• 제목/요약/키워드: Sam-Jeong-Hwan

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MOCVD TiN FOR HIGH TEMPERATURE PROCESS

  • Lee, Sang-Hyeob;Kim, Jeong-Tae;Seo, Hwan-Seok;Chae, Moo-Sung;Kim, Sam-Dong
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 1998년도 IUMRS-ICEM ABSTRACT BOOK
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    • pp.153.2-153
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    • 1998
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