• Pediatric Infection and Vaccine
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• 제17권1호
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• pp.30-35
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• 2010

목 적 : 소아 요로 감염은 가장 흔한 세균성 질환의 하나로, 특히 요로계의 해부학적 기형이 동반되면 재발하기 쉽고, 치료가 되지 않을 경우 고혈압, 신부전, 말기 신질환 등을 초래할 수 있다. 따라서 조기 진단과 적절한 치료 및 반복 감염의 예방이 중요한데, 이를 위해서는 정확한 원인 균주의 파악이 선행되어야 한다. 이에 저자들은 지역사회를 기반으로 하는 2차 병원에서 진단되는 소아요로감염의 원인균 및 항생제 감수성을 조사하여 적절한 항생제 선택에 도움이 되고자 본 연구를 시행하였다. 방 법: 2005년 1월 1일부터 2008년 12월 31일까지 관동대 명지병원 소아과에 입원하여 농뇨(WBC>5/HPF)와 요배양검사 상 $1.0{\times}10^5CFU/mL$ 이상의 배양검사결과를 보인 환아를 대상으로 소변 검사, 소변 배양 검사소견, 항생제 감수성 결과, 방사선 소견 등의 검사 결과를 의무 기록을 통해 후향적으로 조사하였다. 결 과:국내 3차 기관 등에서의 보고와는 다르게 대부분의 요로감염은 E. coli에 의한 것이었으며 ESBL 생성균주 또한 낮게 나타났다. 1) 전체 환아 62명의 평균 연령은 20개월이었으며, 1세 미만에서 호발(50명, 78.1%)하였다. 전체 환아 62명의 남녀 비는 1.6:1이었고, 1세 미만에서는 2.6:1, 1세 이상에서는 1:3.7이었다. 2) 전체 62명의 소변 배양 검사에서 분리된 균주는 E.coli가 가장 많았고(53명, 82.8%), K. pneumoniae (5명, 8.1%), Enterobacter (4명, 6.5%) Enterococcus, $\beta$-streptococcus, diphtheroides 각각 (1명, 1.6%)순이었다. 3) E. coli의 항생제에 대한 감수성은 ampicillin 30.2%, cefotaxime 98.1%, gentamicin 94.9%, amikacin100%, levofloxacin 98.1%, trimethoprim/sulfame-thoxazole 73.6%의 결과를 보였으며, 이 중 ESBL 생성균주는 1주가 검출되었다. 최근 3차 병원에서 실시한 감수성 결과와 차이를 보이는 것으로 의료기관에 따라 항생제 내성율의 차이가 있음을 시사하는 결과로 생각되며, 이는 일차 항생제 선택에 있어 지역별, 병원별 차이를 시사하는 것으로 생각할 수 있다. 결 론 : 향후 요로 감염 원인균 및 항생제 감수성에 대한 기관별, 지역별 지속적인 조사가 필요할 것으로 사료되며, 이에 기반한 적절한 항생제 사용이 요구된다.

• 대한치과기공학회지
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• 제21권1호
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• pp.27-41
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• 1999

