• 제목/요약/키워드: Target Profile

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Magnetron Sputter내 Plasma 분포 및 Target Erosion Profile 해석

  • 김성구;오재준;신재광;이규상;허재석;이형인;이윤석
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.209-209
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    • 1999
  • 현재 magnetron sputter는 반도체, LCD 등을 포함하는 microelectronics 산업에서 박막형성을 위한 주요 장비로 널리 쓰이고 있으며, 소자의 고집적화 및 대형화 추세에 따라 그 이용가치는 더욱 증대되고 있다. 본 연구엣는 TFT-LCD용 Color Filter 제조시 ITO박막형성을 위해 사용하는 magnetron sputter 내부의 플라즈마 분포 및 ion kinetic energy에 대한 해석을 실시하였으며, ITO target의 erosion 형상의 원인을 실험결과와 비교하였다. Magnetron sputtering은 target에 가해지는 bias 전압(DC 혹은 RF)에 의해 target과 shield 혹은 target과 substrate 사이에서 생성될 수 잇는 플라즈마를 target 및 부분에 붙어있는 영구자석을 이용하여 target 근처에 집중시키고, target 표면과 플라즈마 사이의 전위차에 의해 가속된 이온들이 target 표면과 충돌하여 이차 전자방출을 일으킴과 동시에 target 표면에서 sputtering을 일으키고, 이들 sputtered 된 중성의 atom 들이 substrate로 날아가 박막을 형성하는 원리로 작동된다. 이때 target에서 방출되는 이차전자들은 영구자석에 의한 자기장 효과에 의해 target 근처에 갇히게 되어 중성 기체분자들과 이온화반응을 통해 플라즈마를 유지하고 그 밀도를 높혀주는 역할을 담당하게 된다. 즉 낮은 압력 및 bias 전압에서도 플라즈마 밀도를 높일수 있고 sputtering 공정이 가능한 장점을 가지고 있다. Magnetron sputtering 현상에 대한 시뮬레이션은 크게 magnetron discharge와 sputtering에 대한 해석 두가지로 나누어 볼 수 있는데, sputtering 현상 자체를 수치묘사할 수 있는 정량적인 모델은 아직까지 명확하게 정립되어 있지 않다. 따라서 본 연구에서는 magnetron plasma 자체에 대한 수치해석에 주안점을 두고 아울러 bulk plasma 영역에서 target으로 입사하는 이온들의 입사에너지 및 입사각도 등을 Monte Carlo 방법으로 추적하여 sputtering 현상을 유추해보았다. Sputtering 현상을 살펴보기 위해 magnetron sputter 내 플라즈마 밀도, 전자온도, 특히 target 및 substrate를 충돌하는 이온의 입사에너지 및 입사각 분포등을 계산하는데 hybrid 방법으로 시뮬레이션을 하였다. 즉 ion과 bulk electron에 대해서는 fluid 방식으로 접근하고, 이차전자 운동과 그로 인한 반응관계 및 target으로 입사하는 이온의 에너지와 입사각 분포는 Monte-Carlo 방법으로 처리하였다. 정지기장해석의 경우 상용 S/W인 Vector Fields를 사용하였다. 이를 통해 sputter 내 플라즈마 특성, target으로 입사하는 이온에너지 및 각 분포, 이들이 target erosion 형상에 미치는 영향을 살펴보았다. 또한 이들 결과로부터 간단한 sputtering 모델을 사용하여 target으로부터 sputter된 입자들이 substrate에 부착되는 현상을 Monte-Carlo 방법으로 추적하여 성막특성도 살펴보았다.

