• 제목/요약/키워드: System analyzer

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하이브리드 SEM 시스템

  • 김용주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.109-110
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    • 2014
  • 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy: SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 수 나노미터의 분해능을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료 nnnnnnnnn와 유가공 제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다(Fig. 1). 입사된 전자빔이 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 할 때 2차 전자(secondary electron)외에 후방산란전자(back scattered electron), X선, 음극형광 등이 발생하게 되는 이것을 통하여 topography (시료의 표면 형상), morphology(시료의 구성입자의 형상), composition(시료의 구성원소), crystallography (시료의 원자배열상태)등의 정보를 얻을 수 있다. SEM은 2차 전자를 이용하여 시료의 표면형상을 측정하고 그 외에는 SEM을 플랫폼으로 하여 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy), WDS (Wave Dispersive X-ray Spectroscope), EPMA (Electron Probe X-ray Micro Analyzer), FIB (Focus Ion Beam), EBIC (Electron Beam Induced Current), EBSD (Electron Backscatter Diffraction), PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer) 등의 많은 분석장치들이 SEM에 부가적으로 장착되어 다양한 시료의 측정이 이루어진다. 이 중 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 하는 X선 분석장치인 EDS를 SEM에 일체화시킨 장비와 EDS 및 PBMS를 SEM에 장착하여 반도체 공정 중 발생하는 나노입자의 형상, 성분, 크기분포를 측정하는 PCDS(Particle Characteristic Diagnosis System)에 대해 소개하고자 한다. - EDS와 통합된 SEM 시스템 기본적으로 SEM과 EDS는 상호보완적인 기능을 통하여 매우 밀접하게 사용되고 있으나 제조사와 기술적 근간의 차이로 인해 전혀 다른 방식으로 운영되고 있다. 일반적으로 SEM과 EDS는 별개의 시스템으로 스캔회로와 이미지 프로세싱 회로가 개별적으로 구현되어 있지만 로렌츠힘에 의해 발생하는 전자빔의 왜곡을 보정을 위해 EDS 시스템은 SEM 시스템과 연동되어 운영될 수 밖에 없다. 따라서, 각각의 시스템에서는 필요하지만 전체 시스템에서 보면 중복된 기능을 가지는 전자회로들이 존재하게 되고 이로 인해 SEM과 EDS에서 보는 시료의 이미지의 차이로 인한 측정오차가 발생한다(Fig. 2). EDS와 통합된 SEM 시스템은 중복된 기능인 스캔을 담당하는 scanning generation circuit과 이미지 프로세싱을 담당하는 FPGA circuit 및 응용프로그램을 SEM의 회로와 프로그램을 사용하게 함으로 SEM과 EDS가 보는 시료의 이미지가 정확히 일치함으로 이미지 캘리브레이션이 필요없고 측정오차가 제거된 EDS 측정이 가능하다. - PCDS 공정 중 발생하는 입자는 반도체 생산 수율에 가장 큰 영향을 끼치는 원인으로 파악되고 있으며, 생산수율을 저하시키는 원인 중 70% 가량이 이와 관련된 것으로 알려져 있다. 현재 반도체 공정 중이나 반도체 공정 장비에서 발생하는 입자는 제어가 되고 있지 않은 실정이며 대부분의 반도체 공정은 저압환경에서 이루어지기에 이 때 발생하는 입자를 제어하기 위해서는 저압환경에서 측정할 수 있는 측정시스템이 필요하다. 최근 국내에서는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 시스템 내 파이프내벽에서의 오염입자 침착은 심각한 문제점으로 인식되고 있다(Fig. 3). PCDS (Particle Characteristic Diagnosis System)는 오염입자의 형상을 측정할 수 있는 SEM, 오염입자의 성분을 측정할 수 있는 EDS, 저압환경에서 기체에 포함된 입자를 빔 형태로 집속, 가속, 포화상태에 이르게 대전시켜 오염입자의 크기분포를 측정할 수 있는 PBMS가 일체화 되어 반도체 공정 중 발생하는 나노입자 대해 실시간으로 대처와 조치가 가능하게 한다.

