고정밀, 고저항 Resistor용 TaO$_x$ /TaN$_{0.1}$ /Cr/Al$_2$ O$_3$ (Bulk) 박막의 저항 특성에 관한 연구
(Electrical resistance ppropperties of (TaO$_x$ /TaN$_{0.1}$ /Cr/Al$_2$ O$_3$ (Bulk) thin films for supper pprecision and high resistance)
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 1993년도 제5회 학술발표회 논문개요집
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- pp.87-88
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- 1993