• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2000년도 하계학술대회 논문집
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• pp.561-564
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• 2000

Silicon capacitive pressure sensor has been fabricated by using electrochemical etching stop and silicon-to-glass electrostatic bonding technique. A diaphragm structure is designed to compensate the nonlinear response. A cavity is etched into the silicon to the depth of 2$\mu\textrm{m}$ by anisotropic etching in 20wt.% TMAH solution at 80$^{\circ}C$. A fabricated sensor showed 3.3 pF zero-pressure capacitance, 297 pp.m/mmHg sensitivity, and a 7.4 7%F.S. nonlinear response in a 0-1 kgf/cm$^2$pressure range.

• Journal of Electrical Engineering and Technology
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• 제11권6호
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• pp.1846-1856
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• 2016

This study proposes a novel feature point initialization method in order to improve the accuracy of feature point positions by fusing a vision sensor and a lidar. The initialization is a process that determines three dimensional positions of feature points through two dimensional image data, which has a direct influence on performance of a 6-DoF bearing-only SLAM. Prior to the initialization, an extrinsic calibration method which estimates rotational and translational relationships between a vision sensor and lidar using multiple calibration tools was employed, then the feature point initialization method based on the estimated extrinsic calibration parameters was presented. In this process, in order to improve performance of the accuracy of the initialized feature points, an iterative automatic scaling parameter tuning technique was presented. The validity of the proposed feature point initialization method was verified in a 6-DoF bearing-only SLAM framework through an indoor and outdoor tests that compare estimation performance with the previous initialization method.

• 한국정보전자통신기술학회논문지
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• 제12권4호
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• pp.366-372
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• 2019

본 논문에서는 불소가 함유된 상용 폴리이미드를 사용하여 빗살형 전극을 갖는 정전용량형 습도센서를 제작하고 특성 측정 및 분석을 수행하였다. 먼저 상용 폴리이미드의 성분 분석을 위해 실리콘 웨이퍼 상에 패턴닝을 하고 열처리 공정을 수행한 후 EDS 분석을 수행하였다. 분석 결과 탄소(C) 62.48 Wt%, 산소(O) 9.38 Wt% 그리고 불소(F) 성분이 평균 8.44 Wt% 포함되어있는 것을 알 수 있었다. IDT구조에 대한 설계값을 토대로 제작된 습도센서의 면적은 $1.56{\times}1.66mm^2$이며, 전극의 넓이와 전극간 폭은 동일하게 각각 $3{\mu}m$, 센서의 감도를 높이기 위해 전극 수를 166개, 길이를 1.294mm로 제작하였다. 제작된 센서에 대한 기본특성 측정 결과 감도는 24 fF/%RH, 선형 특성 < ${\pm}2.5%RH$ 그리고 히스테리시스는 < ${\pm}4%RH$로 나타났으며, 주파수 특성은 10kHz, 20kHz, 50kHz, 100kHz에서 습도변화에 따른 용량값 변화를 측정한 결과 주파수가 증가할수록 동일 습도에서 용량값은 작아지는 것을 확인할 수 있었으며 10kHz와 100kHz의 습도변화에 따른 용량값 편차는 평균 0.3pF으로 측정되었다.

• 센서학회지
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• 제17권3호
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• pp.195-202
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• 2008

A biosensor based on the measurement of capacitance changes has been designed and fabricated for simple and realtime detection of bacteria. Compared to an impedance measurement technique, the capacitance measurement can make additional measurement circuits simpler, which improves a compatability for integration between the sensor and circuit. The fabricated sensor was characterized by detecting Escherichia coli(E. coli). The capacitance changes measured by the sensor were proportional to E. coli cell density, and the proposed sensor could detect $1{\times}10^6$ cfu/ml E. coli at least. The real-time detection was verified by measuring the capacitance every 20 minutes. After 7 hours of E. coli growth experiment, the capacitance of the sensor in the micro volume well with $4.5{\times}10^5$ cfu/ml of initial E. coli density increased by 20 pF, and that in another wells with $1.5{\times}10^6$ cfu/ml and $8.5{\times}10^7$ cfu/ml initial E. coli density increased by 56 pF and 71 pF, respectively. The proposed sensor has a possibility of the real-time detection for bacterial growth, and can detect E. coli cells with $1.8{\times}10^5$ cfu in nutrient broth in 5 hours.