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여수석유화학산단의 공선성 시험을 이용한 VOC 오염원 분류표 개발 (Development of the vac Source Profile using Collinearity Test in the Yeosu Petrochemical Complex)

  • 전준민;허당;황인조;김동술
    • 한국대기환경학회지
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    • 제21권3호
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    • pp.315-327
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    • 2005
  • The total of 35 target VOCs (volatile organic compounds), which were included in the TO-14, was selected to develop a VOCs' source profile matrix of the Yeosu Petrochemical Complex and to test its collinearity by singular value decomposition(SVD) technique. The VOCs collected in canisters were sampled from 12 different sources such as 8 direct emission sources (refinery, painting, wastewater treatment plant, incinerator, petrochemical processing, oil storage, fertilizer plant, and iron mill) and 4 general area sources (gasoline vapor emission, graphic art activity, vehicle emission, and asphalt paving activity) in this study area, and then those samples were analyzed by GC/MS. Initially the resulting raw data for each profile were scaled and normalized through several data treatment steps, and then specific VOCs showing major weight fractions were intensively reviewed and compared by introducing many other related studies. Next, all of the source profiles were tested in terms of degree of collinearity by SVD technique. The study finally could provide a proper VOCs' source profile in the study area, which can give opportunities to apply various receptor models properly including chemical mass balance (CMB).

Efficient Verification of X-ray Target Replacement for the C-series High Energy Linear Accelerator

  • Cho, Jin Dong;Chun, Minsoo;Son, Jaeman;An, Hyun Joon;Yoon, Jeongmin;Choi, Chang Heon;Kim, Jung-in;Park, Jong Min;Kim, Jin Sung
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제29권3호
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    • pp.92-100
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    • 2018
  • The manufacturer of a linear accelerator (LINAC) has reported that the target melting phenomenon could be caused by a non-recommended output setting and the excessive use of monitor unit (MU) with intensity-modulated radiation therapy (IMRT). Due to these reasons, we observed an unexpected beam interruption during the treatment of a patient in our institution. The target status was inspected and a replacement of the target was determined. After the target replacement, the beam profile was adjusted to the machine commissioning beam data, and the absolute doses-to-water for 6 MV and 10 MV photon beams were calibrated according to American Association of Physicists in Medicine (AAPM) Task Group (TG)-51 protocol. To verify the beam data after target replacement, the beam flatness, symmetry, output factor, and percent depth dose (PDD) were measured and compared with the commissioning data. The difference between the referenced and measured data for flatness and symmetry exhibited a coincidence within 0.3% for both 6 MV and 10 MV, and the difference of the PDD at 10 cm depth ($PDD_{10}$) was also within 0.3% for both photon energies. Also, patient-specific quality assurances (QAs) were performed with gamma analysis using a 2-D diode and ion chamber array detector for eight patients. The average gamma passing rates for all patients for the relative dose distribution was $99.1%{\pm}1.0%$, and those for absolute dose distribution was $97.2%{\pm}2.7%$, which means the gamma analysis results were all clinically acceptable. In this study, we recommend that the beam characteristics, such as beam profile, depth dose, and output factors, should be examined. Further, patient-specific QAs should be performed to verify the changes in the overall beam delivery system when a target replacement is inevitable; although it is more important to check the beam output in a daily routine.

산란점 수 추정방법에 따른 표적의 길이 추정 (Target Length Estimation of Target by Scattering Center Number Estimation Methods)

  • 이재인;유종원;김남문;정광용;서동욱
    • 한국측량학회지
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    • 제38권6호
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    • pp.543-551
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    • 2020
  • 본 논문에서는 레이더를 이용한 표적 길이 추정 정확도를 향상시키기 위한 방법에 관해 소개한다. 레이더 수신신호를 통해 만들어지는 고해상도 거리측면도(HRRP: High Resolution Range Profile)은 표적의 1차원적인 산란 특성을 나타내며, HRRP에서의 피크(peak)는 전자기파를 강하게 산란시키는 산란점(scattering center)을 의미한다. 추출된 산란점을 이용하여 레이더 가시선 방향(RLOS: Radar Line of Sight)의 길이인 표적 종방향 거리(downrange) 길이를 추정하며, 표적과 레이더 가시선 방향이 이루는 각도를 통해 표적의 실제 길이를 추정한다. 길이 추정의 정확도를 향상시키기 위해, HRRP를 이용하는 방법보다 정확하게 산란점을 추출하기 위한 방법인 매개변수 추정방법(parametric estimation method)을 이용할 수 있다. 매개변수 추정방법은 산란점 개수가 결정된 후에 적용되며, 따라서 산란점 개수 추정의 정확도에 크게 영향을 받는다. 본 논문에서는 레이더를 통한 표적 길이 추정 정확도를 향상시키기 위해, 정보 이론적 판단 기준에 바탕을 둔 신호원 수 추정방법인 AIC (Akaike Information Criteria), MDL (Minimum Descriptive Length), GLE (Gerschgorin Likelihood Estimators)방법들을 이용하여 산란점 개수를 추정하였다. 매개변수 추정방법으로 ESPRIT기법을 이용하여, 간단한 표적 캐드 모델에 대한 길이 추정 시뮬레이션을 수행하였으며, GLE방법이 산란점 개수 추정과 표적 길이 추정에 우수한 성능을 보임을 확인하였다.

