• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.210-210
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• 2011

The effects of CH2F2 and N2 gas flow rates on the etch selectivity of silicon nitride (Si3N4) layers to extreme ultra-violet (EUV) resist and the variation of the line edge roughness (LER) of the EUV resist and Si3N4 pattern were investigated during etching of a Si3N4/EUV resist structure in dual-frequency superimposed CH2F2/N2/Ar capacitive coupled plasmas (DFS-CCP). The flow rates of CH2F2 and N2 gases played a critical role in determining the process window for ultra-high etch selectivity of Si3N4/EUV resist due to disproportionate changes in the degree of polymerization on the Si3N4 and EUV resist surfaces. Increasing the CH2F2 flow rate resulted in a smaller steady state CHxFy thickness on the Si3N4 and, in turn, enhanced the Si3N4 etch rate due to enhanced SiF4 formation, while a CHxFy layer was deposited on the EUV resist surface protecting the resist under certain N2 flow conditions. The LER values of the etched resist tended to increase at higher CH2F2 flow rates compared to the lower CH2F2 flow rates that resulted from the increased degree of polymerization.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.659-659
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• 2013

Recently, graphene has been intensively studied due to the fascinating physical, chemical and electrical properties. It shows high carrier mobility, high current density, and high thermal conductivity compare with conventional semiconductor materials even it has single atomic thickness. Especially, since graphene has fantastic electrical properties many researchers are believed that graphene will be replacing Si based technology. In order to realize it, we need to prepare the large and uniform graphene. Chemical vapor deposition (CVD) method is the most promising technique for synthesizing large and uniform graphene. Unfortunately, CVD method requires transfer process from metal catalyst. In transfer process, supporting polymer film (Such as poly (methyl methacrylate)) is widely used for protecting graphene. After transfer process, polymer layer is removed by organic solvents. However, it is impossible to remove it completely. These organic residues on graphene surface induce quality degradation of graphene since it disturbs movement of electrons. Thus, in order to get an intrinsic property of graphene completely remove of the organic residues is the most important. Here, we introduce modified wet graphene transfer method without PMMA. First of all, we grow the graphene from Cu foil using CVD method. And then, we deposited several metal films on graphene for transfer layer instead of PMMA. Finally, we fabricate graphene FET devices. Our approaches show low defect density and non-organic residues in comparison with PMMA coated graphene through Raman spectroscopy, SEM and AFM. In addition, clean graphene FET shows intrinsic electrical characteristic and high carrier mobility.

• 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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• 제20권1호
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• pp.118-125
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• 2016

현재 대형 빌딩이나 공동주택에 건설되는 지하구조물은 건조수축, 시공이음, 폼타이부 등에서 콘크리트 균열로 인한 누수가 많이 발생되고 있다. 누수가 발생하게 되면 구조물의 지하공간은 결로, 곰팡이 등이 발생되어 지하 환경을 악화시키고 구조물의 콘크리트로 흡수되면 철근의 부식 등을 유발하여 구조물의 안전을 위협한다. 이는 지하구조물의 사용과정에서 장기적인 쾌적성과 구조물에 안전성이 고려되지 않은 설계와 시공의 결과이며 누수 하자에 대하여 유도배수처리로 대응하기 때문에 근본적인 누수보수가 이루어지지 않아 지하구조물은 항시 누수를 허용하고 있는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 지하에 적용되는 방수공법을 내방수와 외방수로 분류하고 이를 바탕으로 지하구조물과 유사한 간이시험체를 제작하였으며, 결로가 많이 발생되는 동절기의 온도조건을 기준으로 지하환경의 방수공법별 습도변화량을 분석할 것이다.

• 정보보호학회논문지
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• 제17권2호
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• pp.103-114
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• 2007

기존의 이동 네트워크에서는 링크 계층에서 액세스 인증과 네트워크 계층에서 FMIPv6의 핸드오버 인증이 독립적으로 수행되어 AAA 인증 서버의 오버헤드 증가 및 잦은 핸드오버 인증 수행으로 인증 지연을 초래하는 문제점이 있었다. 본 논문에서는 이기종 FMIPv6 기반의 이동 네트워크에서 이동 노드 주도형 통합 핸드오버 인증 프로토콜을 제안한다. 제안기법은 FMIPv6 환경에서 이동 노드가 직접 핸드오버 인증키를 생성하여 인증 서버를 통해 안전하게 NAR로 전송하고, NAR에서는 AP들과 계층적 키 관리 구조를 갖는다. 이동 노드에서 생성한 인증키는 FMIPv6에서 핸드오버 할 때 PAR과 이동 노드 사이에서 FBU 메시지를 안전하게 전송할 수 있고, NAR에서 계층적 키 관리를 통해 이동 노드의 링크 액세스 인증을 수행할 수 있다. 제안 기법은 이동 노드에서 핸드오버 인증키 생성, AAA 서버 기능의 단순화로 AAA 서버의 오버헤드를 줄이고, 잦은 핸드오버 인증 수행 절차를 감소시킴으로써 핸드오버 인증 지연 시간을 감소시킨다. 또한 제안 기법은 PFS, PBS를 제공하고 DoS 공격에 안전하다.

