• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.219.1-219.1
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• 2014

전자소자 산업의 미세화 및 대형화에 따라 플라즈마 밀도, 전위, 온도, 균일도 등 과 같은 플라즈마 특성을 제어하는 것은 차세대 플라즈마 장치 개발에 있어 매우 중요한 요소라고 할 수 있다. 특히, 급격한 소자의 미세화에 따라 플라즈마 공정을 통해 발생할 수 있는 damage는 큰 issue가 되어 왔고, 많은 연구자들은 이를 해결하기 위해서 다각적인 노력을 진행해 왔다. 그중 높은 전자 온도는 높은 전자 에너지에 의해 공정 중 소자를 손상 시키는 주된 원인이라고 보고되고 있으며, 이에 대한 제어기술은 매우 중요하다고 할 수 있다. 본 연구에서는 서로 다른 두 개의 내/외측으로 나뉘어진 나선형 모양의 ICP 안테나를 이용 하여 연구를 진행하였다. 내측의 안테나에는 2 MHz를 연결 하였으며, 외측의 안테나에는 13.56 MHz를 연결 하였으며, 내/외측 안테나에 각각 pulse mode로 입력전력을 인가해 줌으로써 플라즈마의 특성을 관찰하였다. Pulse / CW (Continuous Wave) mode에 있어서 전자온도의 측정을 위해 emissive probe 를 이용하여 plasma potential과 floating potential을 측정하였으며, 이를 통하여 전자온도를 계산하여 구할 수 있었다. Duty ratio 및 pulsing frequency의 변화에 따른 전자온도의 변화를 확인 할 수 있었으며, 그에 따른 플라즈마 균일도를 ion saturation current를 측정함으로써 관찰할 수 있었다. 실제 식각 공정에 있어서 Pulsing 조건에 따른 식각 특성을 관찰하기 위해, SiO2, ACL (Amorphous Carbon Layer)에 대해 식각을 진행하였으며, 식각 메커니즘 분석을 위해 이온에너지 분포의 변화를 PSM (Plasma Sampling Mass-spectroscopy)을 이용하여 측정하였다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.9 no.8
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• pp.798-803
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• 1999

This study has been focused on the influence of Fe(III) incorporation into framework of SAPO-34(FeAPSO-34s;/su/Fe = 40,20 and 5) on the catalytic performance of methanol conversion. By rapid crystallization method, the XRD,SEM,ICP,TG-DTA, and BET sufrace areas. With an increase in the Fe content incorporated to the framework, the crystallinity identified from the intensity of XRD peaks slightly decreased and the particle size observed from SEM photographs decreased also. On the other hand, the acid sites in crystal decreased kin the Fe-incorporated samples, and the selectivity to ethylene for FeAPSO-34 catalyst on methanol conversion was enhanced compared with the nonmetal incorporated(SAPO-34)

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2012.10a
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• pp.997-999
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• 2012

Digital X-ray image detector is widely used for radiodiagnosis. Amorphous selenium has been received attention as one of the major material that confirmed photoconductor of direct methode detector. We analysis the photocurrent using 2-dimensional device simulator when blue-ray (${\lambda}=486nm$) is irradiated and high voltage is biased. We evaluate electron-hole generation rate, electron-hole recombination rate, and electron/hole distribution in the amorphous selenium. This simulation methode is helpful to the analysis of digital X-ray image detector. We expect that many applications will be developed in digital X-ray image detector using 2-dimensional device simulator.

• The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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• v.48 no.4
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• pp.261-268
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• 1999

Laser-induced thermochemical etching has been recognized as a new powerful method for processing a variety of materials, including metals, semiconductors, ceramics, insulators and polymers. This study presents characteristics of direct etching for Si substrate using focused argon ion laser beam in aqueous KOH and $CCl_2F_2$ gas. In order to determine process conditions, we first theoretically investigated the temperature characteristics induced by a CW laser beam with a gaussian intensity distribution on a silicon surface. Major process parameters are laser beam power, beam scan speed and reaction material. We have achieved a very high etch rate up to $434.7\mum/sec$ and a high aspect ratio of about 6. Potential applications of this laser beam etching include prototyping of micro-structures of MEMS(micro electro mechanical systems), repair of devices, and isolation of opto-electric devices.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2007.05a
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• pp.1209-1213
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• 2007

