• 제목/요약/키워드: Self diffusion

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450 mm Wafer 가공을 위한 자화유도결합플라즈마 시뮬레이션 연구

  • 이호준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.411-411
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    • 2010
  • Cavity mode Whistler wave를 사용하는 자화유도결합플라즈마 (Magnetized Inductively Coupled Plasma, MICP)의 제반 특성을 비등방성 수송계수를 가지는 Drift-Diffusion 근사, 에너지 보존 방정식 및 유도전자계를 self-consistent 하게 고려하여 계산하였다. 이러한 접근법은 비충돌성 전자가열현상을 고려하지 못하는 단점에도 불구하고, 반도체 장비설계에 필수적인 전자온도, 밀도, 플라즈마 전위, 시스템의 임피던스 특성에 대한 경향성 파악에 매우 유용하다. 뿐만 아니라 전자밀도분포가 공간내에 형성되는 R-wave mode에 미치는 영향을 분석할 수 있다. 직경 320 mm를 가지는 작은 반응기에서 시뮬레이션과 실험결과를 비교하여 본 모델링 방법의 타당성을 검증한 후, 450 mm wafer가공에 적합한 대면적 플라즈마 반응기에서 플라즈마 특성을 연구하였다. 수 mTorr의 공정압력에서 약 10 Gauss전후의 약한 자장이 인가됨으로서 반경방향의 전자밀도 균일성이 대폭 향상되었다. 플라즈마 및 안테나의 대면적화에 수반되는 높은 Q값이 자장의 인가로 큰 폭으로 감소함으로서 임피던스메칭의 안정성이 비약적으로 개선되었고 전력전달 효율 또한 크게 증가함을 알 수 있었다. 본 연구 결과는 차세대 450 mm 반도체 공정장비의 개발에 있어 자화유도결합플라즈마가 매우 유용하게 사용될 수 있음을 보여준다.

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Molecular Dynamics Simulation of Liquid Alkanes. Ⅱ. Dynamic Properties of Normal Alkanes : n- Butane to n- Heptadecane

  • 이송희;이홍;박형숙
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제18권5호
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    • pp.478-484
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    • 1997
  • In a recent paper[Bull. Kor. Chem. Soc. 17, 735 (1996)] we reported results of molecular dynamic (MD) simulations for the thermodynamic and structural properties of liquid n-alkanes, from n-butane to n-heptadecane, using three different models. Two of the three classes of models are collapsed atomic models while the third class is an atomistically detailed model. In the present paper we present results of MD simulations for the dynamic properties of liquid n-alkanes using the same models. The agreement of two self-diffusion coefficients of liquid n-alkanes calculated from the mean square displacements (MSD) via the Einstein equation and the velocity auto-correlation (VAC) functions via the Green-Kubo relation is excellent. The viscosities of n-butane to n-nonane calculated from the stress auto-correlation (SAC) functions and the thermal conductivities of n-pentane to n-decane calculated from the heat-flux auto-correlation (HFAC) functions via the Green-Kubo relations are smaller than the experimental values by approximately a factor of 2 and 4, respectively.

Molecular Dynamics Simulation of Liquid Alkanes III. Thermodynamic, Structural, and Dynamic Properties of Branched-Chain Alkanes

  • 이송희;이홍;박형숙
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제18권5호
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    • pp.501-509
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    • 1997
  • In recent papers[Bull. Kor. Chem. Soc. 1996, 17, 735; ibid 1997, 18, 478] we reported results of molecular dynamics (MD) simulations for the thermodynamic, structural, and dynamic properties of liquid normal alkanes, from n-butane to n-heptadecane, using three different models. Two of the three classes of models are collapsed atomic models while the third class is an atomistically detailed model. In the present paper we present results of MD simulations for the corresponding properties of liquid branched-chain alkanes using the same models. The thermodynamic property reflects that the intermolecular interactions become weaker as the shape of the molecule tends to approach that of a sphere and the surface area decreases with branching. Not like observed in the straight-chain alkanes, the structural properties of model Ⅲ from the site-site radial distribution function, the distribution functions of the average end-to-end distance and the root-mean-squared radii of gyration are not much different from those of models Ⅰ and Ⅱ. The branching effect on the self diffusion of liquid alkanes is well predicted from our MD simulation results but not on the viscosity and thermal conductivity.