• International Journal of Automotive Technology
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• 제7권4호
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• pp.385-390
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• 2006

A fast response $CO_2$ analyzer has been developed to study transient characteristics on an SI engine. The analyzer has the delay time of 4.5 ms and time constant of 2.8 ms, which is fast enough to measure $CO_2$ concentration on a transient condition. Wide range of A/F(Air/Fuel) ratio can be estimated using the analyzer with an additional switch type oxygen sensor. The results of measurement of $CO_2$ concentration and A/F ratio on a transient condition including rapid acceleration/deceleration and EGR(Ehxaust Gas Recirculation) on/off are presented and compared with a commercial exhaust gas analyzer and UEGO(Universial Exhaust Gas Oxyzen) sensor.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2006년도 춘계종합학술대회
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• pp.328-331
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• 2006

유비쿼터스 시대에 무선센서노드를 이용한 데이터 수집은 필요성이 증대하고 있다. 본 논문에서는 PIC16F877과 Bluetooth를 이용하여 데이터를 수집하고, PC에서 데이터베이스를 구축한다. PIC16F877은 무선센서노드를 제어하고, PC는 DB의 수집되는 데이터를 비교하여 제어 데이터와 테이블을 갱신하고, 노드의 센싱 주기를 지능형으로 변환시키는 알고리즘을 제안한다. 연구의 결과는 저렴하고, 실용적이며, 간단하게 시스템을 구축하여 산업현장에 적용할 수 있다.

• 한국인터넷방송통신학회논문지
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• 제9권6호
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• pp.135-139
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• 2009

어선의 안전을 실시간으로 모니터링하고 위험요소가 발생했을 경우에 사용자에게 이를 경보하고 통보해줄 수 있는 장치에 대한 필요성이 크게 대두되고 있다. 위험요소를 감지하는 다기능 센서를 사용하기 위해서 임베디드 모듈에서는 Device driver와 Application program을 구현해야 하는 문제가 있다. 본 논문에서는 Device driver와 Application program의 구현 없이 다기능 센서의 입출력 데이터를 관리 및 처리하기 위해서 PIC18F를 이용하여 센서부의 하드웨어 설계 및 제어프로그램 구현을 하였다. 센서의 동작에 따라 데이터를 출력하는 동작 확인을 통하여 성능검증을 하였다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.34-34
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• 2003

Piezoelectric or magnetostrictive materials, known as smart materials, have been researched widely for sensors or actuators in micro system technology. In our research, thick sol-gel lead zirconate titanate(Pb(Zr$\sub$1-x/Ti$\sub$x/)O$_3$) films were fabricated and their characteristics were investigated f3r angular rate sensor applications. The thickness of the PZT films is 1.5${\mu}$m, which is required by a vibration angular rate sensor for a good actuation and sensing. The remnant polarization of the PZT flms is 12.0 ${\mu}$C/$\textrm{cm}^2$. The electromechanical constants of PZT thin film showed the value of susceptance(B) of 4800${\mu}$ s at capacitance of 790pF. The PZT films were applied to the vibration angular rate sensor structure and the vibration of 1.78 ${\mu}$m in amplitude at the resonant frequency of 35.8㎑ was obtained by driving voltage of 5V$\sub$p-p/ of bulk piezoelectric materials with out of phase signal through voltage and inverting amplifier.

• 센서학회지
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• 제26권1호
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• pp.60-65
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• 2017

This paper describes the low noise and low power IC using the opamp sharing technique for the capacitive micro-sensor sensing platform. The proposed IC reduces noise using correlated double sampling (CDS) and reduces power consumption using the opamp sharing technique. The IC is designed to be fully programmable, and can be digitally controlled by serial peripheral interface (SPI). The power consumption and the integrated input referred noise are 1.02 mW from a 3.3 V supply voltage and $0.164aF_{RMS}$ with a bandwidth of 400 Hz. The capacitive sensitivity, the input-output linearity and the figure of merits (FoM) are 2.5 mV/fF, 2.46 %FSO, and 8.4, respectively.

• 한국지리정보학회지
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• 제15권2호
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• pp.46-56
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• 2012

최근 소프트웨어 아키텍처 설계 시 재사용성의 효율성이 강조되어지고 있다. 이러한 설계의 재사용성은 소프트웨어의 품질을 높이고 유지보수 효율을 높일 수 있는 비용절감 요소로 많이 활용된다. 이러한 재사용관련 객체지향 설계에서 GoF 디자인 패턴은 반복적인 설계 문제에 대해 재사용성이 높은 해법을 제공하므로 그 중요성이 더욱 강조되고 있다. 이와 관련한 설계방법이 여러 응용시스템에서 적용되고 있다. 이중 다중 분산 센서네트워크 시스템에서 서로 다른 기능의 센서노드, 수집노드와 서버에서 수많은 컴포넌트와 클래스의 조합으로 시스템이 설계되어 복잡한 구조를 이루고 있다. 더군다나 이러한 시스템들은 개발자의 특정 목적에 맞추어 더욱 복잡한 시스템으로 변경되기도 한다. 본 논문은 TinyOS에 기반한 다중 분산되어진 센서네트워크 시스템에서 복잡하게 구현되어 있는 구조들을 클래스와 기능 등에 따라 재사용성의 효율성을 높이는 CATL 모델 구조를 설계하고 Facade 패턴을 응용하여 센서네트워크 시스템을 설계 하고자 한다. 이러한 모델구조와 패턴은 복잡한 센서네트워크 시스템에서 주요 기능들을 담당하는 클래스와 기능 들을 묶어 구조화함으로서 새로운 시스템의 설계나 변경 또는 유지보수 등에 효율적으로 활용될 것이라 판단된다.