The Effect of Various Process Conditions on the Physical Properties of Dense Silver Films, Prepared by Using Sputter Deposition on Polyester Substrate (Polyester 상에서 Sputter 증착되는 고 밀도 은경 박막의 물리적 특성에 미치는 공정조건 변화의 효과)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.9 no.7
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- pp.707-714
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- 1999