• Title/Summary/Keyword: SAW, amorphous multilayer

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Magnetic Properties of $({Fe_{0.6}}{Co_{0.4}})_{89}$${Zr_{11}$/$({Fe_{1-x}}{Co_x})$$Zr_{11}$(x=0, 0.6, 0.9)Amorphous Multilayers ($({Fe_{0.6}}{Co_{0.4}})_{89}$${Zr_{11}$/$({Fe_{1-x}}{Co_x})$$Zr_{11}$(x=0, 0.6, 0.9)비정질 다층박막의 자기특성)

  • Kim, Sang-Won
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.10 no.10
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    • pp.709-714
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    • 2000

  • SAW 소자에 응용 가능한 자성박막재의 개발을 목적으로 RF 스퍼터링법으로 증착한 (Fe(sub)0.6Co(sub)0.4)(sub)89Zr(sub)11/Fe(sub)1-xCo(sub)x)Zr(sub)11(x=0, 0.6, 0.9)<원문잠조> 비정질 다층박막의 자기특성을 조사하였다. 수직자기장중열처리를 행하였을 때 상온에서 비자성 Fe(sub)89Zr(sub)11 층의 삽입에서만 다층박막화의 효과가 나타났다. 일 예로 (Fe(sub)0.6Co(sub)0.4)(sub)89Zr(sub)11(30${\AA}$)/Fe(sub)89-Zr(sub)11(40${\AA}$)<원문참조> 박막시편에 1kHz, 50 mOe의 여기자기장으로 평가된 최대 미분투자율${\mu}$(sub)d.max는 단층막의 750에서 1650으로 2배 이상 증가, 구동 바이어스자기장 Hw는 20 Oe에서 6Oe로 3배 이하로 감소하는 양호한 특성이 얻어졌다. 그러나 다른 중용 특성인 자왜는 34% 정도 감소하는 것으로 추정되었다.

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