선박용 곡판형상의 실시간 측정을 위한 다중 슬릿빔 보정법 (3D Calibration Method on Large-Scale Hull Pieces Profile Measurement using Multi-Slit Beams)

  • 김병창;이세한
    • 제어로봇시스템학회논문지
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    • 제19권11호
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    • pp.968-973
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    • 2013
  • In the transportation industry, especially in the shipbuilding process, 3D surface measurement of large-scale hull pieces is needed for fabrication and assembly. We suggest an efficient method for checking the shape of curved plates under the forming operation with short time by measuring 3D profiles along the multi lines of the target surface. For accurate profile reconstruction, 2D camera calibration and 3D calibration using gauge blocks were performed. The evaluation test shows that the measurement accuracy is within the boundary of tolerance required in the shipbuilding process.

Radiometric Calibration Method with Compensation of Nonlinearity of Detector for Hyper-Spectral Camera

  • Yang, Ji-Hyeon;Choi, Byung-In;Park, Hee Duk;Kim, Sohyun;Park, Yong Chan
    • 한국컴퓨터정보학회논문지
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    • 제22권10호
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    • pp.27-34
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    • 2017
  • In this paper, we propose a novel radiometric calibration method which can effectively compensate the nonlinearity of the detector for hyper-spectral camera. In general, the detector of hyper-spectral camera can produce nonlinear output depending on radiance and integral time. The conventional radiometric calibration methods extract the imprecise radiance profile from the spectral profile of the target due to this nonlinearity. In our proposed method, we use a quadratic equation instead of a linear equation to describe the relation between output of detector and radiance. Then, we use a fractional function to compensate variation of integration time. Thus, our proposed method can extract more precise spectral profile of radiance than conventional radiometric calibration method.

바이스태틱 레이다를 이용한 이동표적에 대한 표적식별 성능 분석 (Analysis of Target Identification Performances against the Moving Targets Using a Bistatic Radar)

  • 이승재;배지훈;정성재;양은정;김경태
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제27권2호
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    • pp.198-207
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    • 2016
  • 바이스태틱(Bistatic) 레이다는 기존의 모노스태틱(Monostatic) 레이다로는 수행하기 어려운 저피탐(stealth) 표적에 대한 탐지 및 식별을 용이하게 해준다. 하지만 표적식별을 위해 바이스태틱 레이다의 수신신호로부터 고해상도 거리 측면도(high resolution range profile: HRRP)를 형성할 시, 바이스태틱 고유의 기하구조로 인해 바이스태틱 HRRP 내 왜곡현상이 발생하고, 이는 표적에 대한 정확한 거리 정보를 획득하기 어렵게 한다. 더욱이 바이스태틱 HRRP 내 나타나는 표적의 전자기적 산란 메커니즘은 바이스태틱 기하구조에 따라 다양하게 변하기 때문에 효율적인 훈련 데이터베이스 구축은 바이스태틱 표적식별에서의 핵심 사항이 된다. 본 논문에서는 모노스태틱 표적식별에서 효과적인 성능을 보였던 비행 시나리오에 기반한 훈련 데이터베이스 구축 기법을 바이스태틱 표적식별에 적용해 보고, 그 성능과 효율성을 분석한다. 시뮬레이션에서는 레이다와 표적의 거리가 충분히 먼 경우, 비행시나리오에 기반한 데이터베이스를 이용하여 효율적으로 바이스태틱 표적식별을 수행할 수 있음을 보인다.

