HF 세정후 자연 산화막의 존재가 티타늄 실리사이드 형성에 미치는 영향
(The Effect of Native Oxide on the $TiSi_{2}$ Transformation after HF Cleaning)
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- 한국재료학회지
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- 제8권5호
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- pp.464-469
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- 1998