The properties of the IZTO thin films on the glass were studied with a variation of the $SiO_2$ buffer layer thickness. $SiO_2$ buffer layers were deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) on the glass, and the In-Zn-Tin-Oxide (IZTO) thin films were deposited on the buffer layer by RF magnetron sputtering. All the IZTO thin films with the $SiO_2$ buffer layer are shown to be amorphous. Optimum $SiO_2$ buffer layer thickness was obtained through analyzing the structural, morphological, electrical, and optical properties of the IZTO thin films. As a result, the IZTO surface roughness is 0.273 nm with a sheet resistance of $25.32{\Omega}/sq$ and the average transmittance is 82.51% in the visible region, at a $SiO_2$ buffer layer thickness of 40 nm. The result indicates that the uniformity of surface and the properties of the IZTO thin film on the glass were improved by employing the $SiO_2$ buffer layer and the IZTO thin film can be applied well to the transparent conductive oxide for display devices.
Park, Jong-Chan;Kang, Seong-Jun;Chang, Dong-Hoon;Yoon, Yung-Sup
Journal of the Korean Ceramic Society
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v.52
no.1
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pp.72-76
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2015
150-nm-thick In-Zn-Tin-Oxide (IZTO) films were deposited by RF magnetron sputtering after a 10 to 50-nm-thick $SiO_2$ buffer layer was deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) on polyethylene terephthalate (PET) substrates. The electrical, structural, and optical properties of the IZTO/$SiO_2$/PET films were analyzed with respect to the thickness of the $SiO_2$ buffer layer. The mechanical properties were outstanding at a $SiO_2$ thickness of 50 nm, with a resistivity of $1.45{\times}10^{-3}{\Omega}-cm$, carrier concentration of $8.84{\times}10^{20}/cm^3$, hall mobility of $4.88cm^2/Vs$, and average IZTO surface roughness of 12.64 nm. Also, the transmittances were higher than 80%, and the structure of the IZTO films were amorphous, regardless of the $SiO_2$ thickness. These results indicate that these films are suitable for use as a transparent conductive oxide for transparency display devices.
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.6
no.2
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pp.275-285
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1996
The effect of heat-treatment on catalytic crystallization in $LI_2O-Al_2O_3-SiO_2$ glass system over its glass transition temperature was investigated. Glass composition $4Li_2O{cdot}22AL_2O_3{cdot}66SiO_2{cdot}2TiO_2{cdot}2.5ZrO_2{cdot}1.5P_2O_5{cdot}1.0Na_2O{cdot}1.0As_2O_3$ (wt%) was selected and heat-treated at different heating conditions to obtain transparent glass-ceramic. Nucleation and crystallization behaviour of this composition were estimated by differential thermal analysis (DTA) and X-ray diffractometer (XRD) and its thermal expansion coefficients were measured by Dilatometer. As a result, glass transition temperature was $730^{\circ}C$ and two maximum nucleation temperatures were estimated at $730^{\circ}C$ and 82$0^{\circ}C$ using JMA(Johson-Mehl-Avrami) equation by DTA. $ZrTiO_4$$\beta$-Quartz solid solution and $\beta$-Spodumene crystals were identified by XRD. The optimum crystallization temperature was 92$0^{\circ}C$ and three step heating schedule was expected to be useful to obtain transparent glass-ceramic.
Transparent conductive films of aluminium doped zinc oxide (AZO) have been prepared by using the DC magnetron sputtering with the ZnO : Al (Al2O3 2 wt%) oxide target oriented to c-axis. Electrical and optical properties depended upon the O2/Ar gas ratio. The optical transmittance and sheet resistance of the AZO coated glass was 60~65% and 75Ω/$\square$, respectively at the O2/Ar gas ratio of 0. With the increase of the oxygen partial pressure to 2.0$\times$10-2, they were increased to the values of 81% and 1kΩ/$\square$, respectively. The films with the resistivities of 1.2~1.4$\times$10-3 Ω.cm, mobilities of 11~13 $\textrm{cm}^2$/V.sec and carrier concentrations of 3.5$\times$1020~4.0$\times$1020/㎤ were produced at the optimum O2/Ar gas ratio, which was 0.5$\times$10-2~1.0$\times$10-2. According to XRD analysis, the films have only one peak corresponding to the (002) plane, which indicates that there is a strong preferred orientation of the films. The grain size of ZnO films were calculated to 200~320 $\AA$, which was increased with the O2/Ar gas ratio and Ar gas flowrate.
