• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.436-437
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• 2012

Double patterning technology (DPT) has been suggested as a promising candidates of the next generation lithography technology in FLASH and DRAM manufacturing in sub-40nm technology node. DPT enables to overcome the physical limitation of optical lithography, and it is expected to be continued as long as e-beam lithography takes place in manufacturing. Several different processes for DPT are currently available in practice, and they are litho-litho-etch (LLE), litho-etch-litho-etch (LELE), litho-freeze-litho-etch (LFLE), and self-aligned double patterning (SADP) [1]. The self-aligned approach is regarded as more suitable for mass production, but it requires precise control of sidewall space etch profile for the exact definition of hard mask layer. In this paper, we propose etch end point detection (EPD) in spacer etching to precisely control sidewall profile in SADP. Conventional etch EPD notify the end point after or on-set of a layer being etched is removed, but the EPD in spacer etch should land-off exactly after surface removal while the spacer is still remained. Precise control of real-time in-situ EPD may help to control the size of spacer to realize desired pattern geometry. To demonstrate the capability of spacer-etch EPD, we fabricated metal line structure on silicon dioxide layer and spacer deposition layer with silicon nitride. While blanket etch of the spacer layer takes place in inductively coupled plasma-reactive ion etching (ICP-RIE), in-situ monitoring of plasma chemistry is performed using optical emission spectroscopy (OES), and the acquired data is stored in a local computer. Through offline analysis of the acquired OES data with respect to etch gas and by-product chemistry, a representative EPD time traces signal is derived. We found that the SE-EPD is useful for precise control of spacer etching in DPT, and we are continuously developing real-time SE-EPD methodology employing cumulative sum (CUSUM) control chart [2].

• 분석과학
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• 제8권4호
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• pp.869-876
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• 1995

The active sites of the nickel and iron-containing enzyme, carbon monoxide dehydrogenase (CODH) from clostridium thermoaceticum were investigated using Electron Paramagnetic Resonance (EPR) technique. CODH exhibits several spectral features called NiFeC, $g_{ave}=1.82$, $g_{ave}=1.86$. FCII signals which are originated from different clusters in this enzyme. CODH is know to catalyze two different kinds of reactions - acetyl-CoA synthesis and CO oxidation. The acetyl-CoA synthesis activity can be followed by monitoring CO/acetyl-CoA exchange. The addition of 1,10-phenanthroline (phen) to CODH selectively destroyed the CO/acetyl-CoA exchange activity and eliminated the NiFeC signal completely. CO oxidation activity and other EPR signals were unaffected. Such behavior demonstrates that CODH has two distinct active sites and that the NiFe complex is only responsible for the CO/acctyl-CoA exchange activity. Phen caused the removal of only 30% of Ni in the NiFe complex ($0.3Ni/{\alpha}{\beta}$) as shown by the quantitative metal analysis. The phen-treated CODH could be reactivated fully by incubation In $Ni^{2+}$ solution. Radioactive $^{63}Ni^{2+}$ was used to quantitate the amount of the $Ni^{2+}$ incorporated into phen-treated enzyme and showed that the amount was the same as the removed by the phen treatment. i.e. $0.3Ni/{\alpha}{\beta}$. This indicates that only 30% of NiFe complexes are labile and responsible for the CO/acctyl-CoA exchange activity, the other 70% are non-labile and have no exchange activity. This is the first clear evidence that the NiFe complex is heterogencous and labile and non-labile Ni sites arc interacting differently with substrates and chelating agents like phen.

• 지질공학
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• 제18권3호
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• pp.311-319
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• 2008

주파수 인피던스를 이용하는 ThetaProbe ML2x인 ADR 형식의 토양함수비센서를 적용하여 주문진 표준사, 상주 화강 풍화토, 장수 편마암풍화토을 대상으로 실험을 수행하였다. 시험의 목적은 측정센서의 측정 정밀도를 측정로드부 삽입 깊이에 따른 변화 양상을 파악하였다. 흙매질은 체적함수비 함량과의 관계를 비교하기 위하여 건조상태와 습윤상태로 구분하여 수행하였다. 측정결과에서 측정로드부가 흙매질 내 5cm 이상 삽입되면 측정전압의 변화폭이 크게 감소하는 것을 파악하였다. 또한, 표준사와 같이 균질한 입자를 가진 흙보다는 점토와 실트 등과 같은 세립질을 함유한 화강풍화토와 편마암풍화토에서 측정전압이 안정적인 형태를 갖는 것으로 나타났다. 따라서, 측정치는 측정로드부가 다공질매질과의 접촉 면적이 커질수록 안정적인 값을 제공한다.

