• 제목/요약/키워드: SiC Filament

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수소처리와 후성장층의 특성이 다이아몬드 박막의 전계방출 특성에 미치는 영향

  • 심재엽;송기문;이세종;백홍구
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.96-96
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    • 2000
  • 화학증착법으로 증착된 다이아몬드 박막은 우수한 전기적 특성과 뛰어난 화학적, 열적 안정성 때문에 전계방출소재로 많은 관심을 불러 일으키고 있다. 다이아몬드 박막의 전계방출은 저전계에서 일어나는 것으로 알려져 있으며, 저전계방출의 원인을 규명하려는 많은 연구가 진행되어 왔다. 한편, 다이아몬드 박막의 전계방출전류는 금속기판의 사용에 의한 기판/다이아몬드 접촉의 개선, 다이아몬드 박막내의 흑연성분의 조절에 의한 구조변화, 보론이나 인 (P), 질소의 도핑, 수소 플라즈마나 cesium 등의 금속을 이용한 표면처리 등의 여러 방법에 의하여 향상된다는 것이 입증되었다. 그 외에 메탄과 대기 분위기 처리, 암모니아 분위기에서의 레이저 조사도 전계방출특성을 향상시키는 것으로 보고되었다. 그러나, 다이아몬드 박막의 성장후 구조적 특성이 다른 박막의 후성장이나 열분해된 운자수소 처리가 다이아몬드 박막의 전계방출특성에 미치는 영향에 관한 연구는 지금까지 이루어지지 않았다. 본 연구에서는 수소처리와 후성장이 다이아몬드 박막의 전계방출특성에 미치는 영향을 고찰하고 이로부터 그 원인을 규명하고자 하였다. 다이아몬드 박막은 hot-filament 화학증착법을 이용하여 증착하였다. 후성장한 다잉아몬드 박막내의 흑연성분과 박막의 두께를 체계적으로 조절하여 후성장 박막의 구조적 특성과 그 두께의 영향을 확인할 수 있었다. 후성장층내의 흑연성분과 두께가 증가할수록 전계방출특성은 향상되다가 저하되었다. 한편, 다이아몬드 박막을 성장시킨 후 수소분위기 처리를 함에 따라 전계방출특성은 향상되었지만 수소처리시간이 5분 이상으로 증가함에 따라 그 특성은 저하되었다. 본 연구에서는 수소처리와 후성장시 나타나는 전계방출특성의 변화 원인을 규명하고자 한다.기판위에서 polymer-like Carbon 구조는 향상되는 경향을 보였다.0 mm인 백금 망을 마스크로 사용하여 실제 3차원 미세구조를 제작하여 보았다. 그림 1에서 제작된 구조물의 SEM 사진을 보여주었으며, 식각된 면의 조도가 매우 뛰어나며 모서리의 직각성도 우수함을 확인할 수 있다. 이와 같이 도출된 시험 조건을 기초로 하여 리소그래피 후에 전기 도금을 이용한 금속 몰드 제작 및 이온빔 리소그래피 장점을 최대한 살릴수 있는 미세구조 제작에 대한 연구를 계속 추진할 계획이다. 비정질 Si1-xCx 박막을 증착하여 특성을 분석한 결과 성장된 박막의 성장률은 Carbonfid의 증가에 따라 다른 성장특성을 보였고, Silcne(SiH4) 가스량의 감소와 함께 박막의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터

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보론-도핑된 다이아몬드 박막의 전계방출 특성 (Field emission properties of boron-doped diamond film)

  • 강은아;최병구;노승정
    • 한국진공학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.110-115
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    • 2000
  • 열-필라멘트 CVD 장치를 이용하여 다이아몬드 박막의 증착 조건을 최적화시켰다. $B_4C $ 고체 펠렛을 사용하여 보론두핑된 다이아몬드 박막을 제조하여 그 질적 특성을 알아보고, 전류전압 특성과 전계 방출 측정을 통해 박막의 전계방출소자(field emission display (FED)로의 특성을 조사하였다. 보론 도핑의 양이 증가함에 따라 다이아몬드 결정의 평균 입자 크기가 조금씩 감소하지만 다이아몬드의 질은 소량 도핑인 경우에 크게 바뀌지 않았다. Al/Diamond/p-Si 소자의 전류전압 특성을 조사한 결과 도핑된 다이아몬드 박막의 전류는 도핑되지 않은 박막의 전류에 비해 $10^4$~$10^5$배 정도 증가하였다. 전계방출 특성을 조사한 결과 보론-도핑이 증가함에 따라 점차 낮은 전기장에서 전자를 방출하며, 또한 높은 방출 전류를 나타냈다. 전자가 방출되기 시작하는 onset-field는 펠렛의 수가 2개일 때 15.5 V/$\mu\textrm{m}$, 3개일 때 13.6 V/$\mu\textrm{m}$, 4개일 때는 11.1 V/$\mu\textrm{m}$. 체계적으로 감소하였다. 도핑의 강도가 세어짐에 따라 Fowler-Nordheim 그래프의 기울기는 감소하는 경향을 보였으며, 이로서 보론 도핑으로 인해 유효 장벽 에너지가 감소되어 전자 방출 특성이 향상됨을 알 수 있었다.

