• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.43.1-43.1
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• 2018

Spatial distribution of binding state in depth direction is investigated in a hard skin layer on soft polydimethylsiloxane (PDMS) fabricated by Ar ion beam irradiations. The hard skin layer known as a silica-like homogenous layer was composed of two layers. Impinging Ar ions transfer energy to PDMS as a function of collisional energy transfer rate, which is the maximum at surface and decreases gradually as an ion penetrates. This formed the heterogeneous hard skin layer that consists of a top-most layer and an intermediate layer. XPS depth profiling showed the existence of the top-most layer and intermediate layer. In the top-most layer, scission and cross-linking were occurred simultaneously and Si-O bond showed dissociated status, SiOx (x = 1.25 - 1.5). Under the top-most layer, there was the intermediate layer in which cross-linking is mainly occurred and Si-O bond showed silica-like binding status, SiOx (x = 1.75 - 2). And theoretical analysis which calculates the collisional energy transfer and a displacement per atom explained the thickness variation of top-most layer according to Ar ion energy from 360 eV to 840 eV.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15
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• pp.39-42
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• 2002

Recently, CMP (chemical mechanical polishing) technology has been widely used for global planarization of multi-level interconnection for ULSI applications. However, COO (cost of ownership) and COC (cost of consumables) were relatively increased because of expensive slurry. In this paper, we have studied the possibility of recycle of reused silica slurry in order to reduce the costs of CMP slurry. The post-CMP thickness and within-wafer non-uniformity(WIWNU) were measured as a function of different slurry composition. As a experimental result, the performance of reused slurry with annealed silica abrasive of 2 wt% contents was showed high removal rate and low non-uniformity. Therefore, we propose two-step CMP process as follows In the first-step CMP, we can polish the thick and rough film surface using remaked slurry, and then, in the second-step CMP, we can polish the thin film and fine pattern using original slurry. In summary, we can expect the saving of high costs of slurry.

• 폴리머
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• 제36권5호
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• pp.662-667
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• 2012

평판 디스플레이에 사용되는 PET 필름의 광학적 특성을 알아보기 위하여 필름 표면 굴절률, 필름 표면조도 및 필름 내부입자가 광투과율에 미치는 영향을 알아 보았다. 필름표면에 굴절률이 낮은 코팅층을 형성함에 따라 필름의 광투과율이 향상되었고, 최대의 광투과율을 가지는 코팅두께가 있음을 확인하였다. 표면 거칠기의 영향에 대해서는 표면조도를 나타내는 Ra를 입사 파장의 1/4 이하로 조절한 경우 광손실이 발생되지 않았다. 필름 내 무기입자는 입사된 광의 흡수 및 산란을 발생시켜 광손실을 증가시켰다.

• 한국광학회지
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• 제14권2호
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• pp.135-141
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• 2003

양의 열광학 계수를 갖는 실리카를 하부클래드 및 코아에 그리고 음의 열광학 계수를 갖는 폴리머를 상부클래드에 적용한 AWG(Arrayed Waveguide Grating) 파장분할 다중화 소자에 대하여 이차원 스칼라 유한차분법(Scalar Finite Difference Method; SFDM)으로 온도의존 특성을 분석한 결과, 클래드의 굴절률을 변화시키거나 실리카 코어 상부에 실리카 박막이 존재하는 구조에서 박막의 두께를 변화시켜 온도의존 특성을 조절할 수 있음을 확인하였다. 이러한 해석결과에 근거하여 폴리머 상부클래드가 적용된 AWG 소자를 제작하였으며 기존의 실리카 AWG 소자와 특성을 비교분석하였다. 폴리머 상부클래드의 도입에 의해 삽입손실 및 크로스톡은 큰 변화가 없었으나 중심파장의 온도의존성은 0.0130 nm/$^{\circ}C$에서 0.0028 nm/$^{\circ}C$ 수준으로 감소하였다.