치과용 Ag기 합금에서 30wt%Pd 및 10wt%Cu의 용질농도의 구성비가 3이 되는 3원 합금과 여기에 2wt% Au의 첨가에 미치는 석출상의 영향을 조사 분석하여 아래와 같은 결론을 얻었다. Ag-Pd-Cu 3원 합금은 $\alpha$ 단일상에서 Ag-rich ${\alpha}_2 $ 및 PdCu 규칙상에 의해서 경화반응이 진행되며 연속승온시효곡선에 의하면 100-$300^{\circ}C$의 저항증가와 300-$500^{\circ}C$의 저항감소라고 하는 2단계 변화에 의해서 경화곡선이 얻어졌다. 또한 본 합금의 시효과정에서는 ${\alpha}{\to}{\alpha}_2+PdCu{\to}$의 2상 분리반응에 의하여 경화원인이 되었다. 석출과정은 ${\alpha}{\to}{\alpha}_1+PdCu{\to}{\alpha}_2+PdCu$ 이고 Cu-rich인 ${\alpha}_2$상은 거의 나타나지 않으며 최고 경도값은 ${\alpha}_2$ 및 PdCu의 2상공존 구역에서 나타났다. 미량의 Au첨가에 의해서 경화는 다소 증가하지만 경화성보다는 내식성에 보다 크게 기여하였고 Pd/Cu=3인 합금은 Pd/Cu=1 또는 1.7의 합금보다도 전반적으로 경도값은 가장 낮게 나타나며 이것은 치과용 Ag기 합금의 시효경화성에는 Cu농도가 크게 기여하였다. 불연속석출물인 nodule 생성물은 입계에 우선 형성되어 $\alpha$ matrix로 진행되어 nodule 석출물은 부드러운 경계면을 가지고 $\alpha$ matrix주위에 strain matrix를 나타내므로 nodule 형성이 본 합금의 시효경화를 야기하였다. 내식성은 Pd 함량이 가장 높은 본 합금에서 매우 양호하게 나타났으며 Pd 함량이 증가가 내식성의 향상에 크게 기여하여 미량의 Au 첨가에 의해서 보다 현저히 효과를 얻었다. 본 합금의 시효열처리 조건은 $450^{\circ}C$ 적절하며 1-120min 시효시간에 걸쳐서 소정의 경도 값을 얻을 수 있고 시효경화성 및 내식성의 결과로부터 Ag-30wt%Pd-10wt%Cu합금 및 미량 Au 합금은 치과용 금속재료로 적합하였다.

• 대한핵의학회지
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• 제37권2호
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• pp.83-93
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• 2003

배경 및 목적: $^{201}Tl$ 심근 관류 SPECT에서, 폐-심장 섭취비(lung-to-heart uptake ratio; LHR)의 정량적 측정은 관동맥 질환자의 예후를 평가할 수 있는 지표이다. 그러나 최근$^{99m}Tc-sestamibi$ (MIBI)를 이용한 심근 관류 SPECT가 많이 이용되고 있으나 MIBI의 폐섭취가 관동맥 질환자에 $^{201}Tl$ LHR와 같은 의미를 가지는 지는 의문이 있어왔다. 본 연구는 MIBI 주사후 1시간에 촬영한 전면상을 이용하여 LHR을 구하여 좌심실 구혈률, 관류 결손 정도와의 상관 관계를 알아보고자 하였다. 대상 및 방법: Bruce법으로 운동 부하를 실시한 241명(남성 130명, 평균 연령 55세)을 대상으로 하였다. 부하검사와 휴식기 검사를 같은 날에 실시하는 프로토콜(1일 영상법)은 152명, 다른 날에 실시하는 프로토콜(2일 영상법)은 89명에서 시행하였다. 운동 부하 SPECT는 MIBI를 주사한 후 1시간에 이중헤드 감마 카메라를 이용하여 얻었다. 폐와 심장의 MIBI 섭취 정도는 20초간 얻은 전면상에서 폐와 심장에 관심영역을 설정하여 구하고, 이를 이용하여 섭취비를 계산하였다. AutoQUANT 소프트 웨어를 이용한 자동화 방법으로 운동부하시 좌심실 구혈률(LVEF)을 구하였고 운동부하시 관류 결손 정도(Summed Stress Score, SSS)를 구하였다. LVEF에 따라 3군(35%이하, 36-50%, 50%초과), SSS에 따라 4군(4미만, 4-8, 9-13, 13초과)으로 나누었다. 증가된 LHR의 정의는 관류 결손이 없는 남, 여 각 군에서 구한 LHR의 평균값에 표준편차의 2배값을 더한 값을 초과하는 것으로 판단하였고 각 군에서 증가된 LHR을 보인 환자의 분포를 구하여 비교하였다. 결과: 정상 관류 소견을 보였던 130명의 분석에서, 여성에 비해 남성에서 LHR이 유의하게 높았고 정상 관류 소견을 보였던 130명의 남성과 여성 모두에서, 1일 영상법와 2일 영상법을 실시한 군 사이의 LHR은 의미 있는 차이가 관찰되지 않았다. 정상 관류 소견을 보인 군과 관류 결손을 보인 군 사이의 비교에서는 관류 결손이 있는 남성과 여성에서 관류 결손이 없는 남성과 여성에 비해 LHR이 유의하게 높았다. 관류 결손이 있는 111명의 분석에서는 LHR과 EF는 역상관 관계, LHR과 SSS 사이에는 양의 상관 관계가 관찰되었고, 남성에서는 통계학적 의의가 있었으나 여성에서는 통계학적 의의는 없었다. EF군에 따른 분석에서는 좌심실 구혈률이 낮을수록 LHR이 높았고, SSS군에 따른 분석에서 관류 결손이 높은 군에서 유의하게 LHR가 높았다. 결론: 일상적인 운동부하 심근 관류 SPECT상 관류 결손이 있는 환자에서 폐심장 섭취비는 좌심실 구혈률과 심근 부하시 관류 결손 정도가 클수록 증가된 폐-심장 섭취비를 보인 환자가 많았으며, 좌심실 구혈률이 낮을수록 그리고 관류 결손의 정도가 클수록 폐-심장 섭취비가 증가하였다 이런 결과로 보아 주사후 1시간 $^{99m}Tc-MIBI$의 LHR은 좌심실 부전과 큰 관류 결손을 나타내는 간접적인 지표로 생각되어 진다. 그러나 관류 결손의 정도나 좌심실 구혈률 감소 정도가 미약한 군에서는 폐-심장 섭취비가 정상군과 비슷하여, 저위험군의 감별에는 제하점이 있다.

