < 정방 < 교래B < 절물 < 농장 < 교래A < 한라산 숲길 < 거문오름 < 한라수목원 순으로 측정되었다. 음양이온 모두 지형적으로 낮은 지대와 높은 지역은 함량이 낮게 측정되었다. 음이온과 양이온 및 고도의 분산분석에서 측정지역 간의 함량차이는 모두 유의성이 있었고, 또한 음이온과 양이온의 함량 차이도 유의성이 있었으며, 고도와의 차이도 모두 유의성이 있었다. 상기의 음이온, 양이온 함량과 고도와의 요인간의 상관관계분석에서도 정적인 상관관계가 유의하게 나타났다(r=.396, p<001). 결론적으로 본 연구는 제주도 지역의 곶자왈 대기질 중의 이온의 분포에 대한 기초 연구로서 삼림욕을 통한 건강관리에 중요한 정보를 제공하고 있다.

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이취 제거를 위한 굴 가수분해물의 발효공정과 제품의 특성 (Fermentation Process for Odor Removal of Oyster (Crassostrea gigas) Hydrolysate and Its Properties)

  • 이수선;박시향;김현아;최영준
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제45권4호
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    • pp.542-550
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    • 2016
  • 굴 가수분해물의 이취 제거를 위한 가수분해 및 발효의 최적 조건과 이의 항산화 효과를 검토하였다. 이취 제거를 위한 굴 가수분해물의 최적 추출 조건은 Neutrase를 이용하여 E/S 3.3%, $50^{\circ}C$, 8.3시간이었으며, 발효 공정은 $24^{\circ}C$에서 glucose 0.5%와 Saccharomyces cerevisiae를 5% 접종하였다. 굴 가수분해 발효물의 구성 아미노산은 25.7%에 해당하였으며, Glu, Asp, Lys, Leu, Arg, Gly 및 Ala이 전체의 61.2%를 차지하였다. 유리 아미노산 조성의 경우 Leu, Ala, Phe, Val 및 Tau의 순으로 높게 나타났다. 또한 무기질 함량은 Na, P, K, Zn, Fe이 높게 나타났으며, 정상 간세포주인 Chang cell에 대한 독성은 나타나지 않았다. 이상의 결과로 미루어 S. cerevisiae에 의해 수산물의 이미취를 masking 할 수 있으나, 기능성 원료로 사용하기 위해 최종 제품의 카드뮴 함량을 저감시킬 대책이 필요하다.