• 제목/요약/키워드: SI8

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새로운 고경도 Ti-Mo-Si-N 코팅막의 합성 및 기계적 특성 (Synthesis and Characteristics of New Quaternary Superhard Ti-Mo-Si-N Coatings)

  • 전진우;홍승균;김광호
    • 한국표면공학회지
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    • 제39권6호
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    • pp.245-249
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    • 2006
  • In this study, ternary Ti-Mo-N and new quaternary Ti-Mo-Si-N coatings were synthesized on steel substrates(AISI D2) and Si wafers by a hybrid coating system of arc ion plating (AIP) using Ti target and d.c. magnetron sputtering technique using Mo and Si targets in $N_2/Ar$ gaseous mixture. Ternary Ti-Mo-N coatings were substitutional solid-solution of (Ti, Mo)N and showed maximum hardness of approximately 30 GPa at the Mo content of ${\sim}10$. %. The Ti-Mo-Si-N coating with the Si content of 8.8 at. % was a composite consisting of fine (Ti, Mo)N crystallites and amorphous $Si_3N_4$ phase. The hardness of the Ti-Mo-Si(8.8 at. %)-N coatings exhibited largely increased hardness value of ${\sim}48$ GPa due to the microstructural evolution to the fine composite microstructure and the refinement of (Ti, Mo)N crystallites. The average friction coefficient of the Ti-Mo-Si-N coatings largely decreased with increase of Si content. The microstructures of Ti-Mo-Si-N coatings were investigated with instrumental analyses of XRD, XPS, and HRTEM in this work.

NDRO FRAM 소자를 위한 $Pt/SrBi_2Ta_2O_9/ZrO_2/Si$ 구조의 특성에 관한 연구 (Characteristics of $Pt/SrBi_2Ta_2O_9/ZrO_2/Si$ structures for NDRO ERAM)

  • 김은홍;최훈상;최인훈
    • 한국진공학회지
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    • 제9권4호
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    • pp.315-320
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    • 2000
  • 본 연구에서는 강유전체 박막을 게이트 산화물로 사용한 $Pt/Sr_{0.8}Bi_{2.4}Ta_2O_{9}(SBT)/ZrO_2Si$(MFIS)와 Pt/SBT/Si(MFS)구조의 결정 구조 및 전기적 성질을 고찰하였다. XRD 및 SEM측정 결과 SBT/ZrO$_2$/Si 구조의 경우 SBT/Si구조에 비해 SBT 박막이 더 큰 결정립이 형성되었다. AES분석 결과 $ZrO_2$ 박막을 완충층으로 사용함으로써 SBT 박막과 Si 기판의 상호반응을 적절히 억제할 수 있음을 확인하였다. Pt/SBT/$ZrO_2/Pt/SiO_2$/Si와 Pt/SBT/Pt/$SiO_2$/Si 구조에서 Polarization-Voltage(P-V) 특성을 비교해 본 결과 $ZrO_2$ 박막의 도입에 따라 잔류분극값은 감소하였고 항전계값은 증가하였다. MFIS 구조에서 메모리 윈도우값은 항전계값과 직접적 관련이 있으므로 이러한 항전계값의 증가는 MFIS 구조에서의 메모리 윈도값이 증가할 수 있음을 나타낸다. Pt/SBT(210 nm)/$ZrO_2$/ (28 m)/Si 구조에서 Capacitance-Voltage(C-V) 측정 결과로부터 인가전압 4~6 V에서 메모리 윈도우 가 1~1.5V정도로 나타났다. Pt/SBT/ZrO$_2$/Si구조에서 전극을 갓 증착한 경우와 산소분위기 $800^{\circ}C$에서 후열처리한 경우의 전류 밀도는 각각 약 $8\times10^{-8} A/\textrm{cm}^2$$4\times10^{-8}A/\textrm{cm}^2$ 정도의 값을 나타내었다.

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무가압함침법에 의한 SiCp/AC8A 복합재료의 제조 및 특성 (Fabrication and Characteristics of SiCp/AC8A Composites by Pressureless Metal Infiltration Process)

  • 김재동;고성위
    • 한국복합재료학회:학술대회논문집
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    • 한국복합재료학회 2000년도 춘계학술발표대회 논문집
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    • pp.139-142
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    • 2000
  • The SiCp/AC8A composites were fabricated by the pressureless metal infiltration process successfully. The effect of additional Mg, which were mixed with SiC particles to promote interfacial wetting between the reinforcement and matrix alloy, and particle size on the mechanical properties was investigated. By increasing the additional Mg content the hardness of SiCp/AC8A composites was increased due to the hard reaction products, but the bending strength was decreased by the excess reaction of Mg and high porosity level when the additional Mg content is over 7%. The Hardness and bending strength was increased by decreasing the size of SiC particle.

