• 제목/요약/키워드: Vacuum test

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Improvement in the Setup of the Inline Sputter System and the ITO Sputtering Process by Measuring and Controlling the Base Vacuum Level

  • Ahn, Min-Hyung;Cho, Eou-Sik;Kwon, Sang-Jik
    • Journal of Information Display
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    • 제9권4호
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    • pp.15-20
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    • 2008
  • A DC-magnetron inline sputter was established, and the influence of the base pressure on the structural characteristics of the ITO thin films was studied. When the inline sputter system was established and operated for ITO sputtering, its initial vacuum level did not go below $5\times10^{-6}$ torr. The vacuum leak test was conducted by measuring t he elapsed time until the vacuum level reached $1\times10^{-6}$ torr. The base pressure was successfully maintained at $1\times10^{-6}$ torr for 900 min, and the uniformity of the ITO film that had been deposited at this pressure significantly improved.

Prohibition of Boundary Image Sticking in AC Plasma Display Panel Using Vacuum Sealing Method

  • Tae, Heung-Sik;Park, Choon-Sang;Kwon, Young-Kuk;Heo, Eun-Gi;Lee, Byung-Hak
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
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    • pp.1688-1691
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    • 2007
  • This paper shows that the boundary image sticking can be prohibited completely by using the vacuum sealing process, which means that the residual impurities such as nitrogen or oxygen can be a critical factor inducing the boundary image sticking. The production of boundary image sticking was checked in the test panel fabricated by the $N_2$ or $O_2$ flow during the vacuum sealing process. As a result, the boundary image sticking did not appear in the case of $N_2flow$, whereas the boundary image sticking was observed in the case of $O_2$ flow even though the test panel was fabricated by the vacuum sealing process.

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위성 열평형 시험에서 챔버 벽 영향에 관한 연구 (A Study on Chamber Wall Effect in the Satellite Thermal Balance Test)

  • 김동운;장영근
    • 한국항공우주학회지
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    • 제34권12호
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    • pp.90-95
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    • 2006
  • 위성 열평형 시험에 사용하는 열진공 챔버의 벽은 흑체 거동을 하는 우주공간과는 달리 위성의 복사 에너지를 완벽하게 흡수하지 못하고 일부를 반사한다. 챔버의 크기가 작을수록 이러한 챔버 벽 효과는 커지는 것으로 알려져 있다. 이것은 시험비용을 줄이기 위해 대형 챔버를 사용하기 힘든 소형위성의 개발에 걸림돌이 된다. 본 연구에서는 챔버 벽 효과를 예측하고 이를 보정하기 위한 정량적인 분석을 진행하였다. 그 결과로 챔버 벽 효과에 의한 온도 오차를 계산하여 시험 데이터를 보정할 수 있게 하였다. 또, 최적 면적비를 정의하여 소형위성의 열평형 시험용 열진공 챔버의 크기를 정하는데 기준을 마련하였다. 덧붙여 챔버 벽을 투명한 재질로 코팅하여 챔버 벽 효과를 줄일 수 있는 방안에 대해 이론적인 분석을 수행하였다.

준설매립토에 대한 실내 수평배수재 실험에서 진공압의 효과 (Effects of Vacuum Pressure in The Laboratory Horizontal Drain Test for Dredged Clay)

  • 양원준;장연수;박정용
    • 한국지반신소재학회논문집
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    • 제3권1호
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    • pp.17-25
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    • 2004
  • 준설토의 표층개량을 위해 타설하는 수평배수재의 개량효과를 증가하기 위하여 수평배수재의 단부에 진공압을 가하여 지중의 간극수를 강제로 배출하는 진공압식 수평배수공법이 사용되고 있다. 본 연구에서는 진공압의 크기에 따른 준설매립지반의 압밀 및 강도 증가효과를 규명하기 위하여 토조시험을 실시한 후 순수 자중압밀의 경우와 비교하였다. 그 결과 자중압밀의 경우 표층부로부터 깊이가 깊어질수록 함수비가 작아지는 경향을 보였으나, 진공압이 재하된 경우는 진공압의 크기가 커질수록 배수재 주위에 낮은 함수비가 배수재에서 멀어질수록 높은 함수비 분포를 나타내었다. 진공압이 재하된 경우 준설토의 전단강도 또한 배수재를 중심으로 큰 개량효과를 얻을 수 있었으며, 토조시험기의 폭이 0.5m로 실제 현장에서 적용되는 배수재 간격이 0.7m~1.2m인 것을 고려했을 때 토조시험기에서는 진공압 30kPa~40kPa 범위에서 최적의 압밀효과를 얻을 수 있었다.