하천 수치모델링을 통한 흐름, 오염물질 거동, 지형변화 해석 등은 효율적인 하천 수질 관리를 위해서 상당히 중요한 부분은 차지한다. 수질이나 지형변화를 보다 정확하게 예측하기 위해서는 하천 흐름 예측의 정확도 향상이 중요한 역할을 하게 된다. 본 연구는 평면 이차원 하상변동 및 수질예측 수치모형인 KU-RLMS 모형을 이용하여 낙동강 상류의 반변천 합류부의 흐름 특성을 규명하고, 수질 모형을 수행하기 위한 흐름 계산 결과를 제공하기 위해 수행하였다. KU-RLMS 모형은 하천 및 저수지의 국부적인 수리, 수질, 유사이동 해석을 위해 개발된 평면 이차원 비정상 수치모형이다. 직사각형 격자를 사용하는 유한차분법의 단점을 보완하기 위해, 흐름 계산을 위한 지배방정식은 3차원 Reynolds 방정식으로부터 수심적분된 2차원 연속방정식과 운동량방정식을 불규칙한 경계를 현실적으로 모사할 수 있는 직교곡선 좌표계로 변환한 방정식을 사용한다. 수치모형 적용을 위한 현황분석으로 안동 및 임하 조정지댐의 방류량, 안동 수위관측소의 자료를 분석하였다. 흐름 모형을 보정하기 위해 안동대교 지점에서 횡유속 분포를 측정하였으며, 이 결과를 사용하여 흐름 모형의 매개변수인 Manning 계수와 공간가중계수를 추정 및 검증하였다. 안동다목적댐과 임하다목적댐의 방류량을 고려하여 수치모의조건을 결정하였으며, 각 조건에 대한 흐름 변화 특성을 분석하였다.

• The Journal of Internal Korean Medicine
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• v.26 no.1
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• pp.119-128
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• 2005

모든 알레르기 반응의 중심축이 되는 비만세포는 주로 피부, 위장관 및 호흡기관의 점막에 분포하고 있다. 활성화된 비만세포는 즉각형 알레르기 반응을 일으키는 여러 인자들을 방출시키게 된다. 方藥合編(방약합편)에 따르면 蔘蘇飮(삼소음)은 알레르기 鼻炎(비염), 發熱(발열), 風寒(풍한), 頭痛(두통), 기침에 效能(효능)이 있는 處方(처방)이다. 본 硏究(연구)는 蔘蘇飮(삼소음)의 肥滿細胞(비만세포) 의존성 아나필락시 반응(anaphylactic reaction)에 대한 藥理(약리) 效果(효과)를 조사하기 위한 것이다. 蔘蘇飮(삼소음)은 compound 48/80으로 유발되는 전신성 아나필락시 쇼크(systemic anaphylactic shock)와 耳介(이개) 浮腫(부종) 反應(반응)(ear swelling response)을 농도 의존적으로 억제하였다. 蔘蘇飮(삼소음)을 0.1, 1 mg/ml로 전처리 하였을 때, 흰쥐 복강 肥滿細胞(비만세포)(rat peritoneal mast cells, RPMCs)에서 compound 40/80에 의해 유발되는 히스타민 분비는 감소하는 것으로 나타났다. 또한 蔘蘇飮(삼소음)은 anti-dinitrophenyl IgE에 의해 활성화 된 수동 피부 아나필락시(passive cutaneous anaphylaxis, PCA)를 농도 의존적으로 抑制(억제)하였다. 결론적으로 蔘蘇飮(삼소음)은 肥滿細胞(비만세포) 의존성 즉각형 알레르기 反應(반응)을 抑制(억제)하여, 항 아나필락시 활성(anti-anaphylactic activity)을 가지는 것으로 보여 진다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.317-318
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• 2012

현재의 반도체 산업에서 Hafnium oxide와 Hafnium silicates같은 high-k 물질은 CMOS gate와 DRAM capacitor dielectrics로 사용하기 위한 대표적인 물질에 속한다. MOSFET (metal oxide semiconductor field effect transistor)구조에서 gate length는 16 nm 이하로 계속 미세화가 연구 중이고, 또한 gate는 기존구조에서 Multi-gate구조로 다변화가 일어나고 있다. 이를 통해 게이트 절연막은 그 구조와 활용범위가 다양해지게 될 것이다. 동시에 leakage current와 dielectric break-down을 감소시키는 연구가 중요해지고 있다. 그러나 나노 영역에서의 기계적 특성에 대한 연구는 전무한 상태이다. 따라서 복잡한 회로 공정, 다양한 Multi-gate 구조, 신뢰도의 향상을 위해서는 유전박막 물질자체와 계면에서의 물리적, 기계적인 특징의 측정이 상당히 중요해지고 있다. 이에 본 연구는 Nano-indenter의 통해 경도(Hardness)와 탄성계수(Elastic modulus) 등의 측정을 통하여 시료 표면의 나노영역에서의 기계적 특성을 연구하고자 하였다. $HfO_2$게이트 절연막은 rf magnetron sputter를 이용해 Si (silicon) (100)기판위에 박막형태로 증착하였고, 이후 furnace에서 질소분위기로 온도(400, 450, $500^{\circ}C$)를 달리하여 20분 열처리를 하였다. 또한 Weibull distribution을 이용해 박막의 characteristic value를 계산하였으며, 실험결과 열처리 온도가 $400^{\circ}C$에서 $500^{\circ}C$로 증가함에 따라 경도와 탄성계수는 7.4 GPa에서 10.65 GPa으로 120.25 GPa에서 137.95 GPa으로 각각 증가하였다. 이는 재료적 측면으로 재료의 구조적 우수성이 증가된 것으로 판단된다.