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나노패턴을 위한 CF4/C4F8/Ar 유도결합 플라즈마에서의 Si 및 SiO2 식각 메커니즘 연구 (Application of Si and SiO2 Etching Mechanisms in CF4/C4F8/Ar Inductively Coupled Plasmas for Nanoscale Patterns)

  • 이재민;권광호
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.240-240
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    • 2015
  • 본 논문에서는 플라즈마 모델링과 식각 표면 분석을 통해 가스 비율 변화에 따른 $CF_4/C_4F_8/Ar$ 유도결합 플라즈마의 특성과 Si 및 $SiO_2$의 식각 메커니즘에 대해 연구하였다.

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Si 함량에 따른 Fe-Si 압분코어의 자기적 특성 (Variation of Magnetic Properties of Fe-Si Compressed Cores with Si Content)

  • 장평우;이봉한;최광보
    • 한국자기학회지
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    • 제20권1호
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    • pp.13-17
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    • 2010
  • 연자기 특성이 우수한 것으로 잘 알려진 Fe-6.5 % Si 합금을 분말로 제작하여 성형한 Fe-6.5 % Si 압분코어에서도 좋은 특성을 얻을 수 있는 지를 확인하기 위해 Fe-3, 4.2 그리고 6.8 % Si 압분코어를 각각 제작하여 교류와 직류 자기특성, 미소경도 등을 분석하였다. 실리콘 함량이 증가할수록 와전류손실은 감소하나 이력손실은 증가하여 Fe-6.8 % Si에서 최소손실을 얻을 수 없었다. 또한 실리콘함량이 증가할수록 코어의 전기비저항과 분말입자의 미소경도는 지속적으로 증가하였으며 이 때문에 충진율은 감소하였다. B2와 $DO_3$상이 Fe-6.8 % Si 분말에서만 생성된 것을 확인할 수 있었으며, 6.8 % Si보다 낮은 실리콘 함량에서 코어손실이 더 낮은 것을 절연체와 분말입자의 비저항 비율, 미소경도변화에 따른 충진율 저하와 반자장 효과 등으로 설명할 수 있었다.

썬글라스용 반미러(Half-Mirror) 코팅의 분석과 설계 (Analysis and Design of half-mirror coating for sunglasses)

  • 박문찬;정부영;횡보창권
    • 한국안광학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.111-117
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    • 2003
  • 국내외 썬글라스 반미러 코팅렌즈의 광학적 특성을 파악하기 위해, 분광광도계를 이용하여 반미러 코팅렌즈의 반사율을 측정하였으며, Macleod 프로그램을 이용해 계산한 결과와 비교 분석하였다. 또한 황금 색깔이 나는 TiN을 이용한 반미러 코팅렌즈를 설계하였고, 광학특성을 조사하였다. 반미러 코팅렌즈의 분석결과, 은색 투톤(two tone) 반미러 코팅은 금속 크롬(Cr)을 사용하였으며 경도를 증가시키기 위하여 크롬위에 $SiO_2$(또는 $Al_2O_3$)를 증착하여 사용하였다. 크롬 위에 증착되는 $SiO_2$의 두께는 10nm 정도가 적정한 것으로 판단된다. 칼라 반미러 코팅의 경우 디자인 결과는 각각 다음과 같다 ; blue 계열은 [air|$SiO_2$(66.3)|$TiO_2$(129.0)|$SiO_2$(62.9)|$SiO_2$(26.0)|$TiO_2$(120.3)|$SiO_2$(9.1)|glass]이며, gold 계열은 [air|$SiO_2$(60.6)|$TiO_2$(86.2)|$SiO_2$(13.5)|$TiO_2$(86.8)|$SiO_2$(214.38)|glass]이며, green 계열은 [air|$SiO_2$(74.3)|$TiO_2$(75.8)|$SiO_2$(44.3)|$TiO_2$(11.6)|$SiO_2$(160.8)|$TiO_2$(12.9)|$SiO_2$(183.3)|$TiO_2$(143.8)|glass]이며, silver 계열은 [air|$SiO_2$(21.2)|$TiO_2$(49.7)|$SiO_2$(149.3)|glass]이다. white 반미러 코팅인 경우는 [air|$SiO_2$(17nm)|$TiO_2$(43nm)(또는 $ZrO_2$)|$SiO_2$(87nm) polysiloxane($4.46{\mu}m$)|glass or CR-39]이며, 가시광선 영역(400~700 nm)에서 평균 19%의 반사율을 가지며 흡수가 적기 때문에 약 80%의 투과율을 보이는 white 타입의 반미러가 되게 된다. 황금빛 색깔을 띠는 반미러 코팅렌즈의 설계에 있어서 [air|$SiO_2$(170nm)|TiN(15nm)|glass]가 되면 CIE 좌표값은 거의 [air|Au(150nm)|glass]의 좌표값과 유사해지는 것을 볼 수 있었다.

