• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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• pp.418-418
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• 2008

The electrochemical etching of silicon in HF-based solutions is known to form various types of porous structures. Porous structures are generally classified into three categories according to pore sizes: micropore (below 2 nm in size), mesopore (2 ~ 50 nm), and macropore (above 50 nm). Recently, the formation of macropores has attracted increasing interest because of their promising characteristics for an wide scope of applications such as microelectromechanical systems (MEMS), chemical sensors, biotechnology, photonic crystals, and photovoltaic application. One of the promising applications of macropores is in the field of MEMS. Anisotropic etching is essential step for fabrication of MEMS. Conventional wet etching has advantages such as low processing cost and high throughput, but it is unsuitable to fabricate high-aspect-ratio structures with vertical sidewalls due to its inherent etching characteristics along certain crystal orientations. Reactive ion dry etching is another technique of anisotropic etching. This has excellent ability to fabricate high-aspect-ratio structures with vertical sidewalls and high accuracy. However, its high processing cost is one of the bottlenecks for widely successful commercialization of MEMS. In contrast, by using electrochemical etching method together with pre-patterning by lithographic step, regular macropore arrays with very high-aspect-ratio up to 250 can be obtained. The formed macropores have very smooth surface and side, unlike deep reactive ion etching where surfaces are damaged and wavy. Especially, to make vertical microwire or nanowire arrays (aspect ratio = over 1:100) on silicon wafer with top-down photolithography, it is very difficult to fabricate them with conventional dry etching. The electrochemical etching is the most proper candidate to do it. The pillar structures are demonstrated for n-type silicon and the formation mechanism is well explained, while such a experimental results are few for p-type silicon. In this report, In order to understand the roles played by the kinds of etching solution and mask patterns in the formation of microwire arrays, we have undertaken a systematic study of the solvent effects in mixtures of HF, dimethyl sulfoxide (DMSO), iso-propanol, and mixtures of HF with water on the structure formation on monocrystalline p-type silicon with a resistivity with 10 ~ 20 $\Omega{\cdot}cm$. The different morphological results are presented according to mask patterns and etching solutions.

• 한국지반공학회논문집
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• 제20권2호
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• pp.87-96
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• 2004

쏘일네일링 공법은 도심지 지하굴착 공사에 있어, 지중매설물이 인접하여 존재하거나 대지경계선 등의 준수 등 시공조건에 따라서 설치네일의 길이가 제한되는 경우 및 연약한 지반조건으로 구성된 사면을 보강할 경우 등과 같은 벽체변위 및 지표침하 억제와 안정성 증대 등을 위하여, 지반앵커공법(ground anchor system)과 유사한 프리텐션 방식의 도입이 필요한 실정이다. 지반앵커공법과 유사한 프리텐션(pretension) 방식의 쏘일네일링 공법을 도입하게 될 경우, 프리텐션 하중에 의해 네일 두부에 부착된 지압판 등은 전면벽체에 수동토압을 유발시키게 되므로, 일반 보일네일링 벽체에서 발생하는 주동토압을 어느 정도 경감시킬 수 있을 것으로 기대되며, 아울러 단계별 굴착시 발생하는 변위를 최소화할 수 있을 것으로 예상된다. 따라서, 본 연구에서는 단계별 굴착시 유발되는 벽체변위 및 침하량 등을 억제하기 위한 노력의 일환으로, 프리텐션 보일네일링 시스템을 개발하였다. 또한 본 연구에서는 실내모형실험을 토대로 프리텐션 쏘일네일링 벽체의 거동특성 및 발휘되는 토압 등을 정량적으로 분석하여 프리텐션 효과에 따른 쏘일네일링 벽체의 파괴유형을 규명하였다. 아울러, 프리텐션 효과가 쏘일네일링 벽체 안정성에 미치는 영향을 검토하여, 향후 예상되는 프리텐션 효과에 따른 수평토압 감소 및 주면마찰력 증가등의 지반-네일 상호작용을 고려한 해석기법개발에 필요한 기초적인 자료를 제시하고자 한다.