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Effects of Ginsenosides on the Mechanism of Histamine Release in the Guinea Pig Lung Mast Cells Activated by Specific Antigen-Antibody Reactions

  • Ro, Jai-Youl;Ahn, Young-Soo;Kim, Kyung-Hwan
    • The Korean Journal of Physiology and Pharmacology
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    • 제1권4호
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    • pp.445-456
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    • 1997
  • We previously reported that some components of ginsenosides decreased mediator releases evoked by the activation of mast cells with specific antigen-antibody reactions. This study aimed to assess the effects of ginsenosides ($Rb_2$, Re) on the mechanism of histamine release in the mast cell activation. We partially purified guinea pig lung mast cells by using enzyme digestion, the rough and the discontinuous percoll density gradient method. Mast cells were sensitized with $IgG_1$ and challenged with ovalbumin (OA). Histamine was assayed by fluorometric analyzer, leukotrienes by radioimmunoassay. Phospholipase D (PLD) activity was assessed more directly by the production of $[^3H]phosphatidylbutanol$ (PBut) which was produced by PLD-mediated transphosphatidylation in the presence of butanol. The amount of 1,2- diacylglycerol (DAG) were measured by the $[^3H]DAG$ labeled with $[^3H]palmitic$ acid or $[^3H]myristic$ acid. Pretreatment of $Rb_2$ ($300\;{\mu}g$) significantly decreased histamine release by 60%, but Re ($300\;{\mu}g$) increased histamine release by 34%. Leukotrienes release in $Rb_2$ was decreased by 40%, Re was not affected in the leukotrienes release during mast cell activations. An increasing PLD activity during mast cell activation was decreased by the dose-dependent manner in the pretreatment of $Rb_2$, but Re pretreatment facilitated the increased PLD activity during mast cell activation. The amount of DAG produced by phospholipase C (PLC) activity was decreased by $Rb_2$ pretreatment, but Re pretreatment was not affected. The amount of mass DAG was decreased by $Rb_2$ and Re pretreatment during mast cell activation. The data suggest that $Rb_2$ purified from Korean Red Ginseng Radix inhibits the DAG which is produced by the activation of mast cells with antigen-antibody reactions via both phosphatidylinositide-PLC and phosphatidylcholine-PLD systems, and then followed by the inhibition of histamine release. However, Re increases histamine release by stimulation of DAG production, which is mediated by phosphatidylcholine-PLD system rather than by phosphatidylinositide-PLC system, but inhibits the mass DAG production. Thus, it could be inferred that other mechanisms play a role in the increase of histamine release during mast cell activation.

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연질밀의 품종별 이화학적 특성 및 제품의 제조적성 (Physicochemical Properties and the Product Potentiality of Soft Wheats)

  • 임은영;장학길;박영서
    • 한국식품과학회지
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    • 제39권4호
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    • pp.412-418
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    • 2007
  • 연질밀인 soft white winter(SWW) 밀과 club 밀 각각 6품종을 공시재료로 하여 종실의 이화학적 품질특성, 제분특성, 호화특성, mixograph 특성 및 제품특성으로 sugar-snap 쿠키와 스펀지 케이크의 제조특성을 측정하고 이들 특성간의 상관관계를 검토하였다. Single Kernel Characterization System(SKCS)에 의한 종실의 경도, 무게 및 크기는 SWW밀과 club 밀의 평균간의 유의성은 적었으나 품종간에는 차이가 비교적 컸다. Straight-grade flour yield, break flour yield, 회분 함량 및 제분평점 등의 제분특성은 SWW 밀과 club 밀 간에 차이가 없었다. Straight-grade flour yield와 break flour yield는 고도의 정의 상관(r = 0.805**)이 있었다. SWW 밀과 club 밀의 Rapid Visco Analyze(RVA) 최고점도와 팽창부피는 유의적인 차이가 없었으며 품종간의 변이도 적었다. RVA 최고점도와 팽창부피는 고도의 정의 상관(r = 0.662**)이 있었다. Mixograph 흡수율은 SWW 밀이 club 밀보다 다소 높았으나 mixograph type은 2M 이하로서 전형적인 연질의 특성을 보였다. Club 밀의 쿠키 직경과 쿠키 top grain score는 SWW 밀보다 좋았으나 통계적인 유의성은 없었다. 스펀지 케이크의 부피는 SWW 밀보다 club 밀이 높았으나 케이크 score는 club 밀이 높은 경향을 보였다. 쿠키 직경과 스펀지 케이크의 부피는 고도의 정의 상관(r = 0.745**)이 있었다.

