• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2014.11a
• /
• pp.110-111
• /
• 2014

RGB laser 를 이용하여 rf-magnetron sputtering 법으로 합성한 a-IGZO 박막의 photoresponse 를 관찰하였다. Air 분위기에서 red 파장을 조사 할 경우 비교적 slow recovery 특성을 보였으며, green 과 blue 파장을 조사 할 경우 red 보다 fast recovery 특성을 나타내었다. 그러나 진공에서 측정할 경우, red 파장에서는 recovery 가 빨라졌으며, green 과 blue 파장의 경우 recovery 가 매우 느려짐을 확인하였다. 이는 passivation 을 하지 않은 소자의 oxygen gas 의 흡/탈착 때문으로 예상할 수 있었으며, red 파장이 gas 탈착에 기여하는 정도가 매우 작고, green 과 blue 파장이 gas 탈착에 기여하는 정도가 매우 크기 때문인 것으로 생각할 수 있었다. 온도를 증가시킬 경우, 모든 경우에서 recovery 가 빠르게 나타났는데 이는 흡/탈착에 필요한 barrier 및 $V_o{^{2+}}$에서 Vo 로 돌아오기 위한 barrier 를 쉽게 넘어갈 수 있기 때문으로 이해 할 수 있었다. 이러한 결과를 stretched exponential equation 을 이용하여 해석하였으며 수치화 하였다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
• /
• v.17 no.5
• /
• pp.437-446
• /
• 2006

A fabrication method fur high-aspect-ratio microchannels in stainless steel using laser-assisted thermochemical wet etching is reported in this paper. The fabrication of deep microchannels with an aspect ratio over ten is realized by applying a multiple etching process with an optimization of process conditions. The cross-sectional profile of the microchannels can be adjusted between rectangular and triangular shapes by properly controlling laser power and etchant concentration. Excellent dimensional uniformity is achieved among the channels with little heat-affected area. Microchannels with a width ranging from 15 to $50{\mu}m$ can be fabricated with an aspect ratio of ten and a pitch of 150 m or smaller. The effects of process variables such as laser power, scan speed, and etchant concentration on the fabrication results, including etch width, depth, and cross-sectional profile are closely examined.

• Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
• /
• 2006.09b
• /
• pp.975-976
• /
• 2006

The present paper is a parameter study of zinc flake production using a Simoloyer CM01 horizontal high energy rotary ball mill. The manufactured flakes have a dimension in thickness (t) < $1{\mu}m$ and diameters (d) 5-100 ${\mu}m$, consequently a ratio d/t up to 200. The flake geometry is mainly controlled by the variation of process parameters such as rotary speed of the rotor, ratio of powder/ball charge, load ratio of the system, process temperature, operating model and the quantity of process control agent (PCA). The Zn flakes were characterized by SEM, tap densitometry, laser diffraction and water coverage measurement.

• The Journal of Advanced Prosthodontics
• /
• v.12 no.4
• /
• pp.189-196
• /
• 2020

PURPOSE. The aim of the present study was to investigate the effects of surface treatments on the bond strengths between polymer-containing restorative materials and two dual-cure resin cements. MATERIALS AND METHODS. In the present study, rectangular samples prepared from Lava Ultimate (LU) and Vita Enamic (VE) blocks were used. The specimen surfaces were treated using CoJet sandblasting, 50 ㎛ Al₂O₃ sandblasting, % 9 HF (hydrofluoric) acid, ER,Cr:YSGG laser treatment, and Z-Prime. Dual-cure resin cements (TheraCem and 3M RelyX U 200) were applied on each specimen's treated surface. A micro-tensile device was used to evaluate shear bond strength. Statistical analysis was performed using the SAS 9.4v3. RESULTS. While the bond strength using TheraCem with LU or VE was not statistically significant (P=.164), the bond strength using U200 with VE was statistically significant (P=.006). In the TheraCem applied VE groups, Z-Prime and HF acid were statistically different from CoJet, Laser, and Sandblast groups. In comparison of TheraCem used LU group, there was a statistically significant difference between HF acid and other surface treatments. CONCLUSION. The bonding performance between the restorative materials and cements were material type-dependent and surface treatment had a large effect on the bond strength. Within the limitations of the study, the use of both U200 and TheraCem may be suggested if Z-prime was applied to intaglio surfaces of VE. The cementation of LU using TheraCem is suitable after HF acid conditioning of the restoration surfaces.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2014.02a
• /
• pp.300.2-300.2
• /
• 2014

