RF magnetron sputtering 법에 의한 $RuO_2$ 박막의 제조와 물성에 관한 연구
(A Study on the Formation and Properties of $RuO_2$ Thin Films by RF magnetron Sputtering)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1994년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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- pp.27-27
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- 1994