Microcrystalline Silicon Thin-film(${\mu}c$ -Si:H) and Solar Cells prepared at Low Temperature by 60MHz PECVD
(60MHz PECVD법에 의한 ${\mu}c$ -Si:H 박막의 저온증착 및 태양전지 응용)
-
- Proceedings of the KIEE Conference
- /
- 2003.07c
- /
- pp.1595-1597
- /
- 2003