• KDI Journal of Economic Policy
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• 제31권1호
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• pp.27-69
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• 2009

본 연구는 지방교부세제도에서는 어떤 자치단체장이라도 지방교부금의 상한까지 사용하려 하고 재원이 다른 용도로 사용될 가능성이 상대적으로 높다는 측면에서 지방세를 통한 지방재원 조달의 경우보다 비효율적이라는 것을 이론적으로 보이고 있다. 특히, 지방교부세제도의 경우에는 지방정부의 재정한계를 감소시키더라도 이러한 재정낭비의 가능성은 감소하지 않는다는 문제가 있다. 보다 효율적인 지방자치를 위해서는 국세의 지방세로의 전환을 통하여 지방재원이 지역주민으로부터 나오는 지방세를 강화할 필요성이 있다. 더 나아가 현행 지방교부세제도와 지방세 및 국세 체계를 개편하여 지방에서 사용하는 재원은 기본적으로 지방이 부담한다는 원칙을 확립할 필요성이 있다. 다시 말하면, 자치단체의 권한과 책무를 엄격하게 규정하고 그에 대응하는 재정권한 또한 부여되었을 때에만 재정의 낭비적 요소를 막을 수 있을 것이다. 이와 함께 상향식 공천제도인 경선제도를 통하여 지역정치인으로서 능력이 검증된 인물들이 중앙정치로 나아갈 수 있는 경로를 열어주고, 이를 통하여 현직 지역구의원과의 경쟁을 통하여 현직 지역구의원들의 지역발전을 위한 더 많은 노력을 유도할 수 있다는 점에서 중앙정치의 발전뿐만 아니라 지역발전에 보다 효율적인 제도라는 것을 보이고 있다. 다른 한편, 이러한 경선제도는 중앙정치로의 유인제공을 통하여 지방정치인의 지대추구행위를 감소시키는 효과도 있다. 더욱이 경선제도는 중앙정치에 참여하고자 하는 많은 능력 있는 인물들을 지방정치로 유도함으로써 지방발전을 도모할 수 있는 부수적인 효과도 얻을 수 있다. 이러한 중앙정치와 지방정치의 선순환적인 구조를 통하여 중앙정치와 지방분권 및 지역발전을 도모할 수 있다는 측면에서 경선제도의 도입이 긴요하다고 판단된다.

• 시큐리티연구
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• 제26호
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• pp.121-144
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• 2011

현재 우리나라의 국가안전관리(위기재난관리)체계를 지탱하고 있는 기본법은 '재난 및 안전관리기본법'이다. 이러한 '재난 및 안전관리기본법' 하에서 우리나라의 국가안전관리체계는 위기와 재난을 효율적으로 관리하기 위하여 이른바 삼단체계(중앙정부, 시도, 시군구)를 채택하고 있다. 통합위기관리체계(IEM)는 일차적으로 지역 대응기관의 조정과 협력(Coordination and Cooperation)체계를 중시하는 개념이며, 특히 서로 동등한 위치에서 기관과 기관 간의 협력을 강조하고 있다. 이러한 통합위기관리체계의 흐름에 발맞추어 영국과 미국의 국가안전관리체계는, 지역사회 내의 지역대응기관들이 중앙정부나 연방정부의 직접적인 개입없이 일차적으로 시민보호와 관련된 문제(위기 및 재난)를 관리하는 시스템을 구축하고 있다. 다시 말해, 영국과 미국에서는 위기와 재난의 범위가 아주 광범위하고 복잡한 경우, 이로 인하여 중앙정부의 조정과 협력이 절실히 요구되는 때에만 비로소 중앙정부의 개입이 직접적으로 이루어지고 있는 것이다. 이와 반대로 한국의 국가안전관리체계는 지시와 통제(Command and Control) 중심의 중앙집권화 된 시스템을 채택하고 있기 때문에, 위기재난 발생시(중요도에 관계없이) 중앙 정부가 쉽게 지역단위의 지휘체계를 무시하고 이를 통제하고 간섭할 수 있다. 현대사회는 불확실성, 비친숙성 및 비예측성이 증폭되고 있는, 이른바 '위험사회(Risk Society)' 또는 '포스트모던 사회(Post-modern Society)'라고 일컬어진다. 이러한 불확실성의 시대에서 과연 우리의 하향식 국가안전관리체계가, '위험사회(Risk Society)'와 '포스트모던 사회(Post-modern Society)'의 불확실성, 비친숙성, 비예측성을 효과적으로 관리할 수 있는지 의문점이 제기된다. 이러한 맥락에서, 동 논문은 한국의 시민보호체계도 영국과 미국의 위기재난관리시스템과 마찬가지로 분권화된 조정과 협력모델(Coordination and Cooperation)로 변화해야 한다고 주장한다. 이를 위해서, 현행 '재난 및 안전관리기본법' 체계 하에서 우리나라의 시민보호체계 및 안전관리체계를 비판적으로 검토하고, 이를 토대로 국가안전관리체계의 발전 방향에 대한 정책적 시사점을 제시하고자 한다.