• 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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• 한국조명전기설비학회 1999년도 학술대회논문집-국제 전기방전 및 플라즈마 심포지엄 Proceedings of 1999 KIIEE Annual Conference-International Symposium of Electrical Discharge and Plasma
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• pp.17-22
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• 1999

In this paper a new discharge type ozonizer comprising the superpose operation of silent and surface discharge is presented. The ozonizer consists of two concentric glass tubes with three type of discharge electrodes : the external electrode(EE), the internal electrode(IE) and the central electrode(CE). By varying the structure of IE and materials of CE, we analyzed the characteristics of ozone related different parameters including $O_{3con}$, $O_{3g}$, and $O_{3Y}$. Using Cu made CE it was found the O3con is higher with Cu tape than that with Cu coil wound IE. At Q = 1[l/ min] the values of O3con were found as 3000[ppm] with Cu tape wound IE and 1898[ppm] with Cu coil wound IE. Then using SUS wire made CE with Cu tape wound IE at Q = 1[ι/ min] the maximum value of O3con was found as 5632[ppm]. It was observed that both $O_{3con}$ and $O_{3y}$ are higher with SUS made CE than that with Cu made CE. The maximum values of $O_{3Y}$ were found as 79[g/kWh] with Cu made CE and 170[g/kWh] with SUS wire made CE.

• 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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• 한국조명전기설비학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.278-280
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• 2006

A hybrid discharge type ozonizer, which is superposed silent and surface discharges, has been designed and manufactured to apply for Nitrogen Oxides(NO) gas removal. The ozonizer consists of three electrodes, and is classified three types of ozonizer by changing applied voltage. Investigation was carried out variance with the flow rate of supplied oxygen gas, discharge power and the sorts of superposed discharge type ozonizer. Moreover, $NO(1200[ppm])/N_2$ gas removal investigation was also conducted to apply for environment improvement field. Two kinds of NO gas removal investigations were conducted. It distinguishes the investigations into NO gas reaction method. According to these studies, maximum removal rate of 100[%] in NO gas was obtained, and 8334[ppm] and 3249[mg/h] of maximum ozone concentration and generation were also obtained respectively.

• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제52권12호
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• pp.579-585
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• 2003

Recently the utilization of the ozone dissolved de-ionized water(DI-O3 water) in semiconductor wet cleaning process to replace the conventional RCA methods has been studied. In this paper, we propose the water-electrode type ozone generator which has the ozone gas characteristics of the high concentration and high purity to produce the high concentration DI-O3 water for the silicon wafer surface cleaning process. The ozone generator has the dual dielectric tube structure of silent discharge type and the water is both used to electrode and cooling water. We investigate the performance of the proposed ozone generator which has the design goal of the concentration of 7[wt%] and ozone generation quantity of 6[g/hr] at flow rate of 1[$\ell$/min). The experiment results show that the water electrode type ozone generator has the characteristics of 8.48[wt%] of concentration, 8.08[g/hr] of generation quantity and 76.2[g/kWh] of yield and it's possible to use the proposed ozone generator for the DI-O3 water cleaning process of silicon wafer surface.

• 한국전자통신학회논문지
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• 제9권12호
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• pp.1427-1434
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• 2014

의료기기중 체외에서 인체로 물리적 에너지를 가하거나 그 의료기기의 에너지를 이용하여 인체의 화학적 변화를 이용하여 치료를 하는 것은 고도의 신뢰성과 안정성이 요구된다. 특히 인체의 모든 부분 중 가장 외부로 노출되어있는 피부에 대한 치료는 매우 중요 하다고 할 것이다. 이러한 관점에서 보았을 때 피부 치료 시 발생 할 수 있는 모든 위험 요소를 줄이고 치료의 효과를 극대화 할 수 있는 장비의 개발은 높은 치료 효과와 안전성 확보를 위하여 반드시 필요하다고 할 것이다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제16권6호
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• pp.130-136
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• 2002

본 논문은 비유전율이 100 이상으로 제작된 Ti-Si-Al형 세라믹 촉매 방전관에 전원 전압 4 ～6［kV］, 구동 주파수0.6～1.0［kHz］를 방전관 전극에 인가하여 오존 농도와 수율을 측정한 것이다. 측정 결과 구동 주파수 600［Hz］, 유량 2［1/min］, 동작 압력 1.6［atm］, 방전관 주위 온도 20［$^{\circ}C$］에서 산소 원료의 경우, 오존 발생 농도는 50～60［g/㎥］이었고, 오존 발생 수율은 180(g/kWh)로 나타났다. 그리고 반응기 내부 온도 또는 유입 가스 온도가 낮을수록 오존 수율은 상승하였다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제16권6호
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• pp.95-101
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• 2002

고농도의 오존발생에 영향을 주는 많은 변수들이 존재한다. 이러한 변수들은 오존발생장치 설계시 매우 중요한 요소가 되고 설계전에 반드시 고려되어야 할 것들이다. 오존발생장치 설계 후에도 고농도 오존발생에 크게 영향을 주는 주변변수들이 있다. 본 연구에서는 오존발생에 영향을 주는 많은 주변변수들중에서 입력산소가스의 유량과 여기에 첨가되는 첨가가스가 고농도의 오존발생에 미치는 영향을 조사하였다. 결과적으로, 입력산소가스의 유량을0.75[LPM］～2.00[LPM］으로 변화시키면서 오존농도를 측정한 결과 1.25［LPM］에서 71145［ppm］의 최대오존발생량을 보여주었다. 입력산소가스에 첨가되는 질소가스의 유량을 0.0［vol%］～6.4［vol%］으로 변화시켜가면서 발생되는 오존농도를 측정한 결과 첨가되는 질소가스량이 0.8［vol%］인 경우 최대 73135［ppm]의 오존을 얻을 수 있었다. 이것은 순수산소만을 입력가스로 사용했을 때보다 최대오존발생량이 3［%］가량 증가한 결과이다. 입력산소가스에 첨가되는 아르곤가스의 유량을 0.0[vol%］～6.4[vol％］으로 변화시켜가면서 발생되는 오존농도를 측정한 결과 첨가되는 아르곤가스량이 0.8［vol%］인 경우 최대 67288［ppm］의 오존을 얻을 수 있었다.