테라헤르쯔(terahertz : THz)파는 0.1~10 THz 의 범위로 적외선과 방송파 사이에 광대역 주파수 스펙트럼을 차지하고 있으며 직진성, 투과성, 그리고 낮은 에너지(meV)를 가지고 있어 비 파괴적이고 무해한 장점을 지니고 있다. Ti:sapphire laser와 같은 femto-pulse source 등이 많은 발전이 되어 현재 많은 연구와 발전이 이루어지고 있다. femto-pulse source를 이용한 THz 응용에서는 높은 저항, 큰 전자이동도, 그리고 아주 짧은 전하수명의 기판을 요구하는데 저온에서 성장한(low-temperature grown : LT) InGaAs는 격자 내에 Gallium 자리에 Arsenic이 치환 하면서 AsGa antisite가 발생하여 전하수명을 짧아지는 것을 응용하여 가장 많이 이용되고 있다. 본 연구에서는 보다 높은 저항을 얻기 위하여 molecular beam epitaxy를 이용하여 semi-insulating InP:Fe 기판위에 격자 정합된 LT-InGaAs:Be/InAlAs multi quantum well (MQW)를 well과 barrier를 가각 $10{\mu}m$ 씩 100주기 성장을 하였고 Ti와 Au를 각각 30, $200{\mu}m$로 dipole antenna를 제작 하였다. 이 때 Ti:sapphire femto-pulse laser (30 fs/90 MHz)를 excitation source로 사용하였을 때 9000 pA로 LT-InGaAs epilayer (180 pA)보다 50배 이상 큰 전류 신호를 얻을 수 있었다. THz 발생과 검출을 초소형, 초경량, 고효율로 하기 위해서는 fiber-optic를 이용해야 하는데 이때 분산과 산란 손실이 가장 적은 1550 nm 대역에서 많은 연구가 이루어 졌다. 780, 1560 nm의 mode-locking laser (90 fs/100 MHz)를 사용하여 현재 많이 이용되고 있는 Ti:sapphire femto-pulse laser와 비교하여 THz 특성 변화를 확인하는 연구를 진행 하고 있다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
• /
• 2008.07a
• /
• pp.155-156
• /
• 2008

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2011.08a
• /
• pp.291-291
• /
• 2011

1차원 반도체인 nanowires (NWs)는 전기적, 광학적으로 일반 bulk구조와 다른 특성을 가지고 있어서 현재 많은 연구가 되고 있다. 일반적으로 NWs는 Au 등의 금속 촉매를 이용하여 성장을 하게 되는데 이때 촉매가 오염물로 작용을 해서 결함을 만들어서 bandgap내에 defect level을 형성하게 된다. 본 연구는 Si(111) 기판 위에 Ga-droplet을 촉매로 사용을 하여 molecular beam epitaxy로 성장을 하였다. 성장온도는 600$^{\circ}C$로 고정을 하였고 growth rate은 GaAs(100) substrate에서 2.5 A/s로 Ga의 양을 고정하고 V/III ratio를 1부터 8까지 변화를 시켰다. As의 양에 따라서 생성되는 NWs의 개수가 증가하고 growth rate이 빨라지는 것을 확인할 수 있었다. Transmission Electron Microscopy 분석 결과 낮은 V/III ratio에서는 zincblende, wurtzite 그리고 stacking faults 가 혼재 되어 있는 것을 확인 할 수 있었다. 이러한 결함은 소자를 만드는데 한계가 있기 때문에 pure zincblende나 pure wurtzite를 가져야 하는데 V/III ratio : 8 에서 pure zincblende구조가 되었다. Gibbs-Thomson effect에 따르면 구조적 변화는 Ga droplet과 NWs의 접면에서 크기가 중요한 역할을 한다[1]. 연구 결과 V/III ratio : 8일 때 Ga droplet의 크기가 zincblende성장에 알맞다는 것을 예상할 수 있었다. laser confocal photoluminescence 결과 상온에서 1.43 eV의 bandgap을 가지는 bulk구조와는 다른 와 1.49eV의 bandgap을 가지는 것을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2014.02a
• /
• pp.288.1-288.1
• /
• 2014

We investigated the optical properties of Ge1-xSex and Ge1-x-ySexAsy amorphous semiconductor films using spectroscopic ellipsometry and Raman spectroscopy. The dielectric functions and absorption coefficients of the amorphous films were determined from the measured ellipsometric angles. We obtained the optical gap energies and Urbach energies from the absorption coefficients, and found a strong bowing effect in the optical gap energy of Ge1-x-ySexAsy where the endpoint binaries were Ge0.50Se0.50 and Ge0.31As0.69. Based on the correlation between optical gap energies and Urbach energies, the large bowing parameter was attributed to the electronic disorder. We found the composition dependence of several phonon modes using Raman spectroscopy. For Ge1-x-ySexAsy, the D mode (232-267 cm-1) changed from As-As (or As3 pyramid), to As(Se1/2)3 pyramid, and finally to Se clusters, as the Se composition increased. Resonant Raman phenomenon was observed in Ge0.38Se0.62 at a laser excitation of 514 nm (2.41 eV). We verified that this laser energy corresponds to the transition energy of Ge0.38Se0.62 using the second derivative of the dielectric function of Ge0.38Se0.62.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2010.02a
• /
• pp.280-280
• /
• 2010

