Determination of Inelastic Collision Cross Sections for $C_{3}F_{8}$ Molecule by Multi-term Boltzmann Equation Analysis
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2000년도 하계학술대회 논문집
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- pp.934-941
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- 2000