• 한국응용과학기술학회지
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• 제32권2호
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• pp.215-225
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• 2015

최근들어 에너지 고갈로 인해 에너지 저장 및 대체 에너지에 대한 관심이 점차 높아 지고 있다. 이로 인해 상변화 물질을 이용한 에너지 저장 및 이동에 대한 연구가 활발히 진행 되고 있다. 본 연구에서는 SPG막(Shirasu porous glass membrane)을 통한 막유화법을 이용하여 상변화 물질인 파라핀계 루비덤$^{(R)}$ (RT-21과 RT-24)을 분산상으로 하여 단분산성 마이크로 입자를 제조하고, 외부를 실리카로 코팅하여 열정 안정성을 향상시키고 열적 특성을 조사하였다. 단분산성 루비덤$^{(R)}$ 입자의 제조를 위해 분산상 압력, 유화제 농도, 루비덤$^{(R)}$과 실리카의 비율을 변수로 하여 평균 입자 크기 $7-8{\mu}m$를 얻었다. Differential scanning calorimetry (DSC)와 Thermogravimetry analysis (TGA)를 이용하여 열적 안정성과 잠열 등의 열적 특성을 조사하였고, Particle size analyzer (PSA), Scanning electron microscopy(SEM), optical microscopy를 이용하여 입자 분포와 캡슐화 유무를 확인하였다. 또한, Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR)를 통하여 정성분석을 시행하였다. 결과적으로, 막유화법을 이용하여 얻은 실리카 코팅된 단분산성 루비덤$^{(R)}$ 입자는 향상된 열적 안정성을 보였으며, 순수한 루비덤$^{(R)}$의 80% 이상의 잠열을 유지하는 것을 보여 기존의 상변화 물질의 상안정성을 보완하여 열저장성 기능성 벽지와 건축물, 인테리어 제품에 사용 가능함을 알 수 있었다.

• Advanced Composite Materials
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• 제17권1호
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• pp.25-40
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• 2008

The research and development in soundproof materials for preventing noise have attracted great attention due to their social impact. Noise insulation materials are especially important in the field of soundproofing. Since the insulation ability of most materials follows a mass rule, the heavy weight materials like concrete, lead and steel board are mainly used in the current noise insulation materials. To overcome some weak points in these materials, fiber reinforced composite materials with lightweight and other high performance characteristics are now being used. In this paper, innovative insulation sheet materials with carbon and/or glass fabrics and nano-silica hybrid PU resin are developed. The parameters related to sound performance, such as materials and fabric texture in base fabric, hybrid method of resin, size of silica particle and so on, are investigated. At the same time, the wave analysis code (PZFlex) is used to simulate some of experimental results. As a result, it is found that both bundle density and fabric texture in the base fabrics play an important role on the soundproof performance. Compared with the effect of base fabrics, the transmission loss in sheet materials increased more than 10 dB even though the thickness of the sample was only about 0.7 mm. The results show different values of transmission loss factor when the diameters of silica particles in coating materials changed. It is understood that the effect of the soundproof performance is different due to the change of hybrid method and the size of silica particles. Fillers occupying appropriate positions and with optimum size may achieve a better effect in soundproof performance. The effect of the particle content on the soundproof performance is confirmed, but there is a limit for the addition of the fillers. The optimization of silica content for the improvement of the sound insulation effect is important. It is observed that nano-particles will have better effect on the high soundproof performance. The sound insulation effect has been understood through a comparison between the experimental and analytical results. It is confirmed that the time-domain finite wave analysis (PZFlex) is effective for the prediction and design of soundproof performance materials. Both experimental and analytical results indicate that the developed materials have advantages in lightweight, flexibility, other mechanical properties and excellent soundproof performance.

• 한국방재학회 논문집
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• 제10권4호
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• pp.25-32
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• 2010

최근 고강도 및 고내구성에 대한 인식이 높아지면서 고성능 숏크리트에 대한 연구가 일부 진행되기도 하였으나, 국외 선진국에 비하면 아직 초보 단계에 그치고 있다. 즉 강도와 내구성 평가만 일부 이루어졌고, 시공성을 대변하는 펌핑성능(Pumpability)과 뿜칠성능(Shootability)에 대한 평가가 전혀 이루어지지 않았다. 따라서 본 논문의 목표는 국내 습식 숏크리트의 고성능화에서 고시공성에 대한 연구로, 이를 위해 실리카 흄(0.0, 4.5, 9%), AE제(0.0, 0.005%)를 주요 변수로 하여 시공성 평가를 위해서 레오미터를 사용한 레올로지를 측정하였을 뿐만 아니라, 펌프압, 리바운드율, 붙임두께 등을 측정하여 비교고찰 하였다. AE제와 고성능 감수제가 레올로지 특성에 미치는 영향을 고찰한 결과 AE제는 흐름저항(Flow Resistance, G)과 토크점성(Torque Viscosity, H)이 모두 일정하게 감소되었고, 실리카 흄은 흐름저항(G)은 증가 토크점성(H)은 감소한 결과가 나타났다. 펌핑성능과 레올로지 관계에서 토크점도(H)가 증가함에 따라 필요 펌핑 압송력이 상승하는 결과를 얻었고, 뿜칠성능과 레올로지 관계에서는 흐름저항(G)가 증가할수록 최대 붙임두께는 증대 리바운드율은 감소하는 경향을 얻었다.