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인공위성 개발을 위한 유닛 열시험 개요와 실제 (Overview of Thermal Test and Practice in Developing Satellite)

  • 서정기;장태성;차원호
    • 한국항공우주학회지
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    • 제41권11호
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    • pp.915-920
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    • 2013
  • 인공위성 내부 유닛들이 위성에 실장 되기 위해서는 각 위성 프로그램에서 요구하는 다양한 환경시험을 반드시 통과해야 한다. 최근 타 분야의 기술이 우주분야로 이전되면서 다양한 인공위성 탑재체들이 개발되고 있다. 하지만, 타분야 개발자의 경우 우주개발에 대한 경험 및 이해부족으로 발사 및 우주환경시험을 수행함에 있어 다양한 문제점을 접하게 된다. 본 기술논문에 위성개발 각 단계에서 수행되는 열시험의 개념을 서술하여 우주분야 기술개발을 처음으로 수행하는 개발자가 열시험을 준비하는데 실제적인 도움을 주고자 한다.

진공상태에서의 전열현상에 대한 실험적 연구 (Experimental Study of Heat Transfer in Vacuum Furnace)

  • 양제복;김원배;동상근
    • 한국연소학회:학술대회논문집
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    • 대한연소학회 2003년도 제27회 KOSCO SYMPOSIUM 논문집
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    • pp.109-113
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    • 2003
  • Low pressure or vacuum carburizing(LPC) has undergone major further developments since 1980 and now it has achieved industrial maturity. The advantage of low pressure vacuum carburizing over gas carburizing is not only the creation of surface entirely free of oxide and environmentally friendly but also a reduction in batch times, lower gas and energy consumption and the prevention of soot. In this study the experiment was carried out to investigate the effects of vacuum atmosphere in the heating furnace. Heat transfer rate and uniformity of temperatures of test samples in the pressure range of a few 0.1torr was examined on a test charge of 100kg. It is found that the fuel saving rate due to decreasing heating time reach to 20% in the vacuum heating mode as compared with atmospheric heating mode. Also the uniformity of temperatures in the samples was improved significantly in the vacuum heating mode. Also the effects of the RC fan for stirring atmosphere inside furnace was examined. Results shows RC fan appears to provide a reasonable tool for improving uniformity of temperature in the atmospheric heating mode.

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루츠타입 진공펌프의 동특성 평가 (Evaluation of Rotor Dynamic Characteristic of Roots Type Vacuum Pump)

  • 이종명;김용휘;하정민;구동식;황호준;최병근
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2011년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.264-270
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    • 2011
  • The goal of this study is a stability evaluation through eigenvalue and rotor dynamics analysis of the vacuum pump. The vacuum pump used is a roots type pump, one of the dry middle vacuum pumps, is necessary at the procedure to produce semiconductor and display. The eigenvalue evaluation is solved by numerical analysis through using Modal test and 2D 3D models. Both the experiment and the analysis result are similar, the analysis result using 2D is more oculate the 3D model comparing with test result. So rotor dynamic evaluation is performed through using 2D model. Rotor dynamic evaluation used the campbell diagram and root locus map which were acquired by complex eigenvalue analysis. And we checked minimum clearance of vacuum pump composition between two rotors through unbalance response analysis. Thus, vacuum pump, the target object of this study, was evaluated to be operated stably.

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