Study on the Structural Design of an Ultra-miniaturized Microcolumn with a Built-in Electrostatic Octupole Stigmator (정전형 8중극 비점수차 보정기가 내장된 극초소형 마이크로컬럼의 구조 설계 연구)
-
- Journal of the Semiconductor & Display Technology
- /
- v.22 no.3
- /
- pp.52-61
- /
- 2023