• 대한미생물학회지
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• 제35권4호
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• pp.299-308
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• 2000

Recently developed cDNA microarray or DNA chip technology allows expression monitoring of expression of hundreds and thousands of genes simultaneously and provides a format for identifying genes as well as changes in their activity. In order to search for changes in gene expression after X irradiation in HL60 cells, cDNA microarray technique was done. In this study, expression of 588 human genes (including oncogenes, tumor suppressor genes, cell cycle regulator genes, intracellular signal transduction modulator genes, apoptosis related genes, transcription factor genes, growth factors and receptor genes, cytokine genes, etc) were analyzed. For cDNA microarray analysis mRNAs were extracted from control and 8 Gy-irradiated HL60 cells. As a result the changes in expression of several genes were observed. This alteration of gene expression was confirmed by reverse transcription-polymerase chain reaction. The expression of heat shock 60 KD protein, c-jun, erythroid differentiation factor, CPP32, myeloid cell nuclear differentiation antigen, MAP kinase-activated protein kinase, interleukin-8, monocyte chemotactic peptide 1 and RANTES genes was increased, but the expression of p55CDC gene was decreased after X irradiation.

• 한국의류학회지
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• 제41권6호
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• pp.1022-1038
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• 2017

Wearable smart products contributed to expand the concept of modern clothing in terms of closer communication between wearers and the surrounding environment. This study investigated the concept of wearable smart actuators and characteristics of actuating feedback. The representative product development trends over the past 10 years are examined based on the method of actuating feedback. A first keyword search from Naver and Google reused to select the final 58 products based on the second key keyword actuating feedback. The wearable smart actuator system works in a similar way to a human body system such as those of the information processing process. Actuating feedback is delivered directly to the user as the last signal of the system, which has visual, auditory and tactile feedback. It works in complex at the device to be delivered to the user. Actuator feedback is divided into three types of active and passive, depending on the user situation, the overall purpose of the product, the collected information, and the device dependency. Active actuating feedback determines and actuates the situation on behalf of the user when the user is in an emergency or a disability situation. Passive actuating feedback plays a role in environmental monitoring to help in a healthy daily life.

• 한국항공우주학회지
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• 제32권7호
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• pp.51-59
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• 2004

저속충격에 의한 복합재의 파손 모드를 규명하기 위하여 PVDF 센서를 이용한 신호취득 방법과 측정된 PVDF 센서 신호를 시간-주파수 분석법 (time-frequency analysis)인 국소 퓨 리에 변환 및 웨이블렛 변환을 적용하여 분석할 수 있는 실험적 전차에 대하여 고찰하였다. 고분자 암전센서를 이용하여 저속충격시 발생할 수 있는 여러 충격손상 형태 모재균열, 층간분리, 섬유파단에 의한 응력파 측정 가능성을 고찰하기 위하여 일련의 저속충격 시험을 수행하였다. 충격 시험 후, 저속 충격을 받은 적층판에 대하여 C-scan 과 단면 검사를 통하여 센서 신호, 손상 모드 및 크기에 대한 상관관계를 고찰하였다. 센서신호의 취득과 신호분석을 통하여 저속충격의 발생/진행과정을 알 수 있는 많은 중요한 정보가 PVDF 센서신호에도 내재되어 있음을 알 수 있으며 PVDF 센서 신호를 주의 깊게 분석함으로써 저속 충격에 의한 복합재료의 손상 모드 규명이 가능하며 저속충격 위협에 대한 복합재 구조물의 건전성 모니터링에 활용할 수 있는 가능성을 제시하였다.