Transparent glass-ceramics containing fresnoite crystals have been prepared by controlled heat treatment in $K_2O-BaO-TiO_2-SiO_2$ and their nonlinear optical and luminescent properties were investigated using Maker fringe method and Spectrofluorometer. The second harmonic generation was observed in all samples and the values decreased with increasing $K_2O$ content. The luminescence of blue light at ${\sim}482nm$ could be observed and it was shown that the luminescent property was controlled by the $K_2O$ content.
Transparent In-doped zinc oxide (IZO) thin films are deposited with variation of pulsed DC power at Ar atmosphere on coming 7059 glass substrate by pulsed DC magnetron sputtering. A c-axis oriented IZO thin films were grown in perpendicular to the substrate. The optical transmittance spectra showed high transmittance of over 80% in the UV-visible region and exhibited the absorption edge of about 350 nm. Also, the IZO films exhibited the resistivity of ${\sim}10^{-3}{\Omega}\;cm$ and the mobility of ${\sim}6cm/V\;s$. Organic Light-emitting diodes (OLEDs) with IZO/N,N'-diphenyl-N, N'-bis(3-methylphenl)-1, 1'-biphenyl-4,4'-diamine (TPD)/tris (8-hydroxyquinoline) aluminum ($Alq_3$)/LiF/Al configuration were fabricated. LiF layer inserted is used as an interfacial layer to increase the electron injection. Under a current density of $100\;mA/cm^2$, the OLEDs show an excellent efficiency (9.4 V turn-on voltage) and a good brightness ($12000\;cd/m^2$) of the emission light from the devices. These results indicate that IZO films hold promise for anode electrodes in the OLEDs application.
The sols prepared by dialyzing solutions, in which the hydrolyzed precipitates of TEOT or directly Ti(OC3H7)4 were resolved, were the nanoparticulate sol with the average particle size less than 7 nm and the anatase crystal phase. In the pH range of 1.5 to 2.9, the particle size of the nanoparticulate TiO2 sols (0.09 mol/ι) increased gradually upto 15 nm~26nm with the increase of pH in the initial aging state but the sols were transparent all the time, and stable without growin any more after 30 days. When the slipcasted porous alumina tubes were coated by the sol-gel dipping method, the minimum particle size and the aging time for forming the coated gel layer at the given pH were optimized. For obtaining the very thin crack-free and reproducible membrane coating, the use of a nanoparticulate TiO2 sol (0.09 mol/ι) aged for about 30 dyas at pH=2.0 was found to be the best.
B-doped ZnO thin films on glass substrates were prepared by sputtering the ceramic targets which had been prepared by sintering disks consisting of ZnO and various amounts of B2O3 While pure ZnO films show-ed a c-axis oriented growth the B-doping retarded the prefered orientation and grain growth of the film. Electron concentrations for undoped and B-doped ZnO films were on the order of 7.8${\times}$1018 cm-3 and 5${\times}${{{{ {10 }^{20 } }} c{{{{ {m }^{-3 } }} respectively. The electron mobility however decreased with the B-doping concentration. Optical meas-urements on the films showed that the average transmittance in the visible range was higher than 85% The measurements also indicated a blueshift of the absorption edge with doping.
Electric arc furnace dust (EAFD) is a solid waste generated by the steel-scrap recycling process. It mainly consists of zinc oxides (ZnO), alumina ($Al_2O_3$), iron oxides ($Fe_2O_3$), and silica ($SiO_2$). Here we report the preparation and characterization of blue ceramic pigments using EAFD powder as a starting material. $(Zn(EAFD),Co)Al_2O_4$ blue ceramic pigment was prepared by the solid-state reaction method. The color characteristics of the pigment obtained were compared with those of pure $CoAl_2O_4$. The new pigment was characterized using XRD, CIE-$L^*a^*b^*$ color-measurements, SEM, and EDX. The XRD analysis revealed that the $(Zn(EAFD),Co)Al_2O_4$ pigment was composed of mainly the spinel phase of $(Zn,Co)Al_2O_4$. The $Zn(EAFD)_{0.25}Co_{0.75}Al_2O_4$ pigments showed a vivid blue color with a $b^*$ value of -28.64 and a good glaze stability with a transparent glaze.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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