• 한국식품과학회지
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• 제42권3호
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• pp.298-303
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• 2010

대표적인 잡곡 중에 하나인 조의 이용성 제고를 위하여 누룩 및 조 첨가량을 달리하여 제조한 발효주의 이화학적 특성을 검토한 결과 알코올 함량은 처리구간에 유의적인 차이를 보이지 않았다. 당도는 조 첨가량이 증가함에 따라 감소하는 경향을 보였다. 발효주 특유의 단맛을 위해 30% 정도의 조를 첨가하는 것이 양호할 것으로 여겨졌다. pH는 조 첨가량이 증가함에 따라 SH 업체 누룩을 이용한 발효주는 약간 감소하는 경향을 보였고 BS 업체 누룩은 증가하는 것으로 나타났으며, 산도는 pH와 반대의 경향을 보였다. 탁도는 조 첨가량이 증가함에 따라 감소하는 경향을 보여 맑아지는 것을 확인할 수 있었다. 조 첨가량에 따라 L 및 b-value는 감소하는 경향을 보였으며, a-value는 증가하는 경향을 보였고 색차(${\Delta}Eab$)는 증가하는 것으로 나타났다. 발효주의 유기산은 oxalic acid, lactic acid 및 acetic acid가 주를 이루었고 유리당은 glucose만이 검출되었고 조 첨가량이 증가함에 따라 대체적으로 감소하는 경향을 보였다. 관능검사결과 조를 첨가할 경우 선호도가 감소하는 것으로 나타났으나, BS업체 누룩을 이용하여 조를 70% 첨가한 발효주가 가장 양호한 관능적 특성을 보였다.

• Journal of Preventive Medicine and Public Health
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• 제22권2호
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• pp.290-301
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• 1989

