• Management & Information Systems Review
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• v.5
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• pp.1-32
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• 2000

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2004.02a
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• pp.48-48
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• 2004

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• v.22 no.3
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• pp.330-332
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• 2001

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2020.10a
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• pp.195-195
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• 2020

• 대한핵의학회:학술대회논문집
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• 2004.11a
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• pp.403.2-403.2
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• 2004

• Proceedings of the KWS Conference
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• 1999.10a
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• pp.225-227
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• 1999

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2009.08a
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• pp.159-159
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• 2009

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2006.04a
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• pp.147-147
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• 2006

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2006.04a
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• pp.92-92
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• 2006

• ETRI Journal
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• v.10 no.2
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• pp.70-88
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• 1988

반도체 소자가 계속 축소되어 ULSI 시대를 맞이함에 따라 얇은 절연막의 필요성이 대두되었고, 따라서 고신뢰도를 갖는 절연박막 개발과 그 절연막에 대한 평가 기술개발에 많은 관심이 집중되었다. 본고에서는 최근 연구되고 있는 절연박막의 종류와 그 특성, 절연막 평가 방법에 대해 고찰하였다.