반응성 스퍼터링 시 Lithium Phosphorous Oxynitride (LiPON) 박막 고체전해질의 특성에 미치는 질소 압력의 영향 (Influence of Nitrogen Pressure on the Properties of Lithium Phosphorous Oxynitride (LiPON) Thin Film Solid Electrolyte during Reactive Sputtering)
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- 한국전기화학회:학술대회논문집
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- 한국전기화학회 2005년도 춘계총회 및 학술발표회
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- pp.21-21
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- 2005