Electrical properties of Ultra-Shallow Junction formed by using Epitaxial $CoSi_{2}$ Thin Film as Diffusion Source
($CoSi_{2}$ 에피박막을 확산원으로 이용하여 형성한 매우 얇은 접합의 전기적 특성)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.8 no.5
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- pp.470-473
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- 1998