• 전자공학회논문지D
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• 제34D권2호
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• pp.38-45
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• 1997

본 논문에서는 반도체 소자 제조 공정 중, 염산화 공정 시에 발생하는 스트레스에 따른 산화막의 3차원적 거동을 시뮬레이션하였다. 이를 위해, 이동하는 3차원 경계면에서의 노드 생성 및 제거 기능을 지는 3차원 적응 메쉬 생성기를 개발하였고, 지배 방정식을 유한요소법(finite element method)으로 이산화시켜 수치 해석적으로 해를 구하는, 스트레스 효과를 고려한 3차원 산화 시뮬레이터를 개발하였다. 본 연구에서는 열산화 공정에 의한 산화막의 3차원적 거동을 관찰하기 위하여, 섬구조(island) 및 공구조(hole structure)의 산화막 성장을 <100> 실리콘 기판에 대하여 $1000^{\circ}C$, 60분간 습식 산화 조건에서 시뮬레이션하였다. 초기 산화막의 두께는 $300\AA$, 질화막의 두께는 $2,000\AA$으로 가정하였다. 마스크의 형태에 따라 코너에서의 새부리(bird's beak)형태가 변하는데, 코너에서의 효과는 마스크 형태에 따라 산화제의 확산이 다른 영역에 비해 감소하거나 증가하는 영향이 주된 이유이지만, 스트레스에 의해 그 영향이 더 커짐을 확인하였다. 섬구조에서는 compressive 스트레스에 의해 코너 부근에서 산화가 감소하는 결과를 가져오고, 공구조에서는 tensile 스트레스로 인해 산화가 더 증가하는 결과를 보임을 확인하였다.

• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 2000년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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• pp.56-59
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• 2000

In this paper, we have made a comparison between secondary ion mass spectroscopy(SIMS) data by the 5kcV-15keV boron implantation and computer simulation results. In order to make electrical activation of implanted carriers, thermal annealing are carried out by RTP method for 30s at 1000$^{\circ}C$ Two dimensional doping concentration distribution from different mask dimensions under inert gas annealing, dry-, and wet-oxidation condition were calculated and simulated with microtec simulator.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제20권3호
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• pp.11-18
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• 2013

Interest in copper nanoparticles has increased as an alternative for substituting silver nanoparticles because of its lower cost and less electromigration effect than silver. In this paper, the recent research trends and main results in wet-chemical synthesis of sub-100 nm Cu nanoparticles were summarized. The characteristics of synthesis were discussed with a classification such as modified polyol synthesis, modified hydrothermal synthesis, solvothermal synthesis, and the others, focussing on effects of capping agents, reductants, and pH. Information on the oxidation of synthesized copper nanoparticles were additionally commented.

• 한국군사과학기술학회지
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• 제11권2호
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• pp.101-108
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• 2008

This study attempted to develop the technology by gaseous ozone for decontaminating building affected by a model of biological weapon agent(Bacillus subtilis spores) instead of Bacillus anthracis spore. The use of ozone is attractive method from a practical point of view of decontamination procedure since it has strong oxidation power but no residue after application. We examined the disinfection efficiency of gaseous ozone to Bacillus subtilis spores which suspension was sprayed on different material surfaces and dried. Three different types of gaseous ozone was applied : dry ozone, dry ozone with humidified air, and water bubbled wet ozone. Dry ozone(1500ppm) failed to achieve any significant inactivation for 2hrs. However, six log reduction of B. subtilis spore was achieved within 30min by 1500ppm of water bubbled wet ozone. This result shows the noticeable inactivation efficiency by gaseous ozone compared with previous studies. Good performance by wet ozone was also found for military material surface.(i.e. : gas mask hood, protective garments, army peinted metal surface).

• 한국지반환경공학회 논문집
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• 제11권5호
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• pp.15-23
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• 2010

한강, 낙동강, 영산강, 금강의 하천 및 호소퇴적물을 대상으로 건식체질법, 습식체질법, 광산란법(PSA) 등의 입도분석법을 비교연구 하였다. 건식체질법의 경우 건조과정에서 발생하는 엉김현상에 의해 오차가 크게 발생하며 이러한 현상은 호소시료의 경우 두드러지게 나타났다. 습식체질법은 건식체질법에 비해 복잡하고 노동력이 보다 많이 필요하지만 정확한 분석이 가능하며 PSA의 경우에도 습식체질과 유사한 경향을 나타내었다. 엉김현상을 방지하기 위한 동결건조 및 과산화수소수에 의한 유기물의 산화/동결건조의 경우 엉김현상을 일부 개선할 수 있었으나 여전히 습식체질에 비하여 미세입자의 분율이 적게 나타났다. 입도별 중금속의 용출량 및 함유량이 조사되었으며 예상된 바와 같이 호소 및 하천시료 모두 미세입자에서 높은 농도의 중금속이 용출되었다. 퇴적물의 관리에 있어서 정확한 입도분석법의 사용과 미세입자에 대한 관리가 보다 중요하다.

