Determination of the Residual Stress Distribution along the Depth of Silicon by XRD $p^+$ Method
(X선 회절법을 이용한 $p^+$ 실리콘 내 잔류응력의 깊이 방향 분포 추정)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 1995.11a
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- pp.593-595
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- 1995