Non-equilibrium Molecular Dynamics Simulations of Thermal Transport Coefficients of Liquid Water

  • Song Hi Lee;Gyeong Keun Moon;Sang Gu Choi
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제12권3호
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    • pp.315-322
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    • 1991
  • In a recent $paper^1$ we reported equilibrium (EMD) and non-equilibrium (NEMD) molecular dynamics simulations of liquid argon using the Green-Kubo relations and NEMD algorithms to calculate the thermal transport coefficients-the self-diffusion coefficient, shear viscosity, and thermal conductivity. The overall agreement with experimental data is quite good. In this paper the same technique is applied to calculate the thermal transport coefficients of liquid water at 298.15 K and 1 atm using TIP4P model for the interaction between water molecules. The EMD results show difficulty to apply the Green-Kubo relations since the time-correlation functions of liquid water are oscillating and not decaying rapidly enough except the velocity auto-correlation function. The NEMD results are found to be within approximately ${\pm}$30-40% error bars, which makes it possible to apply the NEMD technique to other molecular liquids.

수직 이중 확산형 MOSFET (A Vertical Double-Diffused MOSFET)

  • 김종오;최연익;손호태;성만영
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제23권6호
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    • pp.773-779
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    • 1986
  • In this paper, we discuss fabrication and characteristics of the Vertical Double diffused MOS(VDMOS) transistor. The epi layers of starting wafers are 18~22\ulcorner in thickness and 8~12\ulcornercm in resistivity. The channel regions are defined through the self-aligned double diffusion process. The characteristics of the fabricated VDMOS are breakdown voltage of 240V, threshold voltage of 2V, on-resistance of 226\ulcornerand transconductance of 3x10**-3 mho.

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Do Women's Attitudes Matter in Acceptance of Islamic Microfinance? Evidence from Malaysia

  • Md Amirul Islam;Muhammad Salah Uddin;Seethaletchumy Thambiah;Elsadig Musa Ahmed;Md Abdur Rauf
    • East Asian Economic Review
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    • 제27권1호
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    • pp.61-85
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    • 2023
  • The study aims to investigate the factors pursuing the women entrepreneurs to accept Islamic microfinance (IMF) in urban and rural areas of Malaysia. For this purpose, the study applies the Theory of Planned Behavior (TPB) and Innovation and Diffusion Theory to explain Islamic microfinance adoption. Using the structural equation model (SEM) with primary data collected from 384-woman entrepreneurs in Malaysia, the current study uses a 5-point Likert scale. On the basis of theory and collected data, the seven hypotheses are developed. All hypotheses are validated by both directly and indirectly, as well as through a mediating factor. Among the factors, knowledge about IMF and subjective norms significantly influence the acceptance of IMF. On the other hand, the perceived complexity does not show any substantial relationship to the acceptance of IMF. This outcome will be helpful in supporting policymakers, academics, and future studies and must take into account the supported factors. Therefore, the study contributes to develop an innovative framework, to create self-employment for women entrepreneurs.

디퓨전 모델에서의 전 범위적 이미지 조작을 위한 셀프 어텐션 제어 및 드래그 특징 반영 연구 (Image Manipulation in Diffusion Model withDrag Input using Self-Attention Control)

  • 임성윤;조영주;이용주
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2023년도 추계학술발표대회
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    • pp.465-468
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    • 2023
  • 디퓨전 모델에서 생성한 이미지를 조작하는 기존 프롬프트 기반 방법과 포인트 기반 방법에는 각각의 단점이 있다. 프롬프트 기반은 프롬프트로만 조작이 가능하고 세세하지 못하다. 포인트 기반은 입력 이미지의 스타일을 보존하려면 파인튜닝이 필요하다. 본 논문은 디퓨전 생성 모델에 셀프 어텐션 제어와 드래그 조작을 통해, 파라미터 학습 없이, 이미지의 스타일을 보존하며 다양한 범위의 이미지 조작이 가능한 방법을 제안한다.

(Glycine+Urea) 혼합연료를 이요한 자발착화 연소반응법에 의한 우수한 소결성의 초미분체 LaAlO$_3$ 분말 합성 (Synthesis of Ultrafine LaAlO$_3$ Powders with Good Sinterability by Self-Sustaining Combustion Method Using (Glycine+Urea) Fuel)