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Nebulin C-terminus Interacts with NCBP51, a New Isoform of RING Finger Protein 125 (RNF125)

  • Kim, Ji-Hee;Kim, Hyun-Suk;Park, Eun-Ran;Choi, Jae-Kyoung;Lee, Yeong-Mi;Choi, Jun-Hyuk;Shin, Jung-Woog;Kim, Chong-Rak
    • 대한의생명과학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.1-10
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    • 2007
  • Nebulin, a giant modular protein from muscle, is thought to act as molecular ruler in sarcomere assembly. In skeletal muscle, the C-terminal ${\sim}50 kDa$ region of nebulin extends into the Z-line lattice. The most recent studies implicated highlighting its extensive isoform diversity and exciting reports revealed its expression in cardiac and non-muscle tissues containing brain. Also these novel findings are indicating that nebulin is actually a multifunctional filament system, perhaps playing roles in signal transduction, contractile regulation, and myofibril force generation, as well as other not yet defined functions. However the binding protein of nebulin and function in brain is still unknown. A novel binding partner of nebulin C-terminal region was identified by screening a human brain cDNA library using yeast two-hybrid system. Nebulin C-terminus binding protein 51 (NCBP51) was contained a RING-finger domain and identified a new isoform of RING finger protein 125 (RNF125). The interaction was confirmed using the GST pull-down assay. NCBP51 belongs to a family of the RING finger proteins and its function remains to be identified in brain. The role of nebulin and NCBP51 will be studied by loss-of-function using siRNA technique in brain.

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농도구배와 평균속도가 삼지화염의 부상 특성에 미치는 영향에 관한 실험적 연구 (An Experimental Study on the Effects of Concentration Gradient and Mean Velocity on the Liftoff Characteristics of the Triple Flame)

  • 서정일;김남일;오광철;신현동
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제27권8호
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    • pp.1061-1070
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    • 2003
  • A triple flame in a mixing layer was studied experimentally with concentration gradient and mean velocity by using a multi-slot burner, which can stabilize the lift-off flame. Flame stabilization condition, lift-off heights, and some other characteristics were examined for methane and propane flame within a range of very low concentration gradient. Pitot-tube and LDV(Laser Doppler Velocimetry) were used for velocity. Mass spectroscopy and Rayleigh scattering signal were used for concentration gradients. Thermo-couples and SiC TFP(Thin Filament Pyrometer) were used for temperature. It was found that minimum values of the lift-off heights exist at a certain concentration gradient for constant mean velocity and this means that the propagation velocity has a maximum value. The scales of flame to the burner nozzle and intensity variation of the diffusion flame were suspected as the cause.

백서(白鼠)의 신경병리성(神經病理性) 동통(疼痛)에 대한 후계(後谿).위중(委中) 혈위(穴位) 호침료법(毫鍼療法)과 레이저 침습조사(侵襲照射) 침료법(鍼療法)과의 비교(比較) 연구(硏究) (Comparative study of acupuncture and invasive laser acupuncture therapy at $SI_3$.$BL_{40}$ on the tibial, sural nerve injury and L5 spinal nerve ligation model in rats)

  • 위통순;윤대환;윤여충;나창수
    • Korean Journal of Acupuncture
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    • 제22권2호
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    • pp.9-24
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    • 2005
  • Objective: We have studied the effects of acupuncture and low level He-Ne laser therapy(LLLT) at $SI_3$, $BL_{40}$ on the tibial, sural nerve injury due to sports-damage or traffic accident and L5 spinal nerve ligature model like general herniation of nucleus pulposus(HNP) in a rat of neuopathic pain. Methods: A model of neuropathic pain was made by injuring tibial nerve and sural nerve while common peroneal nerve was maintained. Also, it was made by isolating left 5th lumbar spinal nerve. Three weeks after the neuropathic surgery, acupuncture and LLLT was injected at $SI_3$,$BL_{40}$ one time a day for one week. LLLT was divided three groups, that is LLLT-1(5mW), LLLT-2(10mW) and LLLT-3(30mW). After that, we examined the withdrawal response of neuropathic rats' legs by Von frey filament and acetone stimulation. And also we examined c-Fos, Nocieptin and KOR-3 in the midbrain central gray of neuropathic rats. Results: As we have observed the effect of mechanical allodynia, LLLT-3 group were diminished on 4 day, 5 day, 6 day and 7 day in the resection model compared with control model, LLLT-1 group were diminished on 5 day, LLLT-2 group were diminished on 3 day and 6 day, LLLT-3 group were diminished on 3 day, 4 day, 5 day, 6 day and 7 day in connected model compared with control group. As we have observed the effect of cold allodynia, LLLT-3 group were diminished on 7 day in the resection model compared with control model, LLLT-1 group were diminished on 6 day, 7 day, LLLT-3 group were diminished on 7 day in connected model compared with control group. As we have observed the effect of activity of c-Fos in the central gray part, LLLT-3 were diminished in resection model compared with control group, LLLT-1 group were diminished in connected model compared with control group. As we have observed the effect of activity of Nociceptin in the central gray part, resection model were not increased compared with control group, LLLT-1 group and LLLT-3 group were increased in connected model compared with control model. As we have observed the effect of activity of KOR-3 in the central gray part, resection model were not increased compared with control group, LLLT-3 group were increased in connected model compared with control model. Conclusions: We have noticed that LLLT-1 and LLLT-3 group have more controllable effect than acupuncture group. This study can be used in clinical therapy for neuropathic pain. But it is not reliability that Nociceptin and KOR-3 have effectively to control pain. Therefore We have to follow up about that.

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