• 상하수도학회지
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• 제32권1호
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• pp.27-35
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• 2018

The stability of liquid ferrate(VI) produced by an innovative method was confirmed and the degradation characteristics of cyclic compounds(Benzene, Aniline, Toluene, 1,4-Dioxane) by liquid ferrate(VI) were investigated under the same reaction conditions. When it was compared with the ferrate manufactured by the wet oxidation method, the liquid ferrate was more stable. And the stability of liquid ferrate was tested at the storage temperature. As a result, only 17.7% of liquid ferrate(VI) has decomposed at the storage temperature($4^{\circ}C$) for 28 days. Among the cyclic compounds, the aniline was rapidly degraded compare to other cyclic compounds, which seems to be due to the electron-donating ability of the substituent, $-NH_2$ group. Especially, when 1,4-dioxane was compared with benzene, the decomposition rate of 1,4-dioxane was lower than that of benzene, suggesting that oxygen atoms hinder the electrophilic reaction. Among 4 cyclic compounds, it was observed that aniline has the highest rate constant than those of other cyclic compounds.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제12권1호
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• pp.537-544
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• 2011

본 연구에서는 탄화수소가스 중에서 가장 발화온도가 높은 메탄을 대상으로 전이금속 촉매의 산화반응 특성을 수행하였다. 망간의 경우 MnO, $MnO_2$, $Mn_2O_3$, $Mn_3O_4$, $Mn_4O_5$와 같이 다양한 산화가를 나타내므로 산화망간을 선택하여 메탄산화반응실험을 실시하였다. 메탄의 산화를 위한 전이금속 촉매중 망간을 산화물형태로 $Al_2O_3$, $TiO_2$에 담지하였으며, 조촉매로는 Ni, Co 등을 이용하여 활성능과 수명의 향상을 연구하였다. 본 연구에서 촉매 제조는 과잉용액 함침법을 사용하였다. 촉매의 활성화에너지, $T_{50}$, $T_{90}$을 계산하기 위하여 온도와 공간속도에 대한 전환율을 측정하였다. Mn-Co, Mn-Ni의 두성분의 전이금속촉매의 수명이 망간촉매에 비하여 10%이상 증가하고 활성은 약간 감소함을 알 수 있었다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제54권2호
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• pp.248-254
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• 2016

오늘날 폐수처리는 슬러지의 증가와 환경규제의 이유로 매우 중요해지고 있다. 슬러지처리는 폐수처리플랜트에 있어서 운영비의 50%를 차지하므로 슬러지 분해에 있어서 경제성 있는 방법이 대두되고 있다. 습식산화 반응은 폐수의 유기물을 효과적으로 제거해주고 슬러지 분해 뿐만 아니라 바이오연료의 전구체로 쓰일 수 있는 휘발성 유기산이 부산물로도 나온다. 습식산화 반응은 고온 고압의 높은 조건의 단점이 존재하지만 중력식 반응기를 통한 수두압으로 운영비를 줄일 수 있다. 본 연구에서는 상용프로그램인 Aspen Plus를 이용하여 아임계 조건에서 PSRK 상태방정식을 이용하여 공정모사 하였다. 중력식 반응기의 길이, 산화제 종류, 슬러지 유량과 산화제 주입 위치에 따라 사례 연구를 해보았으며 중력식 반응기 1000 m, 유량이 2 ton/h일 때에 유기물의 전환률은 92.02%, 유기산 효율은 0.17 g/g이였다.

• 한국세라믹학회지
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• 제42권11호
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• pp.722-728
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• 2005

A wet-chemical route was utilized to obtain nanosized crystalline goethite ($\alpha$-FeOOH) particle, which was known as an oxidation catalyst in reducing carbon monoxide (CO) and dioxine during incineration. A cost-effective $FeSO_4{\cdot}7H_2O$ was used as starting raw material and a successive process of hydrolysis-oxidation was utilized as synthetic method. The effects of the initial $Fe^{2+}$ concentration, hydrolysis time and oxidation period on the crystalline phase and particle characteristics were systematically investigated by X-Ray Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscopy (SEM) and BET analyses. It was found that the spindle-shaped crystalline $\alpha$-FeOOH particle with the width of 70 nm and the length of 200 nm could be obtained successfully when the initial concentration of 1.5 M, hydrolysis time of 4h, and oxidation period of 10 h, respectively. In addition, it was observed that the spindle-shaped $\alpha$-FeOOH particle consisted of nano-sized primary crystallites of $30\~50\;nm$, which were de-agglomerated into individual particle and successively re­agglomerated into spherical or irregular-shaped agglomerates beyond certain periods in the hydrolysis and oxidation process.

• Asian Journal of Atmospheric Environment
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• 제7권3호
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• pp.169-175
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• 2013

Measurement of the phosphorus concentration in aerosols in Beijing, which was a representative East Asian mega-city, was carried out. The optimum procedure for analyzing phosphorus in aerosols was found in this study. Recovery of phosphorus in environmental samples through the improved method was almost 100%. The concentration of phosphorus in TSP was $145{\pm}47\;ng/m^3$, with a seasonal variation showing high concentrations in winter and low concentrations in summer. The concentrations of phosphorus in $PM_{2.5}$ accounted for $35{\pm}6%$ of those in TSP, with no seasonal variations. The major source of phosphorus in aerosols in Beijing was soil dust, and additional sources of phosphorus in fine particles could be coal combustion and biomass burning.