Microstructural Analysis of polycrystalline Silicon on $SiO_2$ Using TEM
(실리콘 산호막 위에 적층된 다결정실리콘층의 미시구조에 대한 TEM 분석)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 1992.05b
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- pp.144-145
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- 1992