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LED용 Sr3MgSi2O8:Eu청색 형광체의 발광특성 (Luminescence Characteristics of Sr3MgSi2O8:Eu Blue Phosphor for Light Emitting Diodes)

  • 최경재;박정규;김경남;김창해;김호건
    • 한국세라믹학회지
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    • 제41권8호
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    • pp.573-577
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    • 2004
  • Eu$^{2+}$를 활성제로 Sr$_3$MgSi$_2$ $O_{8}$ 청색 형광체를 합성하고, Sr$_3$MgSi$_2$ $O_{8}$:Eu 청색 형광체를 InGaN의 UV chip에 도포하여 청색 LED Lamp를 제조하였다. 제조된 청색 LED Lamp는 405nm와 460nm에서 두 개의 파장을 나타내고 있다. 405nm의 파장은 InGaN의 활성영역으로부터의 radiative recombination 때문에 나타나는 피크이다. 여기에서 나오는 405nm의 발광은 본 Sr$_3$MgSi$_2$ $O_{8}$:Eu 청색 형광체의 여기원으로 사용된다 460nm에서의 발광 밴드는 Sr$_3$MgSi$_2$ $O_{8}$ 모체내에서 Eu$^{2+}$ 이온의 radiative recombination에 의한 것이다. 발광효율이 좋은 Sr$_3$MgSi$_2$ $O_{8}$:Eu 청색 형광체를 이용하여 UV 청색 LED Lmp를 제조한 결과, 에폭시와 청색 형광체의 무게 비율이 1$.$0.202에서 가장 좋은 광도값을 얻을 수 있었다. 이때 색좌표는 CIE x=0.1417, CIE y=0.0683이었다.

졸-겔법에 의한 지르콘$(ZrSiO_4)$ 분말 합성 -재분쇄(Milling)에 대한 효과- (Synthesis of $(ZrSiO_4)$ Powders by the Sol-Gel Process -Effect of the Milling-)

  • 신용철;신대용;한상목;남인탁
    • 한국세라믹학회지
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    • 제32권7호
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    • pp.853-857
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    • 1995
  • ZrSiO4 powders were prepared from partially hydrolyzed solution of Si(OC2H5)4 and ZrOCl2.8H2O solution by the sol-gel method and formation rate of ZrSiO4 on the reaction parameter was investigated. In order to prepare homogeneous ZrSiO4 precursor gels, the H2O/Si(OC2H5)4 molar ratio of about 2, the pH of the ZrOCl2.8H2O solution fo about 4 and stirring time of the mixed solutions of about 2 hrs were appropriate. Formation of temperature of ZrSiO4 reduced about 15$0^{\circ}C$ by milling and formation of ZrSiO4 at 1300~135$0^{\circ}C$ showed an accelerative increase through the hedvall effect by silica.

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AA2024/$SiC_P$ 복합재료의 열간 가공성에 미치는 강화상 크기의 영향 (Effect of SiC Particle Size on Hot Workability of AA2024/$SiC_P$ Composites)

  • 고병철;홍흥기;유연철
    • 한국소성가공학회:학술대회논문집
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    • 한국소성가공학회 1997년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.81-84
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    • 1997
  • The hot deformation behavior of SiCp/AA2024 composites reinforced with different sizes of SiCp reinforcements (1, 8, 15, 36, and 44${\mu}{\textrm}{m}$) was investigated by hot torsion tests. The hot restoration of the composites depending on the SiCp reinforcements particle size was studied from the effective stress - strain curves. Dynamic recrystallization (DRX) was occurred in the SiCp/AA2024 composites during the hot deformation at 320 - 43$0^{\circ}C$ under a strain rate of 1.0/sec. Also, the critical strain for DRX decreased with decreasing the reinforcement size of SiCp from 44 to 8${\mu}{\textrm}{m}$. The composite reinforced with SiCp of 8${\mu}{\textrm}{m}$ showed the highest flow stress (265 MPa) and the work hardening rate at 32$0^{\circ}C$ under a strain rate of 1.0/sec.

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아공정 Al-Si합금 조직에 미치는 Sc의 효과 (The Effects of Sc on the Microstructure of Hypoeutectic Al-Si Alloys)

  • 김명한;이종태
    • 한국주조공학회지
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    • 제24권3호
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    • pp.145-152
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    • 2004
  • The eutectic Si in Al-8.5wt.%Si alloy was changed from large flake to fine lemellar(or fibrous) shape when the Sc amount in the Al-Si alloy reaches 0.2wt.%. The optimum amount of Sc for the best modification effect was 0.8wt.% and slight decrease of modification effect occurred over this value. The study on the distribution of the modifiers(Sr, Na, and Sc) and the measurement of the surface tension of the Al-8.5wt.%Si alloy melt added with Sr, Na, and Sc modifier, respectively, reveals that Sc modifies the eutectic Si by the decrease of surface tension, while Sr and Na modify the eutectic Si mainly by impurity induced twinning mechanism.