• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제6권2호
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• pp.45-49
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• 1999

이온빔 보조 증착법을 이용하여 제작한 $SnO_2$박막을 기저 물질로한 가연성 센서에 catalyst로 ultra-thin Pd layer를 이온빔 스퍼터링으로 흡착시켰다. 가연성 기체의 센싱 메카니즘에서 Pd 촉매의 역할을 정확하게 조사하기 위해서 진공 및 공기 상에서 annealing 함으로서 Pd 촉매의 초기 산화 상태를 조절하였다. 촉매가 순수한 금속 Pd 클러스터 상태로 존재하는 $SnO_2$센서의 경우에는 PdO 클러스터가 있는 것에 비해 높은 감응성을 보였다. 이것은 PdO 클러스터가 표면 acceptor로 작용을 하는 것으로 생각되며 $SnO_2$로 부터 Pd sub-channel을 통해 전자를 받아 센서의 감도를 낮추고 응답시간을 늦추는 것으로 생각된다.

• 한국세라믹학회지
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• 제35권8호
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• pp.795-800
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• 1998

• 한국진공학회지
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• 제4권S2호
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• pp.75-78
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• 1995

Gas source molecular beam epitaxy have been used in the growth of InAlAsAnGaAs MSM-PD structure, in which InAlAs ultra thin layer was used as Schottky barrier enhancement material. High performance MSM-PDs have been constructed on the grown wafer. High breakdown voltage of >30V, low dark current density of $3pA/\mu \textrm{cm}^2$ at 10V bias and fast transient response of <20ps rise time / <40ps FWHM have been measured, which confirm the results that GSMBE is a superior method for the growth of materials with high layer and interfacial quality, especially for InP based InAIAdInGaAs system.