• 플랜트 저널
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• 제8권3호
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• pp.49-54
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• 2012

현재 운영 중인 발전소 전동기의 고정자 권선 고장 실제사례를 토대로 전동기에서 발생하는 자속 데이터의 고주파 영역 스펙트럼을 분석함으로써 결함이 있는 전동기와 건전한 전동기의 자속 특성 및 변화추이를 분석하였다. 전동기 자속스펙트럼의 고주파 영역을 분석한 결과 결함이 있는 전동기는 고정자 슬롯 주파수 대비 고정자 슬롯 사이드밴드 주파수의 상대적 크기 비율이 건전한 전동기에 비해 매우 높음을 확인하였다. 또한 결함이 있는 전동기는 시간이 지날수록 고정자 슬롯 주파수 대비 고정자 슬롯 사이드밴드 주파수의 상대적 크기 비율 크기도 더욱 커지는 현상도 확인하였다. 그리고 결함이 있는 전동기의 자속 데이터는 불시 고장 1개월여 전부터 결함 상태를 인식할 수 있는 신호를 나타냄으로써 전동기 고정자 권선 결함에 대한 사전 예측능력이 매우 탁월함을 확인하였다.

• Nuclear Engineering and Technology
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• 제20권4호
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• pp.253-264
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• 1988

본 논문에서는 불란서에서 건설한 900 MWe급 가압경수형 원자로의 중성자 잡음해석 결과를 제시하였다. 중성자 잡음해석이란 노심내의 반응도 변화 및 노심의 수평운동으로 인한 노외검출기 신호의 변화를 해석하는 기법을 의미한다 이러한 방법은 Deterministic Dynamic Testing 기법중에서도 발전소의 정상운전 조건을 유지시키며 기존의 발전소 계측설비를 이용할 수 있다는 장점을 지니고 있다. 본 논문에 사용된 잡음신호는 울진 1호기 원자로의 시운전 시험기간에 구하였으며 이를 통계적 기술함수인 에너지 밀도함수(PSD), 검출기간의 상관함수 (CF)및 위상차(Phase Difference)로 나타내었다. 실험결과, 원자로 용기내의 냉각수 흐름 및 압력맥동 등에 의해 유도되는 Core Support Barrel(CSB)의 진동 주파수가 8Hz 근처임을 규명하였다.

• 대한공간정보학회지
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• 제22권2호
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• pp.11-16
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• 2014

GOSAT 위성 신호와 한반도 서해안에 위치한 안면도 지상관측소 이산화탄소 관측값을 비교평가하는 연구를 수행하였다. GOSAT과 안면도 지상관측소의 관측값의 상관관계를 보여주는 $R^2$ 값은 0.49로 비교적 강한 양의 상관관계가 나타나고 있었다. 계절별 상관 분석 결과에서 여름과 가을($R^2=0.62$)에 강한 양의 상관계가가 나타나는 반면 봄과 겨울($R^2=0.37$)에는 보통의 양의 상관관계가 나타나 여름과 겨울이 좀 더 계절적으로 높은 상관계수를 보이고 있었다. 분석 기간(2009.6-2012.12) 중 GOSAT 이산화탄소 관측값이 지상관측소에 비해 다소 낮게 나타나고 있어 (평균 -6.31ppm), GOSAT 위성신호가 이산화탄소 농도를 지상관측소 측정 결과에 비해 과소평가하고 있음이 확인되었다. 이러한 분석 결과는 안면도와 제주 고산에 한정되어 있는 한반도의 이산화탄소 지상관측소의 시공간적 한계성을 극복할 수 있는 대안으로 GOSAT 위성의 활용가능성을 판단할 수 있는 근거가 될 수 있을 것이다.

• 한국콘텐츠학회논문지
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• 제15권2호
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• pp.11-20
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• 2015

본 논문에서는 무인 자동 추적 감시를 위한 이진 CDMA 기반 지능형 이동 감시 시스템을 개발한다. 이는 기본적으로 CDMA와 TDMA의 장점을 복합적으로 적용한 이진 CDMA 무선 통신 기술을 이용하여 지능형 감시 시스템을 구현한다. 본 시스템은 네트워크상에서 실시간으로 현지 상황을 모니터링 할 수 있으며, 동시에 보안 감시 체계를 구현하여 다양한 상황별로 처리하도록 하였다. 개발된 시스템은 카메라를 이용한 객체의 360도 추적, PTZ(Pan/Tilt/Zoom) 카메라의 줌 기능에 의한 영상 확대, 영상 내 이동 객체의 식별 및 식별된 영상의 원거리 전송이 가능하다. 마지막으로, 대상 객체에 대한 감시 범위, 객체 확대 기능, 객체 탐지 수, 원격 전송된 영상 모니터링, 영상 출력 신호에 따른 초당 프레임 수 등과 같은 상황 설정한 모의실험을 통해 본 구현 시스템을 보여 줄 것이다.