• 설비공학논문집
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• 제25권11호
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• pp.573-577
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• 2013

An external window directly affects the energy performance of its building. In modern well-insulated buildings, U-values for walls of 0.36 $W/m^2K$ or even lower can be realized. In such buildings, glazing with typical U-value of 2.1 $W/m^2K$ or higher creates thermal weak spots on the facade. The performance of the existing triple glass window has been limited to energy savings and condensation prevention. In this study, the performance of condensation prevention of a vacuum multi-layer glass was analyzed. The final conclusion through mock-up experiments is as follows. The surface temperature of the vacuum multi-layer glass was $2^{\circ}C$ higher, and the temperature difference ratio (TDR) was 0.07 lower, than the corresponding values of the triple glass.

• 한국생산제조학회지
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• 제21권1호
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• pp.40-45
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• 2012

The glass edge sealing is one of the vacuum glazing core manufacturing process and it needs the high reliability for the vacuum keeping. Conventionally, the glass edge sealing had been being researched by the method that pasted the flit on the glass edge part and bonded two sheets of glass. But this way has the defect that can't make tempered glass. In order to remedy it's faults, in this paper, the glass edge was sealed by using the hydrogen mixture gas torch within the furnace. The parameter having an effect on the glass edge sealing through the basic test was set. And the correlation of the thickness of the glass edge and parameter were analyzed through the design of experiment. By using the Taguchi method, the optimal process condition for the glass edge sealing was drawn and the validity was verified.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.410.1-410.1
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• 2016

Vanadium dioxide ($VO_2$) is a well-known material that exhibits a metal-semiconductor transition at 340 K, with drastic change of transmittance at NIR region. However, $VO_2$ based thermochromics accompany with low visible transmittance value and unfavorable color (brownish yellow). Herein, we demonstrate the adjustment of visible transmittance of $VO_2$ thin film by nanosphere template assisted patterning process using sol-gel method. 2-Dimenstional honeycomb shape was varied as function of diameter of nanosphere and coating conditions. The morphological geometry of the films was investigated by FE-SEM and AFM. Result shows that inversed shape of nanosphere was formed clearly and pattern width was altered according to the bead size. This structure creates the geometrical blank area from the position of nanosphere which improves the optical transmittance at the visible region. Moreover, such patterned $VO_2$ thin film not only maintains the optical switching efficiency, but also generate the gorgeous scattering effect which presumably support the glazing application.

• 대한설비공학회:학술대회논문집
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• 대한설비공학회 2008년도 하계학술발표대회 논문집
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• pp.801-806
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• 2008

The best plan is that the insulation performance should be improved because the insulation and airtight of building envelopes have an effect on the energy consumption basically. New insulation materials, which have the high performance and are above insulation standard, have been developed steadily. Because there are not studies on the building energy rating system and economic evaluation considering new insulation materials, these matters should be studied. In result alternatives, which applied 6 high performance material each, influence, reduce the annual heating energy and raise the building energy rating. Applying the vacuum insulation material(Case1,2) and vacuum or triple glazing can retrieves the investment with $120 and $$140{\sim}150$ per barrel each.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.179-179
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• 2013

현재 자동차 분야에서 차량 경량화를 통해 연비 향상 및 에너지 효율 향상을 기대하고 있으며, 차량 경량화의 한 수단으로 자동차용 유리를 고강도 투명 플라스틱 소재인 PC (Polycarbonate)로 대체하고자 하는 연구가 활발히 이루어지고 있다. 그러나, PC의 낮은 내마모 특성과 자외선에 의한 열화 및 변색 현상은 해결하여야 할 중요한 문제점으로 지적되고 있다. 본 연구에서는, PC의 내마모 특성을 향상시키기 위하여 transmittance가 확보되고, 고경도 특성을 갖는 Al-Si-N 박막 증착에 대한 연구를 하였다. Al-Si-N 박막 증착을 위하여 ICP-assisted reactive magnetron sputtering 장비를 이용하였으며, 고경도 특성을 갖는 Al-Si-N 박막을 제조하였다. 분석 장비로는 박막의 chemical state와 crystallinity를 확인하기 위하여 XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy), AES (Auger electron spectrscopy)와 XRD (X-ray diffraction)를 이용하여 분석을 수행하였으며, Knoop ${\mu}$-hardness tester와 Pin-on-disk를 이용하여 경도 및 내마모 특성을 평가하였다. Al-Si-N 박막의 두께는 ~5,000 ${\AA}$을 증착하였으며, 가시광 영역에서 평균 92%의 transmittance를 나타내었다. 박막의 Si/(Al+Si) 비율에 따라 다른 경도 특성을 나타냈는데, Si/(Al+Si) 비율이 26~32% 부근에서 최대 31 GPa의 경도 값을 확인 할 수 있었다.