This is preliminary report on anthrax epidemic occurred in an island with about 100 residents. Since 1982 there had been sudden deaths among all kinds of domestic animals including cattle, dogs, ducks, chicken and goat but only a few among cats in an isolated island about three hours distance away by ferry boat from Mokpo city. From 1986 through 1988 nine human deaths and four patients occurred, which made the government intervene for investigation on June 25 1988. The epidemiological investigation consisted of interview survey and medical examination, medical record analysis, laboratory work to isolate the pathogens under the direction of hypothesis derived from the study and further confirmation of the pathogens by international institute. The summarized results are as followings: 1. According to the interview survey there were many deaths among domestic animals usually in cold and dry season such as January through March and September through November; 36 heads of cattle leaving one head, more than 40 hogs(all), hundreds of chicken leaving few alive, goats that had taken home from mountain and two or three cats out of around 40 had sudden deaths from 1982 till 1985, when the residents stopped to purchase and take them into the island anymore. Also there were eleven persons who had experienced the similar syndrome complex to those of admitted and expired patients and four of them revealed typical chest X-ray findings; from one of these four patients(Rho) B. anthracis is isolated. 2. Medical record on patients who had been admitted, showed common characteristics of the disease course. On admission they had either gastrointestinal or upper respiratory infection symptoms which invariably progressed to septicemic nature with pulmonary interstitial infiltration and mediastinal widening/bulging, and then to deadly acute respiratory distress syndrome. At the end stage chest X-ray revealed multiple bullous emphysema. One of another characteristics was oral ulceration with bleeding occurred in about 50% of the patients. Laboratory test results in common were leukocytosis with left shift and abnormal liver and kidney functions, particularly at the later stage of the illness. 3. Epidemiological characteristics was striking in that both mortality and incidence rates were high: the mortality rate was 8.7% average, male being three times higher than females but there was no distictive clustering by age group. The incidence rate for both sexes was 28.2% and there was no sex difference although a tendency of higher incidence among older ages was noticed. The highest mortality and incidence were observed in Won village where the first death of animal occurred and with the highest frequency among three villages of the island. 4. Among twelve bacilli species isolated from various specimens, two strains, one from patient and the other from soil where the recently died cow is hurried, were confirmed as B. anthracis by Pasteur Institute and CDC of USA(strain from soil). CDC reported that the strain did not produce capsule in bicarbonate media but reacted with the bacteriophage and one of five sera taken from the patients. Mode of transmission as well as incubation period of the agent has not been established yet, which needs further investigation in relation to the antigenic structure of the variant when it is confirmed.

• 한국건설관리학회:학술대회논문집
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• 한국건설관리학회 2003년도 학술대회지
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• pp.180-185
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• 2003

도로를 통과하는 차량 통행량의 증가는 장기적으로 교량에 구조적인 손상을 유발시키기 때문에 교량의 유지관리 측면에서 심각한 문제로 대두되고 있으며 준공 단계부터 구조물의 유지관리에 대하여 관심을 기울이지 않으면 공용기간 중 만족할 만한 기능의 유지 및 확보는 불가능하다. 또한, 공황 중에 균열이나 변형 등과 같은 열화손상을 조기에 발견하여 기능상의 장애나 사고를 미연에 방지하기 위해서는 정기적인 점검을 통하여 유지관리를 실시해야 하나 이에 관한 관심도가 상대적으로 낮아 구조물 유지관리에 대한 새로운 인식의 전환과 이와 관련된 기술개발이 절실히 요구되고 있다. 본 연구는 현재 굴절차 또는 점검차에 점검 인력이 직접 탑승하여 실시하는 육안조사를 대체하기 위하여 작은 카메라가 부착된 로봇(Machine Vision System)이 장착된 Linear Motion Control of System을 교량 하부에 설치하고 작업자는 교량 상부에서 외관조사를 수행함으로써 점검자에 따라 주관적으로 점검결과가 도출되는 문제를 근본적으로 해결하고 점검시 안전성을 대폭 개선하며 화상에 검측된 열화 손상 자료를 이미지 프로세싱 기법을 이용하여 객관적이고 정량적인 자료로 저장 및 제공함으로써 교량 유기관리시스템을 위한 데이터베이스를 구축하는데 기여할 수 있는 교량 하부 외관조사 자동화 시스템을 개발하는 데에 그 목적을 두고 있으며 본 시스템을 통하여 교량의 보수 보강 시기를 보다 객관적으로 산정할 수 있어서 현재 매년 기하급수적으로 늘어나는 교량의 보수 보강 비용을 상당히 절감할 수 있을 것으로 기대된다.저장기간을 계산하면, 아세설팜칼륨의 혼용 비율이 높아질수록 저장기간이 길어져서, $50\%$로 혼용하였을 때 가장 긴 저장기간이 산정되어 $20^{\circ}C$에서는 178일, $30^{\circ}C$에서는 88일이 예측되었다. 아스파탐과 아세설팜칼륨의 혼용비율을 5:5, 7:3, 9:1로 달리하여 구연산 완충액 상에 녹인 후, 20, 40, $60^{\circ}C$에서 저장하였다 크기 추정법을 이용하여 단맛을 측정한 결과 20일간의 저장 기간 동안 $20^{\circ}C$와 $40^{\circ}C$에서는 단맛이 유지되는 것으로 나타났다.산도 $0.4\~0.8\%^{(10)}$에서도 식품 유해가능성을 가진 균이 상당수 검출되므로 원료의 수송, 김치의 제조 및 유통과정에서 병원균에 대한 오염방지에 유의하여야 할 것이다. 확인할 수 있었다. 이상의 결과에 의하면 고농도의 유기물이 함유된 음식물쓰레기는 Hybrid Anaerobic Reactor (HAR)를 이용하여 HRT 30일 정도에서 충분히 직접 혐기성처리가 가능하며, 이때 발생된 $CH_{4}$를 회수하여 이용하면 대체에너지원으로 활용 가치가 높은 것으로 판단된다./207), $99.2\%$(238/240), $98.5\%$(133/135) 및 $100\%$ (313)였다. 각각 두 개의 요골동맥과 우내흉동맥에서 부분협착이나

