실리콘 산호막 위에 적층된 다결정실리콘층의 미시구조에 대한 TEM 분석
(Microstructural Analysis of polycrystalline Silicon on $SiO_2$ Using TEM)
-
- 한국재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국재료학회 1992년도 춘계학술발표회
- /
- pp.144-145
- /
- 1992