Wide Range Frequency Tuning by Mechanical Restriction using MEMS Actuator and Bi-stable Mechanism in Micro Mirror (MEMS 구동기와 바이스테이블 메커니즘을 이용한 기계적 구속에 의한 정전기적 회전 구동기의 광범위 주파수 튜닝)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2008.06a
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- pp.591-592
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- 2008