3대의 ADVIA 2120 System 평행시험에 대한 연구 (A Study of Parallel Test Among Three ADVIA 2120 System)

  • 장상우;조은해;김남용;추경복;이숙정;홍성노;오종도
    • 대한임상검사과학회지
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    • 제38권1호
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    • pp.16-21
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    • 2006
  • Parallel testing means ordering a number of tests at the same time so abnormalities in any of the tests can be found quickly and used in making the diagnosis. This is a good medical strategy to eliminate diseases and it is relatively inexpensive if all the tests are potential sources of information and performed on the same analyzer. In regression, the equation for the straight line is recast as y = bx + a. This change in terminology leads to confusion. Here a is the y-intercept or constant and b is the coefficient or slope of the line. A few more words of caution about regression - as in all of statistics there are certain assumptions: the x value is a true measure, both X and Y distributions are normal, and homoscedasticity, i.e., the variance of y is the same for each value of x. In this study the linearity classification made by different scientists were always in agreement. Typical examples of curves that were considered linear are presented in Fig. 1-5. Because these automated procedures values were usually within five percent of each other the curvature could be easily detected. The plot of the WBC, RBC, hemoglobin, hematocrit and platelet concentrations from approximately 74.4 to $0{\times}10^3/{\mu}L$ and $80.4-0{\times}10^3/{\mu}L$, $5.6-0{\times}10^6/{\mu}L$ and $6.1-0{\times}1106/{\mu}L$, 18.3-0 g/dL and 19.0-0 g/dL, 54.1-0% and 56.8-0% and 642.0 to $0.03{\times}10^3{\mu}L$ and $754.0-0{\times}10^3/{\mu}L$ on the ADVIA 2120 C Versus and A and B typical of an acceptable linear study as shown in Fig. 1-5. The grand mean of R2, intercept and slope is 0.99898, 0.99459 and 1.54626.

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MPEG-2 TS 기반의 UHDTV 다중화 (Multiplexing of UHDTV Based on MPEG-2 TS)

  • 장의덕;박동일;김재곤;이응돈;조숙희;최진수
    • 방송공학회논문지
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    • 제15권2호
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    • pp.205-216
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    • 2010
  • 본 논문에서는 UHDTV(Ultra HDTV)를 위한 MPEG-2 Transport Stream(TS)의 다중화 기법 및 다중화 SW 툴의 설계 및 구현에 대해서 기술한다. 대용량의 UHD 비디오를 처리하기 위해서는 당분간 병렬처리에 기반한 코덱 구현이 불가피하며 이로 인해 다수의 비디오 비트스트림 간의 동기화 및 다중화가 요구된다. 본 논문에서는 4K(또는 8K) 해상도의 UHD 비디오가 4 개의 화면으로 분할되어 각각 H.264/AVC로 부호화되고, 2 개의 5.0 채널의 오디오가 AC-3로 부호화되는 병렬처리 기반의 UHDTV의 TS 다중화를 고려한다. H.264/AVC와 AC-3를 TS로 전송하기 위한 MPEG-2 시스템(Systems) 확장 규격을 반영한 PES 패킷화 및 TS 다중화 툴을 설계한다. 또한 T-STD(TS System Target Decoder)의 타이밍 모델을 만족하도록 T-STD에 정의된 버퍼들의 상태를 모니터링 하면서 다중화 스케쥴링을 수행하고, 한 TS 패킷의 전송 시간 단위로 H/W의 실시간 처리를 에뮬레이션(emulation)하도록 구현한다. UHDTV 다중화를 위해서 재다중화(Re-multiplexing)를 포함하는 UHD 재다중화와 단일 TS로 다중화하는 UHD 프로그램 다중화의 2 가지 구조를 구현하고 이들의 장단점에 대해서 고찰한다. 본 논문에서 설계 구현된 TS 다중화 툴은 상용 분석 툴 및 실시간 재생 툴을 이용하여 규격 및 타이밍의 적합성과 그 기능을 검증한다.

