RF 마그네트론 스퍼터법에 의한 ZnO:Al 투명전도막 특성에 미치는 방전전력의 영향 (Effect of discharge power on the electrical properties of ZnO:Al transparent conducting films by RF magnetron sputtering)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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- pp.939-942
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- 2004