Improvement of Electrical Characteristics of MOSFETs Using High Pressure Deuterium Annealing (고압 중수소 열처리에 의한 MOSFETs의 특성 개선에 대한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.35 no.3
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- pp.264-268
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- 2022