• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2007년도 제32회 학술대회 초록집
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• pp.53-53
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• 2007

• 한국진공학회지
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• 제4권1호
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• pp.1-5
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• 1995

진공표준용기에서 압력을 측정하는 진공계의 위치는 측정압력으로부터 계산된 진공펌프의 배기속도가 진실한 값에 얼마나 가까운가를 결정하는 중요한 요소이다. 본 논문에서는 압력을 유효배기확률에 반비례하는 양으로 보아 해석적 방법으로 적절한 진공계위치를 계산하고 있다. 또 진공계가 차지하는 폭과 펌프의 고유배기확률이 압력(또는 배기속도)측정값의 정확도에 미치는 영향에 대해 논의한다.

• 한국진공학회지
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• 제19권1호
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• pp.1-9
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• 2010

진공게이지의 비교교정 방법으로 교정이 가능하고-비교교정은, 2차표준기라고 부르는 교정되어진 게이지와 교정할 다른 게이지의 지시값을 읽어 비교는 방법- 다른 진공관련 실험을 할 수 있는 기체 유량 시스템을 개발하였다. 교정시스템에의 진공용기는 터보분자펌프(TMP)에 의해서 배기하고, 후면에 스크롤펌프를 배치하여 배기시스템을 꾸몄다. 터보분자펌프의 최대허용가능 압력은 펌프의 주입구에서 0.1 Pa까지이며, 이보다 압력이 높아지면 배기속도가 감소하며 압력대 이하의 환경을 조절하기가 매우 어렵게 된다. 현재 133 Pa까지의 높은 압력을 발생시킬 수 있는 새롭게 개발된 기체유량조절시스템은 바이패스 라인에 맞도록 설계된 컨덕턴스-리듀서를 설치하여 터보분자펌프를 안전하게 운용할 수 있도록 하였다. 추가로 진공용기안에 전체압력 범위(0.1 Pa ~ 133 Pa)의 압력을 생성하며 기체 주입과 압력구배를 연구하였다. 압력의 최대 편차는 용기의 위쪽 방향에 위치한 가스 주입구에서 가까운 위치 C에서 1.6%로 나타났다.

• 한국진공학회지
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• 제2권2호
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• pp.139-144
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• 1993

동적교정방법을 이용하여 $10^{-7}~10^{-10}$torr 영역에서 교정 가능한 초고진공 표준기를 제작하였다. $10^{-6}~10^{-9}$torr L/s 영역의 극미세 유량은 고진공 표준기에 porous plug를 연결하여 발생 제어시켰으며 일정한 배기속도를 유지함이 알려져 있는 refrigerator type cryopump를 이용하여 $3{\times}10^{-11}$torr의 base pressure를 얻을 수 있었다. 이 초고진공 표준기를 이용하여 두 개의 extractor gauge와 자체 제작한 nude 이온게이지들을 교정하고 그 직선성 및 재현도를 살펴보았다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.777-780
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• 2005

The high vacuum in a electron beam lithography is basic condition, because electron beam vanish by collision with air molecules in generally atmosphere. To make high vacuum state, the vacuum control valve is essential. Most vacuum control valve are manual units. So, user of manual vacuum valve must have understanding vacuum process to change from low vacuum to high vacuum state. The user of electron beam lithography are troubled with operation of manual vacuum valve, in case the vacuum chamber is frequently open. In this paper, the design and performance test of auto vacuum control valve for electron beam lithography are described. With the auto vacuum control valve, the high vacuum level can reach 2.8E-5 Torr.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2002년도 제23회 학술발표회 초록집
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• pp.136-136
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• 2002

• 전기의세계
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• 제29권8호
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• pp.519-523
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• 1980

The traditional mechanical manometer is improved to develop more convenient and precise manometer in continuous measurement of the gas pressure in medium-low vacuum range (1x10$^{-1}$ -10 Torr.) Glass (solid) is used as a detector material of the improved manometer. Using the strain gauge adhered to thin glass board, mechanical strain corresponding to variation of pressure in measurement system is converted into quantity of electricity, and the quantity of electricity is amplified. Experiments have also shown that the improved manometer have more advantages in reproducibility, measured sensibility, and responsible velocity than taditional one.

• Journal of Korean Vacuum Science & Technology
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• 제3권1호
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• pp.95-97
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• 1999

A 3.12" FED panel was packaged successfully using the anode plate on which phosphors and black matrix were coated and cathode plate containing emitter arrays. The vacuum level of the panel was investigated during panel evacuation, tip-off and getter activation process. The packaged panel exhibited vacuum level below 2${\times}$10-6 Torr. Similar experiments were carried out for 10" panel made of bare plates. In addition, the vacuum level of two panels was compared continuously after tip off process; one with the getter and the other without it.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.356-356
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• 2011

챔버 내부의 압력은 gauge가 달려 있는 몇몇 지점에만 국한되어 읽을 수 있었기 때문에 gauge를 이용한 압력 측정을 통해 보다 상세한 진공도를 구하기란 쉽지 않다. 챔버 내부의 압력은 빔 운전에 적합한 초고진공을 유지하여야 하고, 균일하여야 하므로 신뢰 할 수 있는 방법으로 진공도를 정확히 계산해 볼 필요가 있다. 그리하여 압력에 영향을 미치는 여러 가지 진공 시스템 내부의 요소인 Outgassing, 배기속도, 컨덕턴스, 압력 등을 mass balance equation을 이용해 수식화 하여 정리한다. 이 수식을 가지고 FEA(Finite element analysis)프로그래밍을 이용해 진공도를 계산한다. FEA 프로그래밍에 쓰이는 프로그램은 Matlab, excel을 이용하였다. 이 프로그래밍 결과에 따라 Pressure Profile을 작성 하고, 시간이 변함에 따라 진공도가 어떻게 변하는지 실제로 계산하여 time constant를 구한다. 이 값들을 챔버를 가지고 측정한 데이터와 비교하여본다.

• 한국진공학회지
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• 제10권2호
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• pp.173-181
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• 2001

1,333 Pa 용량의 용량형진공계를 저진공 국가표준기인 초음파간섭 수은주압력계(ultrasonic interferometer manometer)를 이용하여 교정하였다. 이 결과의 불확도를 국제표준화기구의 권고안의 A형 불확도, B형 불확도, 합성표준불확도, 확장불확도 등으로 구분하여 평가하였다. 표준압력 1.76 Pa~1.31$\times$$10^3$Pa에서의 합성표준불확도는 $1.38 \times10^{-2}\; Pa\sim3.03 \times10^{-1} $Pa이었으며, 상대불확도(합성표준불확도/표준압력)는 $2.3 \times 10^{-4}\;Pa\sim7.9 X\times10^{-3} $Pa 이었다.