태양전지의 효율을 증가시키는 방법에는 표면 패시베이션, 접촉면적의 가변, back contact의 두께 가변 등이 있다. 특히, back contact 두께의 가변을 통하여 open circuit voltage의 감소를 최소화 할 수 있을 것이라고 전망 되고 있다. open circuit voltage 은 회로가 개방된 상태로, 무한대의 임피던스가 걸린 상태에서 빛을 받았을 때 태양전지의 양단에 전위차가 형성된다. 본 연구에서는 back contact 두께 가변에 따른, open circuit voltage의 변화를 확인하고 분석하는 것에 그 일차적인 초점을 두었다. 또한, open circuit voltage 뿐만 아니라, short circuit current density, fill factor, series resistance 등의 분석을 하였으며, efficiency를 계산하여 back contact 두께의 가변에 따른 소자 특성의 변화 분석을 통하여 최적화된 back contact위 두께를 연구하였다. 접촉면적에 따른 소자의 성능 변화는 후면 $SiN_X$ 70nm가 open circuit voltage를 15mV ~ 20mV 감소시키는 것을 확인 할 수 있었다. 그 이유는 $SiN_X$가 너무 두꺼우면 BSF 덜 형성되기 때문이다. 최종적으로 $SiN_X$ 두께를 얇게하면 open circuit voltage 의 감소를 최소화 할 수 있을 것이라는 판단을 할 수 있다. 이에, back contact인 $SiN_X$ 두께 가변에 따른 open circuit voltage의 변화를 확인하였다. $SiN_X$ 두께가 증가함에 따라, Positive charges 와 Hydrogen 함유량이 증가하며, 이에 BSF 두께 감소하였다. 또한, $SiN_X$ 두께가 감소함에 따라 Doping barrier로서 역할을 못하게 되어 후면에 n+층 형성되어 open circuit voltage가 급격히 하락하였다. 본 연구에서는 back contact인 $SiN_X$ 두께를 10nm, 30nm, 50nm, 80nm 로 가변하며 실험을 진행하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2013.02a
• /
• pp.187-187
• /
• 2013

양자점(Quuantum dot, QD)은 0차원 특성을 가지는 구조로 양자 구속 효과로 인하여 bulk와 는 다른 구조적, 광학적, 전기적 특성을 가지고 있다. InAs QD는 size와 barrier의 bandgap 조절을 이용하여 쉽게 bandgap을 바꿀 수 있는 장점이 있어 solar cell, semiconductor laser diode, infrared photodetector 등으로 많은 연구가 이루어지고 있다. 일반적으로 Stranski-Krastanov (SK) mode로 성장한 InAs QD는 보통 GaAs epilayer와의 lattice mismatch (7%)를 이용하여 성장을 하고 이로 인하여 strain을 가지고 있고 QD의 density와 stack이 높을수록 strain이 커진다. 하지만 sub-monolayer (SML) QD 같은 경우 wetting layer가 생기는 지점인 1.7 ML이하에서 성장되는 성장 방식으로 SK-QD보다는 작은 strain을 가지게 된다. 또 QD의 size가 작아 SK-QD보다 큰 bandgap을 가지고 있다. 본 연구에서는 분자선 에피택시(molecular beam epitaxy, MBE)를 이용하여 semi-insulating GaAs substrate 위에 InAs QD를 0.5/1/1.5/1.7/2/2.5 monolayer로 성장을 하였다. GaAs과 InAs의 성장온도와 성장속도는 각각 $590^{\circ}C$, 0.8 ML/s와 $480^{\circ}C$, 0.2 ML/s로 성장을 하였으며 적층사이의 interruption 시간은 10초로 고정하였고 10주기를 성장하였다. Photoluminescence (PL)측정 결과 SML-QD는 size에 따라서 energy가 1.328에서 1.314 eV로 약간 red shift를 하였고 SK-QD의 경우 1.2 eV의 energy정도로 0.1 eV이상 red shift 하였다. 이는 QD size에 의하여 energy shift가 있다고 사료된다. 또 wetting layer의 경우 1.41 eV의 energy를 가지는 것으로 확인 하였다. SML-QD는 SK-QD 보다 반치폭(full width at half maximum, FWHM)이 작은 것은 확인을 하였고 strain field의 감소로 해석된다. 하지만 SML-QD의 경우 SK-QD보다 상대적으로 작은 PL intensity를 가지고 있었다. 이를 개선하기 위해서는 보다 높은 QD density를 요구하게 되는데 growth temperature, V/III ratio, growth rate 등을 변화주어서 연구할 계획이다.