개인-동료 간 OCB 프로파일 유사도가 무례경험에 미치는 영향 연구 (The Effect of OCB Profile Similarity between Individual and Colleagues on Experienced Incivility)

  • 송기륭;김경석
    • 아태비즈니스연구
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    • 제13권3호
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    • pp.245-259
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    • 2022
  • Purpose - Studies have been continuously carried out by researchers so far to clarify the factors influencing employee's incivility at work. However, the behavior of employees who are the target of incivility not much has been revealed which behavior affects the experience of incivility. Among them, it is interesting that the effect of OCB, a representative of employees' positive behavior in the workplace, on their experienced incivility has not been investigated. Therefore, this study attempted to clarify the relationship between OCB and experienced incivility that previous studies have not yet discovered. Design/methodology/approach - In the process, the concept of profile similarity was introduced and based on this, it was assumed that the OCB profile similarity between individual and colleagues, not the absolute level of OCB, would affect the experienced incivility and demonstrated this. The analysis was conducted by applying the survey data obtained from 205 employees to hierarchical regression analysis. Findings - As a result of the analysis, it was examined that the absolute OCB value used in previous studies did not significantly affect the experienced incivility, but the higher the similarity level, the less experienced incivility. The implications obtained based on this and future research directions are discussed together in the conclusion. Research implications or Originality - This study is the first one that considers OCB's profile similarity as a antecedent of experienced incivility. OCB profile similarity concept was only treated as a theoretical issue even in very early stage of OCB research stream, but this study examines the significant effect of OCB profile similarity. Moreover, behavioral antecedents of experienced incivility has not been identified well, but this study finds out that OCB can be a behavioral antecedent of experienced incivility.

UML 프로파일 메커니즘을 이용한 이종 소형 무인지상차량 설계 자동화 (Design Automation for Heterogeneous SUGVs with UML Profile Mechanism)

  • 김우열;손현승;김영철
    • 한국정보과학회논문지:소프트웨어및응용
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    • 제35권12호
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    • pp.705-715
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    • 2008
  • SUGV의 활용이 늘어감에 따라 구성하는 소프트웨어가 복잡해지고 개발 환경 다양화로 인한 상호운용성 문제가 대두되고 있다. 본 논문에서는 이러한 문제점을 해결하고자 기존의 UML 프로파일 메커니즘을 이용하여 SUGV 개발에 MDA가 적용되도록 하였다. 이를 통해 이종 SUGV 소프트웨어 설계시 타겟 독립 모델을 만든 후 UML 프로파일이 적용된 자동화 도구를 이용해 타겟 종속 모델 및 코드를 생성하면 이종 기기의 개발기간과 노력을 절약할 수 있다. 그리고 발생된 코드의 분석을 통해 제안한 방법의 이점 및 신뢰성을 확인할 수 있었다.

고무 패드 벤딩 공정설계에 관한 실험적 연구 (Experimental Study on Process Design of Rubber Pad Bending)

  • 권혁철;임용택;지동철;이명호
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2000년도 추계학술대회논문집A
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    • pp.407-412
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    • 2000
  • In this study, a research for process design in bending of structural frame of AA6061-T6 with rubber pad was conducted. In this process, the conventional lower die made of metal is replaced with a polyurethane pad, resulting in high flexibility during bending. Vulcanized polyurethane rubber with shore A hardness of 60 was used for the pad. Experiments on a newly developed bending machine were carried out by controlling the stroke of the roller and horizontal movement of roller pad lower die. From this, the relation between roller path and geometry of the materials bent was obtained for the process design of producing roof rail part of a passenger car and the experimental result was compared with the target profile. For more accurate process design, it is required to control the roller path interactively. Based on the experience in developing the prototype bending machine, it is construed that a fully automated bending system with rubber pad to produce various light-weight components for automotive body frames can be successfully developed.

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