A fuzzy logic Run-by-Run(RbR) controller and an in -line wafer characteristics prediction scheme for the rapid thermal processing system have been developed for the study of process repeatability. The fuzzy logic RbR controller provides a framework for controlling a process which is subject to disturbances such as shifts and drifts as a normal part of its operation. The fuzzy logic RbR controller combines the advantages of both fuzzy logic and feedback control. It has two components : fuzzy logic diagnostic system and model modification system. At first, a neural network model is constructed with the I/O data collected during the designed experiments. The wafer state after each run is assessed by the fuzzy logic diagnostic system with featuring step. The model modification system updates the existing neural network process model in case of process shift or drift, and then select a new recipe based on the updated model using genetic algorithm. After this procedure, wafer characteristics are predicted from the in-line wafer characteristics prediction model with principal component analysis. The fuzzy logic RbR controller has been applied to the control of Titanium SALICIDE process. After completing all of the above, it follows that: 1) the fuzzy logic RbR controller can compensate the process draft, and 2) the in-line wafer characteristics prediction scheme can reduce the measurement cost and time.
This study measured the thermal environment and residents' control behaviors of cooing according to 3 groups of household type-families with preschool children, families of middle age and families of senior. The object of this study are to fmd the difference of the actual condition of indoor thermal environment and cooling control behavior by age or household type and to develop user oriented climate control system. The results were summarized as follows. When the age of members at household is younger, the indoor mean temperature and temperature that people turned off the air conditioner became lower. These different indoor thermal environment of each group means that younger generation is familiar with cooler from their early age and these early uses of cooler made them prefer cooler condition than family of senior. Therefore, this results show that different indoor thermal environment is influenced by factors such as household type and metabolism difference and so on.
There are generator/turbine/boiler control system in the thermal power plant. By the way, the manufacturers are different each other in many cases. Therefore there were many difficulties in interface and maintenance of power plant. So, we have been developing the integration of all control system in a single manufacturer. Mill & burner control is analyzed in this paper.
This paper is investigated on the improvement for steam temperature control at Boryung coal-fired drum boiler type thermal power plant. The steam temperatur control has been mainly operated by the feedback controllers. Automatic controllers are bounded and difficult. Because boiler system is nonlinear and the system time delay is very large. Optimal regulators including predictive feedforward and differentiate control are synthesized and some improved output results are presented.
The purpose of this study is to investigate the effects of changing air temperature and the changing on/off periods of the air-conditioner system. Adding to that, this paper discuss is to consider the effects of air temperature with the air-conditioner system upon the human thermal comfort. The experiment is conducted during the summer. The subjects(6 young females) are exposed to the following conditions: combinations of 2 Swing and 2 Linear air control Conditions. (2 Swing during 40 min, 4 Swing during 40 min, Linear 40 min, Linear 60 min in still air and RH 50%). From the experiment, the following results are obtained; the thermal sensation vote is neutral after 90 minute. The mean skin temperature ranged about $34^{\circ}C$ at all conditions. The skin temperature was greatly affected by 2 Swing big amplitude condition.
대한원격탐사학회 2002년도 Proceedings of International Symposium on Remote Sensing
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pp.229-234
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2002
Under the hostile influence of the extreme space environmental conditions due to the deep space and direct solar flux, the thermal control in space applications is especially of major importance. There are tight temperature range restrictions for electro-optical elements while on the other hand there are low power consumption requirements due to the limited energy sources on the spacecraft. So, we usually have strong requirement of thermal and power control module in space applications. In this paper, the design concept of a thermal and power control module in the MSC(Multi-Spectral Camera) system which will be a payload on KOMPSATII is described in terms of H/W & S/W. This thermal and power control module, called THTM(Thermal and Telemetry Module) in MSC, resides inside the PMU(Payload Management Unit) which is responsible for the proper management of the MSC payload for controlling and monitoring the temperature insides the EOS(Electro-Optic System) and gathering all the analog telemetry from all the MSC sub-units, etc. Particularly, the designed heater controller has the special mode of "duty cycle" in addition to normal closed loop control mode as usual. THTM controls heaters in open loop according to on/off set time designed through analysis in duty cycle mode in case of all thermistor failure whereas it controls heaters by comparing the thermistor value to temperature based on closed loop in normal mode. And a designed THTM provides a checking and protection method against the failure in thermal control command using the test pulse in command itself.
This paper describes the control charcteristics of thermal/flow systems. In thermal/flow systems, the transport lag plays as a dead time causing a deterioration of the controllability. Besides this, such many parameters including the temperature, pressure, and flow rate affect the system response that a control scheme which can deal with multi-input is required. Particularly in a refrigerant compressor test facility, the evaporator and condenser interact each other so that the change in the evaporator pressure cause the condenser pressure to change or vice versa. Therefore, to control the evaporator pressure, not only the cooling water flow rate in the evaporator but also the coolant flow rate in the condenser is considered. Meanwhile, the conventional PID controllers, which is suitable for a single input system, shows a large overshoot for a disturbance input. In this work, the predictive control scheme is introduced and its applicability is discussed for thermal/flow systems.
A preliminary thermal analysis is performed for the optical payload system of a geostationary satellite. The optical payload considered in this paper is GOCI(Geostationary Ocean Color Imager) of COMS of Korea. The radiative and conductive thermal models are employed in order to predict thermal responses of the GOCI on the geostationary orbit. According to the results of this analysis are as follows: 1) the GOCI instrument thermal control is satisfactory to provide the temperatures for the GOCI performances, 2) the thermal control is defined and interfaces are validated, and 3) the entrance baffle temperature is found slightly out its specification, therefore further detailed analyses should be continued on this element.
A preliminary thermal analysis is performed for the optical payload system of a geostationary satellite. The optical payload considered in this paper is GOCI(Geostationary Ocean Color Imager) of COMS of Korea. The radiative and conductive thermal models are employed in order to predict thermal responses of the GOCI on the geostationary orbit. The results of this analysis are as follows: 1) the GOCI instrument thermal control is satisfactory to provide the temperatures for the GOCI performances, 2) the thermal control is defined and interfaces are validated, and 3) the entrance baffle temperature and shutter wheel motor gradient are found slightly out their specification, therefore further detailed analyses should be continued on these elements.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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