A Study on the Development & Performance Improvement of Vertical Type LPE System for a Ulta Thin Layer Single Crystal Growth (초박막구조 단결정성장을 위한 수직형 LPE장치의 제작과 성능개선에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Navigation
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- v.19 no.4
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- pp.83-92
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- 1995