• 설비공학논문집
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• 제20권11호
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• pp.746-751
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• 2008

The best plan to reduce the building energy consumption is that the insulation performance should be improved because the insulation and airtight of building envelopes have an effect on the energy consumption basically. New insulation materials, which have the high performance and are above insulation standard, have been developed steadily. Because there are not studies on the building energy rating system and economic evaluation considering new insulation materials, these matters should be studied. In result alternatives, which applied 6 high performance material each, reduce the annual heating energy and raise the building energy rating. Applying the vacuum insulation material(Case 1, 2) and vacuum or triple glazing can retrieves the investment with $120 and $140$\sim$150 per barrel each.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.190.1-190.1
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• 2013

현재 자동차 분야에서 차량 경량화를 통해 연비 향상 및 에너지 효율 향상을 기대하고 있으며, 차량 경량화의 한 수단으로 자동차용 유리를 고강도 투명 플라스틱 소재인 PC(Polycarbonate)로 대체하고자 하는 연구가 활발히 이루어지고 있다. 그러나, PC의 낮은 내마모 특성과 자외선에 의한 열화 및 변색 현상은 해결하여야 할 중요한 문제점으로 지적되고 있다. 본 연구에서는, PC의 내마모 특성을 향상시키기 위하여 transmittance가 확보되고, 고경도 특성을 갖는 Al-Si-N 박막 증착에 대한 연구를 하였고, 자외선 차단을 위하여 SiN:H 박막을 증착 하였다. 박막 증착을 위하여 ICP-assisted reactive magnetron sputtering 장비를 이용하였으며, 고경도 특성을 갖는 Al-Si-N 박막을 제조하였다. 그리고 300 nm 파장 이하의 자외선 차단을 위하여 SiN:H 박막을 증착하였다. 분석 장비로는 박막의 chemical state와 crystallinity를 확인하기 위하여 XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy), XRD(X-ray diffraction)를 이용하여 분석을 수행하였으며, Knoop ${\mu}$-hardness tester와 Pin-on-disk를 이용하여 경도 및 내마모 특성을 평가하였다. SiN:H 박막 위에 Al-Si-N 박막을 증착하였고 총 두께는 ~5000 $\AA$을 증착하였으며, 가시광 영역에서 평균 70% 이상의 transmittance를 나타내었다. 박막의 Si/(Al+Si) 비율에 따라 다른 경도 특성을 나타냈는데, Si/(Al+Si) 비율이 26~32% 부근에서 최대 31 GPa의 경도 값을 확인하였고 SiN:H 박막은 300nm 이하의 파장에서 2% 이하의 transmittance를 확인하였다.

• 한국산학기술학회:학술대회논문집
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• 한국산학기술학회 2012년도 춘계학술논문집 2부
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• pp.756-758
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• 2012

인구증가와 지속적인 산업발전으로 인하여 건축이 매우 활발해지고 냉난방으로 인한 에너지 소비가 급증하게 되면서 효율적인 에너지 사용의 필요성이 크게 대두되었다. 건물에서 손실되는 에너지의 약 20~40%가 창문을 통해 손실이 일어나며 이를 해결하고자 현재 Low-E 유리, 복층유리등 다양한 방법들이 개발되어 사용하고 있으며 에너지 손실을 더욱 낮추기 위하여 진공유리가 개발 중이나 아직 보급은 이루어지지 않고 있다. 본 논문에서는 진공유리의 열관류율 측정 장치와 진공에서의 중요한 열전달 요인인 복사열전달이 진공유리 성능에 미치는 영향을 3차원 수치해석을 통하여 알아보았다.

• 한국산학기술학회:학술대회논문집
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• 한국산학기술학회 2011년도 추계학술논문집 2부
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• pp.511-513
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• 2011

인구증가와 지속적인 산업발전으로 인하여 에너지 소비가 급증하게 되면서 효율적인 에너지 사용의 필요성이 크게 대두되었다. 특히 건물의 창문을 통해 많을 에너지 손실이 일어나 이를 해결하고자 현재 로우이(low-emissivity)유리를 사용하고 있으나 이는 태양광의 유입을 줄이는 단순한 방법으로 여전히 상대적으로 높은 열관류율을 갖고 있다. 이를 해결하고자 현재 단열성능이 좋은 고효율 진공유리가 개발 중이나 아직 가격 및 성능 등의 문제로 본격적인 보급은 이루어지지 않고 있다. 본 논문에서는 내부압력, 지지기둥(spacer)의 길이 및 지름 등이 진공유리 성능에 미치는 영향을 3차원 수치해석을 통하여 알아보았다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.434-437
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• 2005

Chemical Mechanical Polishing (CMP) has become an essential step in the overall semiconductor wafer fabrication technology. In general, CMP is a surface planarization method in which a silicon wafer is rotated against a polishing pad in the presence of slurry under pressure. The polishing pad, generally a polyurethane-based material, consists of polymeric foam cell walls, which aid in removal of the reaction products at the wafer interface. It has been found that the material removal rate of any polishing pad decreases due to the so-called 'pad glazing' after several wafer lots have been processed. Therefore, the pad restoration and conditioning has become essential in CMP processes to keep the urethane polishing pad at the proper friction coefficient and to allow effective slurry transport to the wafer surface. Diamond pad conditioner employs a single layer of brazed bonded diamond crystals. Due to the corrosive nature of the polishing slurry required in low pH metal CMP such as copper, it is essential to minimize the possibility of chemical interaction between very low pH slurry (pH <2) and the bond alloy. In this paper, we report an exceptional protective coated conditioner for in-situ pad conditioning in low pH Cu CMP process. The protective Cr-coated conditioner has been tested in slurry with pH levels as low as 1.5 without bond degradation.