• Health Policy and Management
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• v.13 no.4
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• pp.99-114
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• 2003

This study was performed to determine the effect of social class distribution as measured by lower social class rate on all cause and cause specific mortality in Korea. I obtained data on social class, fiscal autonomy of municipalities, number of medical doctors, region(Si/Gun) from 1955 Korea Census Data and Regional Statistics Data. And all of the data on mortality adjusted for age for 1995 for each district from the National Statistics Office. Lower social class rate ranged from 18.9％ for Kangnam gu to 85.7％ for Imsil gun and age standardized mortality ranged from 385/100,000 population for Kangnam go to 803/100,000 population for Sinan gun. Lower social class showed had a significant correlation with total mortality adjusted for age(r=0.81, p<0.0001). The association of the rate to total mortality remained highly significant after adjusted for number of medical doctors per 1,000 population, fiscal autonomy of municipalities and region(p<0.0001). Effects of the lower social class were also found for neoplasm (p=0.0008)； cardiovascular disease (p<0.0001)； infectious disease(p=0.0115)； respiratory disease(p=0.0085)； gastrointestinal disease(p<0.0001)； accident ＆ poisoning (p<0.0001). The findings suggest that policies that deal with the inequality in social class may have an important impact on the health of the population.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.297-297
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• 2013

최근 각종 폴리머 및 강판과 같은 유연소재의 수요 증가로 인해 유연소재 표면의 전처리, 증착 및 기능성 부여를 위한 이온빔 또는 플라즈마 표면처리 기술이 세계적으로 활발히 연구개발 되고 있으며, 유연소재 표면처리 공정의 고속화 및 대면적화 기술이 요구되고 있다. 유연소재의 고속 및 대면적 표면처리 기술개발을 위해서는 Roll-to-Roll 공정에 적용 가능한 광폭 선형이온소스 기술 개발이 필요하다. 본 연구에서는 1.55 m급 광폭 Anode Layer 선형이온소스를 개발하였으며, 이온빔 인출 균일도 및 에너지 분포 특성을 평가하였다. 특히, 본 선형이온 소스 개발 시 시뮬레이션 연구를 통해 이온소소의 이온 인출 특성 및 내구성 향상을 위한 최적 구조를 설계하였다. 본 연구에서 개발한 선형이온소스는 최대 5 kV의 방전 전압 조건에서 평균 1.5 keV의 이온에너지를 가지는 Ar 이온빔이 1.55 m 폭에서 약 4.2%의 균일도를 보였다. 표면 처리 성능 평가시(Si wafer 기준) 소스와 기판과 거리 100 mm에서 에칭율은 15 nm/s였고, 이는 다른 표면처리 이온소스 대비 높은 효율을 나타냄을 확인할 수 있었다. 또한 4시간 이상 운전시에도 안정적인 인출 빔 전류 밀도를 확인하였으며, 소스 내부의 효율적인 냉각 구조로 인한 열손상은 발견되지 않았다.

• Journal of Korean Society of Forest Science
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• v.87 no.4
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• pp.528-534
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• 1998

There are many parameters in prediction of forest fire spread. Among others wind and slope factors are considered to be the important parameters in spread of forest fire. Generally, all the inclined planes with same slopes can not have the same wind velocity in complex mountain area. But this effect has been disregarded in complex geometry. In this paper, wind values which have velocity and direction is calculated by applying computational fluid dynamics to the forest geometry. These results are applied for forest fire spreading algorithm with experimental Korean ROS(Rate Of Spread). Finally, the comparison between the simulation and the real forest fire has correspondence about 90%.