• 한국재료학회지
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• 제9권8호
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• pp.804-809
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• 1999

테오스(TEOS)를 출발물질로 사용하여 건조조절제(DCCA;Dying Control Chemical Additives)를 첨가하지 않고, 솔-젤 법을 이용하여 Si(001) 단결정 기판 위에 실리카 박막을 제조하였다. 박막은 스핀 코팅 방법으로 테오스 =1 몰, 염산=0.05몰의 조건하에 메탄올, 증류수의 첨가량을 변화시키면서 젤화 완료시간, 박막의 두께, 균열 발생 여부, 박막의 결정성 등을 조사하였다. 그 결과 솔의 제화 완료시간은 메탄올 첨가량이 8몰일 때 가장 긴 640시간이었다. 코팅된 박막의 두께는 메탄올 첨가량이 많아질수록 감소하였다. 소결은 승온 속도$0.6^{\circ}C$/min으로 $500^{\circ}C$에서 1시간 행하였으며, 메탄올 첨가량이 0.8몰, 2몰일 때는 표면에서 균열이 발생하여 worm-like grain 구조를 가졌고, 메탄올 4몰인 경우에는 국부적으로 균열이 발생하였으나, 메탄올 양이 8몰 이상에서는 균열이 발생하지 않았다. 즉, 솔-젤 공정에서 균열 방지를 위해 첨가되는 건조조절제(DMF)를 첨가하지 않고도 용매인 메탄올과 증류수 혼합비를 조절, 표면장력을 제어함으로써 균열없는 박막을 제조하였다.

• 한국세라믹학회지
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• 제14권4호
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• pp.230-235
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• 1977

In this paper the conditions of surface crystallization of glass were studied. The basic glass which is apt to crystallize, with $SiO_2$ 72.50, $Al_2O_3$ 5, 00, $Na_2O$ 8.00 $K_2O$ 3.50, CaO 5.00, MgO 3.00, $B_2O_3$ 3.00 Wt% is chosen. The strain point and softening point of this glass is 4$25^{\circ}C$ and 778$^{\circ}C$ each, and between the two temperatures we could get grystal on its surface by immersion in salt baths during some controlled hours. The kind of crystal on the surface of glass was confirmed by X-ray diffraction analysis and the change of the thickness of crystalline layers depending on temperature and time, was surveyed by using optical microscope. The results are as follows; 1. The chloride group is more suitable than sulfate group for the treating salt. 2. In the condition with 50 LiCl.50NaCl at 62$0^{\circ}C$ for 2 hrs and with 50 LiCL.20-30 NaCl.30-20 $CaCl_2$ at 72$0^{\circ}C$ for 15-20 min. we could get the best crystalline layers. 3. The crystal was silica-O and petalite with a little tridymite and nepheline. 4. The thickness of crystalline layers increased with increasement of temperature and time.

• 한국주조공학회지
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• 제4권4호
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• pp.5-13
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• 1984

This paper is presented for showing the effect of cooling rate on dendrite arm spacing, correlated with the chilling power of molding materials (conventional plaster, foamed plaster, silica sand) and section thickness, and also showing relationship between dendrite arm spacing and mechanical properties for an aluminum - 8.6 percent silicon - 3.6 percent copper alloy. Local solidification time $(t_f)$ and secondary dendrite arm spacing (d) could be varied widely in accordance with the molding materials and casting thickness, and the following relationship is obtained: $d=9.4t_f\;^{0.31}$ A good correlation between dendrite arm spacing and mechanical properties such as ultimate tensile strength, yield strength, hardness was found, that is, mechanical properties decreased in a linear manner with increase in log of secondary dendrite arm spacing. Ultimate tensile strength in conventional plaster mold casting decreased by 15 percent comparing with the sand casting, where as in foamed plaster mold casting, it decreased by 30 percent comparing with the sand casting. From those results, it has been verified that DAS might be the most representative parameter for predicting mechanical properties varing with the different cooling condition.