• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.415-415
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• 2012

ICP (RF) 열 플라즈마 분말 합성법은 초고온 열플라즈마(~10,000 K) 속으로 원료물질을 투입한 뒤, 용융, 기화 및 재합성의 과정을 거쳐 초미분(<1 ${\mu}s$)을 합성하는 방법으로 고출력 시스템의 경우 고온/고 엔탈피 열 유동을 통한 고융점 및 저융점 복합물질의 동시 기화에 의한 물질 조성이 제어된 나노 복합체의 대량 합성이 가능할 것으로 기대되고 있다. 본 연구에서는 전북대학교 고온플라즈마 응용연구센터의 60&200 kW의 고출력 ICP (RF) 열 플라즈마 시스템을 이용하여 LTO (Lithium Titanium Oxide)와 IZTO (Indium Zinc Tin Oxide), Barium Borosilicate Glass (K2O-BaO-B2O3-SiO2)의 다성분계 나노 복합체를 합성하였으며, FE-SEM, TEM, XRD, ICP-OES를 이용하여 그 특성을 분석하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.417-417
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• 2012

For desired optical properties of QDs, it is very important to reduce the presence of defects on their surfaces. Passivation of surface defects using larger band gap materials is the most effective way. Some groups successfully synthesized Cd based multi-shell structured quantum dots and improved its optical properties. However, its productivity has limit because of the amounts of glass ware and space. In this research, we try to synthesize Cd based multi-shell structured nanocrystal quantum dots to overcome demerits of conventional batch synthetic method. This reactor composed pump, SUS reaction part (3.2 mm stainless steel and furnace) and batch mixer. We successively synthesized CdSe/CdS/ZnS quantum dot at this reactor in one step.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.424-424
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• 2012

ZnO는 수열합성법을 통해 저온에서 단결정으로 성장할 수 있기 때문에 광전소자 및 압전소자로 응용되고 있으나, 성장된 ZnO nanowire 내부 산소 결함 및 표면에 OH기의 흡착에 의해 소자특성 저하를 발생시킨다. 본 연구에서는 ZnO의 결함의 최소화를 위해 Glass 기판에 수열합성법으로 성장된 ZnO nanowire를 ICP 플라즈마 장치를 이용하여 O2 25 sccm, Base Pressure $1.5{{\times}}10^{-3}$ Torr을 기준으로 파워와 시간에 따라 표면처리 하였다. 플라즈마 처리된 ZnO nanowire의 결함특성과 형상을 XPS와 FE-SEM를 통하여 분석하였으며, ZnO nanowire의 소자특성을 평가를 위해 Kapton Film/AZO/ZnO nanowire/PMMA/Au 구조의 발전기를 제작하였다. 150 W, 10 min에서 532.4 eV의 -OH결합이 최소화됨을 확인하였으며, 이를 이용하여 Flexible ZnO nanowire 발전기 제작 했을 경우 최대 Voltage 5 V, Current 156 nA 전기적 특성을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.134-134
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• 2012

최근 반도체 및 디스플레이 산업에서 진공, 특히 플라즈마 공정은 중요한 기술로 알려져 있다. 반도체 제조공정은 플라즈마를 이용하여 증착(deposition)공정 및 패터닝을 위한 식각(Dry Etch)공정으로 크게 나뉘고, 디스플레이 공정에서는 Glass위에 형성된 금속오염입자 및 polymer와 같은 불순물을 제거하는 공정으로 식각(Dry Etch)공정을 주로 사용하고 있다. 진공공정장비인 CVD, Etcher는 플라즈마와 활성기체, 고온의 공정온도에 노출 되면서 진공공정장비 부품에 부식이 진행되기 때문에 내플라즈마성이 강한 재료를 코팅하여 사용하고 있다. 하지만 장시간 부식환경에 노출이 되면, 코팅부품에서도 부식이 진행되면서 다량의 오염입자가 발생하여 생산수율 저하에 원인이 되기도 하고, 부품 교체비용이 많이 들기 때문에 산업체에서 많은 어려움을 겪고 있다. 본 연구에서는 산업체에서 코팅부품으로 많이 사용되고 있는 다양한(Al2O3, Y2O3 등) 산화막 및 세라믹코팅 부품의 내플라즈마 특성을 비교 연구하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.424.1-424.1
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• 2016

태양전지 모듈의 봉지재로 사용되는 EVA(Ethylene-Vinyl acetate)는 외부의 환경으로부터 태양전지를 보호해주는 역할을 한다. 하지만 frame의 실링재나 glass edge 부분의 결함으로 인해 수분이 침투되어 모듈의 내부자재에 영향을 미치게 되며, 모듈의 효율 감소나 수명 단축의 원인이 된다. 이러한 결함을 줄이기 위해서는 EVA의 crosslinking degree, 절연 저항 특성을 향상시키는 것이 중요하다. 이에 본 연구에서는 EVA의 crosslinking degree를 보기 위해 soxhlet extraction method를 이용하여 gel content를 측정하였으며, 라미네이션 과정 중 curing time에 따른 gel content 변화를 확인하였다. 또한 이 실험을 바탕으로 gel content에 따른 절연 저항을 측정하여 EVA의 crosslinking degree에 의한 절연 저항 특성을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.370.2-370.2
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• 2016