• 한국균학회지
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• 제16권4호
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• pp.220-225
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• 1988

참깨 윤작체계(輪作體系)의 효과(?果)를 구명(究明)하기 위해 참깨 연작(連作), 참깨 육도(陸稻) 및 참깨 땅콩의 윤작재배(輪作栽培)에서 참깨시들음병(病)의 나병주률(羅病株率)과 수량(收量) 그리고 F. oxysporum과 Actinomycetes 밀도(密度)의 경시적(經時的) 변화(變化) 및 재배토양(栽培土壤)에서 분리(分離)한 Fusarium spp에 대(對)한 병원성(病原性) 검정(檢定) 결과(結果)를 요약(要約)하면 다음과 같다. 1. F. oxysporum의 밀도(密度)는 참깨 연작재배토양(連作栽培土壤) 및 6월(月) 30일(日) 조사(調査)에서 가장 높게 검출(檢出)되었고 Actinomycetes는 참깨 연작재배토양(連作栽培土壤)에서 그 밀도(密度)가 가장 낮았으며 7월(月) 30일(日) 조사(調査)에서 가장 높게 검출(檢出)되었다. 한편 F. oxysporum과 Actinomycetes 밀도간(密度間)에는 상관(相關)은 없었다. 2. 재배토양(栽培土壤)에서 분리(分離)한 F. oxysporum 8균주중(菌株中) 1균주(菌株)만 제외하고 참깨 땅콩 및 녹두에 병원성(病原性)이 인정되었고 F. solani는 4균주중(菌株中) 참깨에서는 1균주(菌株), 땅콩에서는 2균주(菌株) 그리고 녹두에서는 모든 균주(菌株)가 병원성(病原性)을 나타내었다. 3. 참깨 연작년수(連作年數)가 많을수록 토양중(土壤中)의 F. oxysporum 밀도(密度)와 시들음병(病)의 나병주(羅病株)가 증가(增加)되어 수량(收量)도 현저히 감소(減少)되었다. 한편 토양중(土壤中)의 F. oxysporum 밀도(密度)와 나병주율간(羅病株率間)에는 정상관(正相關)이 있었고 수량지수간(收量指數間)에는 고도(高度)의 부상관(負相關)이 있었다. 4. 참깨-육도 및 참깨-땅콩의 윤작체계는 별차이가 없었다.용했고, 조명은 전기 혹은 밧데리를 사용했으며 상수도시설은 실내형(室內型)일 경우만 갖추고 있었고 이동형(移動型)은 급수 및 배수가 어려워 위생상태(衛生狀態)가 염려되었다. 위생상태(衛生狀態)는 부합리적(不合理的)인 플라스틱제품의 식기(食器)의 사용, 급수·배수의 어려움, 비위생적(非衛生的)인 세척방법, 재료(材料)의 비위생적(非衛生的) 보관방법, 먹다남은 음식의 재사용 등 포장마차(布張馬車)의 위생실태(衛生實態)는 개선(改善)되어야 할 점이 많이 나타났다. 포장마차(布張馬車)를 주로 찾는 고객(顧客)은 $20{\sim}40$대(代)의 남자(男子)로 직장인(職場人)과 대학생(大學生)이 많았으며 위치에 따라 이용하는 고객(顧客)의 부류가 조금씩 달랐으며 포장마차(布張馬車)를 찾는 동기(動機)는 부담없고 자유(自由)스러운 분위기 때문에 찾는 경우가 많았다., 무작위 표본추출 대조군 실험은 생물의학이 아닌 의료의 효과를 검증하는데 알맞지 않고 비윤리적이라고 강한 비판을 받았다. 한편 1995년에 WHO는 침의 유효성 평가를 위해 이 실험기법을 추천하며, 이어 2001년에, the International Council of Medical Acupuncture and Related Techniques(ICMART)는 침연구와 시술을 위한 헌장(Acupuncture Charter Berlin an Evidence Based Medicine (EBM)3 for acupuncture)을 채택 공표한다. 독일 보험 회사들도 침의 효과와 효율성을 검증하기 위해 대규모 실험을 시작했다. 100,000 명이 넘는 환자들이 무작위 표본추출 대조군 실험을 통해 평가되고 있는데 이 실험은 병원이나 일차의료기관의 외래에서 진행되고 있다. 영국에서는 이 분야의 유력한 Edzard Ernst가 위의