제빵용 우리밀과 수입밀 원맥의 이화학, 미생물, 항산화 특성 비교 (Comparison of Physicochemical, Microbial and Antioxidant Properties in Domestic and Imported Wheat Kernels for Bread Making)

  • 곽한섭;김미정;허정애;김민정;심재원;김의웅;김훈;김상숙
    • 한국식품영양학회지
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    • 제31권1호
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    • pp.17-23
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    • 2018
  • The objective of this study was to compare physicochemical, microbial, and antioxidant properties of domestic and imported wheat kernels for bread making. Two domestic (JK1, 2) and three imported (ND, DNS, and CWRS) kernels were compared. Domestic kernels had higher moisture contents, and lower ash and protein contents (p<0.05). In grain characteristics, JK1 had 13.62% of damaged kernels, which was the highest among the samples (p<0.05). JK2 was similar to imported kernels in the ratio of sound kernels, foreign materials, and damaged kernels. Kernel size of JK1, 2 was larger than the imported kernels; therefore, kernels area and perimeter were higher by the image analyzer. Domestic kernels hid lower total aerobic counts the imported kernels (p<0.05). Domestic kernels and DNS had no yeast, while NS and CWRS had yeast in kernels. DNS (3.08 mg gallic acid equivalent (GAE)/g) had the highest total polyphenol content (TPC), followed by JK1 (2.81 mg GAE/g). JK2 had the lowest amount of TPC as 2.26 mg GAE/g. Total flavonoid content (TFC) was the highest in DNS as 0.44 mg catechin equivalent (CE)/g and JK2 was the lowest as 0.12 mg CE/g. Domestic wheat kernels had lower protein content and lightness than the imported wheat kernels so that flour from domestic wheat kernels may have lower quality for baking.

선박용 SCR 시스템 NOx 측정 및 분석 방식의 특성 연구 (A Study of the characteristics of NOx measurement and analysis methods of the SCR system for ships)

  • 김성윤;이영호;김민;박삼식
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제39권4호
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    • pp.387-392
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    • 2015
  • 선박에서 발생하는 질소산화물($NO_x$)을 측정하고 분석하는 방법은 $NO_x$ Technical Code 2008에 기재되어 있다. 코드를 만족하는 분석 방법으로는 화학 발광 분석법과 가열 화학 발광 분석법이 있다. 그러나 환원제로 $NH_3$가 사용되는 선택적 촉매 환원 분석 방법은 환원제로 인한 간섭 현상이 발생하여 측정 오차를 일으킨다. 본 연구에서는 화학 발광 분석방식의 여러 가지 가스와의 간섭 영향을 분석하고 어떤 특성을 가지는지 확인하였다. 그리고 푸리에 변환 적외석 분광 분석 장비 및 측정 방법을 통하여 비교하였다. 또한 측정 장비의 물리적 간섭 영향을 확인하기 위하여 측정 장비를 분해하여 확인하였다. 그 결과로써, 화학발광검출기기 내부에 발생한 백색 침전물과 수분이 간섭에 영향을 미친다는 것을 알 수 있었다. 간섭의 영향을 최소화할 수 있는 $NO_x$ 측정 방법을 검토할 필요가 있다.

Ni계 촉매상에서 메탄에 의한 이산화탄소의 개질반응에 의한 수소제조 및 응용 (Hydrogen Production by Catalytic Reforming of $CO_2$ by $CH_4$ over Ni Based Catalysts and It's Applications)

  • 문동주;강정식;류종우;김대현;유계상;이현주;김홍곤;이상득;안병성;이병권
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제17권2호
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    • pp.166-173
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    • 2006
  • Catalytic reforming of $CO_2$ by $CH_4$ over Ni-YSZ based catalysts was investigated to produce syngas as raw material of high valued chemicals and develop high performance catalyst electrode for an internal reforming of $CO_2$ in SOFC system. Ni-YSZ based catalysts were prepared using physical mixing and maleic acid methods to improve catalytic activity and inhibition of carbon deposition. The catalysts before and after the reaction were characterized by $N_2$ physisorption, TPR(temperature programed reduction), XRD and impedance analyzer. The conversions for $CO_2$ and $CH_4$ over Ni-MgO catalyst showed 90% but much amount of carbon deposition was detected on catalyst surface. On the other hand, the conversions for $CO_2$ and $CH_4$ over NiO-YSZ-$CeO_2$ catalyst showed 100% and 85% respectively, and carbon deposition on catalyst surface was inhibited under the tested condition. It was concluded that NiO-YSZ-$CeO_2$ catalyst is a promising candidate for the catalytic reforming of $CO_2$ and the internal reforming in SOFC system.

