A Study on the Control Algorithm for the 300[mm] Wafer Edge Exposure of ArF Type using A Linear CCD Sensor (선형 CCD 센서를 적용한 ArF 파장대 웨이퍼 에지 노광장비의 제어에 관한 연구)
-
- Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
- /
- v.22 no.6
- /
- pp.148-155
- /
- 2008