• 한국의학물리학회지:의학물리
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• 제11권1호
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• pp.59-71
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• 2000

CT검사시 선량이 각 장기에 미치는 영향을 관찰 하고자 하였으며, 선정한 3부위(뇌, 흉부, 복부) 스캔에서 주 선속 및 주 선속외에 미치는 흡수선량을 측정 제시하고, 자궁에 영향을 주는 부위 스캔을 명확히 알고자 하였다. CT기계(Somatom plus 4, Siemens co, Germany)를 이용하였으며 인체에 조직등가 물질이 비슷한 Alderson Rando phantom (Alderson Reserch Laboratories, USA)과 Harshaw chemical 사에서 제작된 열형광선량계 Thermoluminescent dosimeter (TLD)-100 과 Reader와 Oven을 이용하였다. TLD 교정시에, 6MV 선형가속기와 $30{\times}30{\times}1.5$cm의 정사각형 고체 물팬텀을 사용하였다. TLD를 팬텀의 목적장기에 삽입시키기 위하여, 여성환자 (20세~40세) 40명의 영상을 이용하였으며, 위치 측정부위는 간, 위장, 비장, 신장, 대장, 방광, 자궁을 대상으로 하였다. Brain에서의 흡수선량 분포도에서 8 : 8(피치1) 에서는 비장까지 흡수선량이 측정되었으며 10 : 10 에서는 유방까지 흡수선량이 측정되었다. 흥부(Chest)에서의 흡수선량 분포도에서 8 : 8(피치1)에서의 주 선속 흡수선량이 높았다. Abdomen의 흡수선량 분포도에서 8 : 8 과 8 : 10의 스캔을 했을 때 주 선속 부위에서는 테이블 이동이 느린 8mm에서 흡수선량이 높게 나타났다. 뇌 CT의8 : 8과 10 : 10에서 자궁에 미치는 선량은 모두 없었으며, 몸 전체에 미치는 유효선량은 10 : 10 약간 높게 나타났다. Brain CT 에서 임산부나 임신가능 여성에게는 본 논문에서 확인된 방법으로 절편 두께를 8mm-10mm범위로 적용하는 것이 바람직 하고, Chest scan에서 8 : 10(피치 1.2)방법을 선택하는 것이 좋으며, 임산부나 임신 가능 환자에게는 10 : 15(피치 1.5)를 사용하는 것이 좋은 것으로 사료된다. Abdomen scan에서 유효선량이 10.707 mSv, MSAD가 7.2인 8 : 10을 택하는 것이 주 선속에 미치는 영향뿐만 아니라 생식선 장기인 Uterus에 미치는 영향이 비교적 적게 나타나, 다른 기법보다 다소 환자에게 적게 영향을 주며 검사 할 수 있다고 사료된다.