  • 남희동;최우성;이병하;박성
    • 한국세라믹학회지
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    • 제36권2호
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    • pp.203-209
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    • 1999
  • Si 기판위에 Ba2YCu3O7-$\delta$ 고온초전도체를 응용하기 위해 요구되는 buffer층으로 유망한 재료인 LaAlO3 단일상 분말을 고상반응법과 자발착한 연소반응법으로 제조하였다. 제조된 LaAlO3 분말의 입자형태와 결정상태는 scanning electron microscope (SEM)과 X-ray diffractometer (XRD)를 이용하여 분석하였다. 분말의 비표면적과 소결특성은 각각 Brunauer-Emmett-Teller(BET) 방법과 dilatometer를 측정하였다. 고상반응법으로 LaAlO3 분말을 제조할 때에는 하소온도를 150$0^{\circ}C$까지 높게 하여도 단일상을 얻는 것이 어려웠으나 자발착한 연소반응법에 의한 분말제조는 $650^{\circ}C$의 저온에서 하소하여도 쉽게 얻을 수 있었다. Dilatometer 측정을 통하여 분석해 보면, 고상반응법에 의한 분말보다 자발착한 연소반응법에 의한 분말로 제조된 소결체가 고상반응법에 의한 소결체에 비해 1.4배나 큰 소멸밀도(98.87%)를 가졌다. 이렇게 소결밀도에서 큰 차이가 나는 것은 자발착한 연소방법에 의한 분말의 평균 입자크기가 nano crystal size이고 비표면적 값(56.54 $m^2$/g)이 매우 크기 때문이다. 두가지 방법으로 제조된 분말을 이용, LaAlO3 layer를 스크린 프린팅과 소결법으로 Si 기판상에 제조하였으며 자발착한 연소합성법으로 제조된 분말은 110$0^{\circ}C$에서 우수한 소결특성을 나타내었다.

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건축용 압출법 단열판(XPS)의 자기소화성에 대한 실험적 연구 및 제도적 관리에 관한 제언 (Experimental Study on the Self-extinguishing Performance of Extruded Polystyrene Insulation for Buildings and Suggestions on Institutional Management)

  • 강정기;최돈묵
    • 한국화재소방학회논문지
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    • 제34권3호
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    • pp.141-149
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    • 2020
  • 한국산업표준(KS)은 발포 플라스틱 제품에 대하여 소형화염에 의한 수평 연소성의 측정 방법 및 시험절차를 규정(KS M ISO 9772:2018)하고 측정 결과에 대한 압출법 단열판(이하 XPS)의 자기소화성과 관련한 성능 및 기준을 KS 규격(KS M 3808:2020)에서 규정하고 있다. KS 규격에 적합함을 인증 받은 제품은 연소성(이하 '자기소화성')을 가지고 있어야 함에도 공사현장에서 용접불티 등에 의해 착화 및 확산되어 대량의 인명과 재산 피해가 발생하고 있는 실정이다. 본 연구에서는 KS 인증을 받고 시중에 판매 중인 5개사의 XPS 단열재를 구입하여 공사현장에서 발생되는 용접불티에 의한 착화 및 확산 여부를 실험하였다. 실험결과, 5개사의 제품 중 3개사는 성능의 차이는 있으나 자기소화성이 있는 것으로 확인되었으나, 2개사는 쉽게 착화 및 확산되어 자기소화성이 있다고 보기 어려웠다. 동종의 제품에 대하여 KS 규정에 따른 실험결과, 용접불티에 의해 착화되었던 제품 2종을 포함한 총 3종의 제품이 KS M 3808에서 규정한 자기소화성이 없는 것으로 확인되었다.

음악요법이 초산부의 경막하 무통 분만 중 분만통증, 분만경험, 자아존중감에 미치는 효과: 유사실험 연구 (The effects of music therapy on labor pain, childbirth experience, and self-esteem during epidural labor analgesia in primiparas: a non-randomized experimental study)

  • 안성연;박은지;문유리;이보영;이은별;김동연;정성희;김진경
    • 여성건강간호학회지
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    • 제29권2호
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    • pp.137-145
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    • 2023
  • Purpose: This non-randomized study was performed to evaluate the effects of music therapy on labor pain, the childbirth experience, and self-esteem in women during vaginal delivery. Methods: In total, 136 primiparous women over 37 weeks of gestation receiving epidural analgesia during vaginal delivery were recruited via convenience sampling. To minimize diffusion effects, data from the control group (n=71) were collected first (April 2020 to March 2021), followed by data from the music group (n=65; April 2021 to May 2022). Participants in the music group listened to classical music during labor, while the control group was offered usual care (no music). Labor pain was measured using a numeric rating scale (NRS), and self-esteem and childbirth experience were collected using self-report questionnaires. Data were analyzed using the independent t-test, chi-square test and Cronbach's α coefficients. Results: The overall pain level (NRS) at baseline was 0 in both groups. Mothers in the music therapy group had lower levels of latent pain (t=1.95, p=.005), active pain (t=3.69, p<.001) and transition-phase pain (t=7.07, p<.001) than the control group. A significant difference was observed between the two groups, and the music therapy group expressed more positive perceptions of the childbirth experience (t=-1.36, p=.018). For self-esteem, the experimental group's score was slightly higher, but without a statistically significant difference from the control group. Conclusion: Using music therapy during labor decreased labor pain and improved the childbirth experience. Music therapy can be clinically recommended as a non-pharmacological, safe, and easy method for nursing care in labor.