투명 박막 태양전지는 건물과 일체화 된 building-integrated photovoltaics (BIPV) 시스템에 적용되어 건물의 외장재로서 외관의 심미적 가치를 높일 수 있다. 현재 BIPV 모듈은 glass 타입의 형태가 시장을 주도할 것으로 예상되며[1], 건물의 외부 미관을 고려하여 투명 박막 태양전지에 색을 구현하는 연구가 진행되고 있다. 투명 박막 태양전지에 적용하기 위한 목적으로 본 연구에서는 스핀코팅을 이용하여 표면 플라즈몬 효과가 큰 Cu 나노입자를 Si 웨이퍼와 유리기판 위에 각각 분포 시킨 후, 광학적 특성을 분석하였다. 스핀코팅의 속도(rpm)를 다양하게 변화 시킨 후 나노 입자의 분포를 관찰하였으며, 속도가 증가할수록 나노입자의 수는 감소함을 확인하였다. 또한 속도가 증가할수록 입자 사이의 거리는 멀어졌으며, 최저 속도 100 rpm에 비해 4000 rpm에서 스핀코팅 한 입자들은 응집이 상대적으로 되지 않았음을 관찰하였다. 속도가 증가할수록 입자가 기판 위에 적게 잔재하기 때문에 반사율과 투과율이 가시광선 영역에서 증가하였으며, 유리 기판에 구현한 색깔이 점차 옅어짐을 관찰하였다. 이러한 결과로부터 스핀코팅의 속도를 변화시킴으로써 나노입자의 분포 양상과 이에 따른 색상의 변화를 유발 할 수 있다는 사실을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.400.2-400.2
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• 2016

Dye-sensitized solar cells (DSSCs) have been widely investigated as a next generation solar cell because of their simple structure and low manufacturing cost. To realize a commercially competitive technology of DSSCs, it is imperative to employ a technique to prepare nanocrystlline thin film on the flexible organic substrate, aiming at increasing the flexibility and reducing the weight as well as the overall device thickness of DSSCs. The key operation of glass-to-plastic substrates conversion is to prepare mesoporous TiO2 thin film at low temperature with a high surface area for dye adsorption and a high degree of crystallinity for fast transport of electrons. However, the electron transport in the TiO2 film synthesized at low temperature is very poor. So, in this study, TiO2 films synthesized at high temperature were transferred on the selective substrate. We fabricated DSSCs at low temperature using this method. So, we confirmed that the performance of DSSCs using TiO2 films synthesized at high temperature was improved.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.376-376
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• 2016

Poly(ethylene oxide) (PEO)/functionalized bacterial cellulose nanowhiskers (f-BCNW) (0.1 wt%) composite nanofibers were fabricated by electrospinning process and the thermomechanical properties were significantly enhanced more than the PEO and PEO/bacterial cellulose nanowhiskers (BCNW) (0.1 wt%) composite nanofibers. The functionalization of BCNW (f-BCNW) was performed by microwave plasma treatment for effects of nitrogen functionalization of chemically-driven BCNW. The N-containing functional groups of f-BCNW enhanced chemical bonding between the hydroxyl groups of the polymer chains in the PEO matrix and diameter size of PEO/f-BCNW (0.1 wt%) composite nanofibers were decreased more than PEO and PEO/BCNW (0.1 wt%) composite nanofibers on the same concentration. The strong interfacial interactions between the f-BCNW nanofillers and polymer matrix were improved the thermomechanical properties such as crystallization temperature, weight loss and glass transition temperature (Tg) compared to PEO and PEO/BCNW composites nanofibers. The results demonstrated that N2 plasma treatment of BCNW is very useful in improving thermal stability for bio-applications.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.250.1-250.1
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• 2015

광학적 특성 중 광 포집 (Light trapping)을 향상시키기 위해 표면의 거칠기 및 형태를 변화시킬 수 있는 방법으로 유리 텍스쳐 방법을 적용시키는 연구가 최근에 많이 진행되고 있다. 본 연구에서 광 포집 및 전류밀도 향상을 위해 페로브스카이트 태양전지의 상부전극에 적용 하였다. 본 연구에서 FTO 기판 후면의 유리 부분을 희석된 HF 용액을 사용하여 습식화학공정을 진행 하였다. 이때 텍스쳐 시간을 조절하여 실험을 진행하였으며, 박막의 광 산란 및 포집 특성을 조절 하였습니다. 텍스쳐된 유리기판을 페로브스카이트 태양전지에 적용 하였을 때, 광 산란 및 포집 효과로 인하여 전류밀도와 효율이 증가됨을 확인하였다. 이러한 유리 텍스처 처리는 다양한 태양전지 구조에 이용될 수 있다.

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.15 no.3
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• pp.85-90
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• 1998

In this study, organic electroluminescent devices(OELD) with a structure of a glass $substrate/ITO/TPD/Tb(ACAC)_3(Phen-Cl)/Alq_3/Al$ was fabricated by vacuum evaporation method, where Tb complex was known to have green light emitting property. Electroluminescent(EL) and I-V characteristics of this structure were investigated. This triple-layer structure shows the green EL spectrum at the wavelwngth of 546nm, which is almost the same as the PL spectrum of $Pb(ACAC)_3(Phen_Cl)$. It was found in current-voltage(I-V) characteristics of the devices that the operating voltage was about 12V.