• 한국재료학회지
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• 제15권3호
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• pp.161-165
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• 2005

We investigated selective dry etching of GaAs over AlGaAs and InGaP in high density planar inductively coupled $BCl_3/SF_6$ plasmas. The process parameters were ICP source power (0-500 W), RE chuck power (0-30W) and gas composition $(60-100\%\;BCl_3\;in\;BCl_3/SF_6)$. The process results were characterized in terms of etch rate, selectivities of GaAs over AlGaAs and InGaP, surface morphology, surface roughness and residues after etching. $BCl_3/SF_6$ selective etching of GaAs showed quite good results in this study. Selectivities of GaAs $(GaAs:AlGaAs\~36:1,\;GaAs:InGaP\~45:1)$ were superior at $18BCl_3/2SF_6$, 20 W RF chuck power, 300 W ICP source power and 7.5 mTorr. Addition of $(5-15\%)SF_6\;to\;BCl_3$ produced relatively high selectivities of GaAs over AlGaAs and InGaP during etching due to decrease of etch rates of AlGaAs and InGaP (boiling points of etch products: $AlF_3\~1300^{\circ}C,\;InF_3>1200^{\circ}C$ at atmosphere) at the condition. SEM and AFM data showed slightly sloped sidewall and somewhat rough surface$(RMS\~9nm)$. XPS study on the surface of processed GaAs proved a very clean surface after dry etching. It shows that planar inductively coupled $BCl_3/SF_6$ plasmas could be a good candidate for selective dry etching of GaAs over AlGaAs and InGaP.

• 멤브레인
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• 제24권3호
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• pp.213-222
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• 2014

자동차 연료용 바이오가스의 고순도 메탄 분리정제를 위해 2단 재순환 분리막 공정을 연구하였다. 2단 재순환 분리막 공정을 개발하기 위해 폴리설폰(Polysulfone) 중공사 모듈을 채택하여 이산화탄소, 메탄의 순수투과도를 측정하였다. 또한 모델 혼합가스를 대상으로 모듈의 메탄농도와 압력에 대해 투과실험을 수행하여 메탄의 농도와 회수율에 대한 연구를 수행하였다. 그 결과를 토대로 2단 재순환 분리막 파일럿 플랜트를 제작하였으며 현장에서 발생되는 바이오가스를 대상으로 공정변수에 대한 메탄 회수율과 농도에 관한 투과실험을 수행하였다. 제습기와 탈황설비 등의 전처리설비를 거쳐 가스 내의 수분을 500 ppm 이하, 바이오가스내의 황화수소 농도를 20 ppm 이하로 제거하였으며 그 정제된 혼합가스를 대상으로 파일럿 분리막 공정의 막면적비에 따른 운전결과를 알아보기 위하여 1, 2단의 막면적비가 각각 1:1, 1:3, 2:2가 되도록 구성하여 실험을 진행한 결과, 1단의 막면적은 $1m^2$로 동일하고 2단의 면적비가 $1m^2$에서 $3m^2$로 증가하였을 경우 최종 공급유량은 6.6 L/min에서 80.7 L/min로 그리고 메탄 회수율은 메탄순도 95%에서 47.1%에서 92.5%로 증가하였다. 또한, 막 면적비가 1:1로 동일한 경우 전체 면적이 2배로 증가함에 따라서 유량은 6.6 L/min에서 100.8 L/min로 회수율은 47.1에서 88.3%를 나타내었다. 1:3 면적비에서 공급유량이 증가하는 경우, 최종 메탄 순도는 감소하고 메탄 회수율은 증가하는 것을 알 수 있었다. 운전압력이 증가할수록 공급유량은 증가하고 회수율은 다소 감소하는 것으로 나타났다. 실험을 통해 유효막면적, 공급압력과 공급유량의 변화가 공정 성능향상에 중요한 영향을 미친다는 것을 확인하였다.