부엌 수납장 설계 기준 설정을 위한 기초적 연구 (An Experimental Study for the Design of Household-Storage Facilities)

  • 최재순
    • 대한가정학회지
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    • 제20권4호
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    • pp.155-168
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    • 1982
  • What is attempted here is to find out an optimum method for the design of physical environments that could save human energy expenditures and safely perform household duties. There are, if any, very little amount of research done in this area. This is particulary so when the work relates to the designing of household storage facilities in the light of the energy metabolism of human body. The first step to this study, therefore, is to find out the ways by which we can determine the energy metabolism of human body accurately. To measure the volume and the concentration of human respiration continuously and automatically, a new apparatus is selected here. This includes the recording system with the Wright Respirometer and the Expired Gas Analyzer as well as the computer system to multiply volume by concentration of human respiration and to integrate them for a given time. Then, the author experimented on the reliability of this apparatus and came to the conclusion that this apparatus satisfied our need to research the energy metabolism of human body. Next, the general plan and procedures to experiment with this apparatus have been determined as follows: 1) subjects are three young and sound females. Their physical characteristics are shown in Table 1 and most approximates the standard characteristics of Japanese females, 2) height of open shelves is selected in such away as to correspond to the respective height of each subject(see Table 2), 3) utensils to be stored are box shaped object, which weight is 0.5kg, 1.0kg, 2.0kg or 3.0kg, 4) working motions are given while one or two hands as to place utensil on each shelf from the standard working board, 85 cm in height and then to place back it on the board from the shelf and repeated in constant velocity as 10 times per a minute, 5) each posture of motion is chosen by each subject in free, 6) procedures of measurement of human energy metabolism ard shown at(6), 1, Section 3 as specific methods for using this apparatus. Findings of this study are as follows: 1. Human energy expenditures for storing utensils on shelves by each subject are shown in quantity more accurately than in any other studies, under varying conditions about height of shelves, load of utensils and working motion with one hand and two hands (see Fig. 8~13 and Table 3). 2. Experimental formulae of human energy expenditure for that work are shown as formula (8), (9) and (10), to generalize results of 1. and to apply those for working motion under given conditions. 3. As results of analysis on gained data, we are able to show the standard model of human energy expenditures for storing untensils on shelves by the standard Japanese female (see Table 7 and Fig. 14).

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EPMA를 이용한 U3Si/Al 조사 핵연료의 반응층 분석 (EPMA Analysis of Inter-reaction Layer in Irradiated U3Si-Al Fuels)

  • 정양홍;유병옥;김희문;박종만;김명한
    • 분석과학
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    • 제17권4호
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    • pp.355-362
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    • 2004
  • 하나로 원자로에서 조사된 최대 선출력이 121 kW/m이고, 63 at%의 평균 연소도를 갖는 $U_3Si-Al$ 원심 분무 고출력 핵연료를 EPMA를 이용하여 파단면 관찰 및 반응층에 대한 핵분열 생성물을 분석 하였다. 조사된 고출력 $U_3Si-Al$ 핵연료를 EPMA로 화학 조성을 분석하기 위해 선행조건은 방사능 허용 한도가 $3{\times}10^{10}Bq$ 이하로 제한되는 EPMA 기기에 부합 될 수 있게 시험 시편을 최소화 하기 위한 작업이다. 시험 조건에 부합될 수 있는 시편의 제조를 위해 핵연료 천공 장치를 제작하였으며, 천공 장치를 사용하여 ${\Phi}1.57{\times}2mm$의 크기를 갖는 시료를 만들었다. 천공 된 시료를 파단 시편과 연마 시편으로 제조하여 파단면의 관찰 및 반응층(Inter-reaction layer)과 산화층에 대한 EPMA 분석을 수행하였다. 두께가 $16{\mu}m$인 반응층에 대한 평균값은 $UO_2$를 표준 시편으로 calibration한 경우의 조성은 $U_{2.84}$ Si $Al_{14}$ 이였으며, 시험 시편으로 calibration한 경우의 조성은 $U_{3.24}$ Si $Al_{14.1}$ 였다. 또한 반응층에서 핵분열 생성물의 조성을 분석하였으며, 반응층에서의 금속 석출물(metallic precipitates)의 생성은 확인할 수 없었다. 시험 시편의 산화층 조성은 $Ai_2O_3$ 임을 확인했다.