• 청정기술
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• 제16권4호
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• pp.245-253
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• 2010

대구경 강관 표면 보호를 위해 사용되는 필라멘트 와인딩 공정에 불포화 폴리에스터 (unsaturated polyester: UP)를 이용한 자외선 (ultraviolet) 경화 방법을 적용하고자, UP를 이용한 최적의 UV 경화 조건을 찾아보았다. 기존의 유기계 과산화물을 개시제로 사용한 열경화 방법에서는 개시제의 불안정성, 휘발성 유기물 발생, 열에 약한 대상물질의 변형 등 문제점이 발생하므로 이에 대한 개선책으로 UV 경화방법을 시도하였다. UV 경화에 사용되는 다양한 개시제 중에서 비교적 침투력이 높아서 두꺼운 고분자 층 형성이 가능한 개시제 2 종(Irgacure 819 및 Darocure 1173)을 선정하여 이들의 조합비율에 따라 경화된 UP 고분자에 대한 열역학적, 기계적 물성을 비교 분석하여 우수한 경화조건 (개시제 함량 1.5 phr, 혼합 비율 1:1.2, UV 램프로는 갈륨램프)을 찾아내었다. 또한 UP 광경화수지의 경도, 충격강도, 굴곡강도 향상을 위해 유리섬유를 수지 내에 적층하여 복합재료를 제조하고 이들의 특성을 비교한 결과 충격강도가 매우 향상되었다.

• Restorative Dentistry and Endodontics
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• 제47권3호
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• pp.29.1-29.10
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• 2022

Objectives: This study aimed to investigate the anti-erosive/abrasive effect of resin infiltration of previous deproteinized dentin. Materials and Methods: Dentin slabs were randomly assigned to 3 groups (n = 15): Control (no deproteinization; no resin infiltrant applied), RI (no deproteinization; resin infiltrant applied), and DRI (deproteinization; resin infiltrant applied). After undergoing the assigned treatment, all slabs were subjected to an in vitro cycling model for 5 days. The specimens were immersed in citric acid (0.05 M, pH = 3.75; 60 seconds; 3 times/day) and brushed (150 strokes). Between the challenges, the specimens were exposed to a remineralizing solution (60 minutes). The morphological alterations were analyzed by mechanical profilometry (㎛) and scanning electron microscopy (SEM). Data were submitted to one-way analysis of variance (ANOVA) and Tukey tests (p < 0.05). Results: Control and RI groups presented mineral wear and did not significantly differ from each other (p = 0.063). DRI maintained a protective layer preserving the dentin (p < 0.001). After erosive/abrasive cycles, it was observed that in group RI, only 25% of the slabs partially evidenced the presence of the infiltrating, while, in the DRI group, 80% of the slabs presented the treated surface entirely covered by a resin-component layer protecting the dentin surface as observed in SEM images. Conclusions: The removal of the organic content allows the resin infiltrant to efficiently protect the dentin surface against erosive/abrasive lesions.

• 한국인터넷방송통신학회논문지
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• 제15권4호
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• pp.33-41
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• 2015

기계간의 통신을 지칭하는 M2M(Machine to Machine) 환경은 최근 융합 서비스의 등장과 동시에, 수많은 장치의 활용으로 인한 전반적인 보안 요구사항이 증가하고 있으며, 관련 각 표준화단체는 이러한 장치간의 보안요구사항을 충족하기 위해 각 영역별 보안기술에 대해 표준화를 진행 중에 있다. 본 논문에서는 다수의 M2M 장치들 간에 상호인증을 위한 키 관리 방법에 대해 제안한다. 본 논문에서 제안하는 방법은 M2M 디바이스와 서버 간에 상호인증을 기반으로 서비스 영역이 다른 디바이스 간에 안전한 데이터 공유를 수행한다. 제안하는 기법은 현재 M2M 표준의 보안 요구사항에 따른 안전성을 충족하고, 기존 연구에서 제안된 인증기술보다 성능이 향상된 타원곡선 알고리즘 기반 프로토콜을 사용하여 효율성을 강화하였다.

• 인터넷정보학회논문지
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• 제17권5호
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• pp.9-16
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• 2016

Pervasive computing and Internet of Things (IoT) have recently received considerable interest to deploy solutions for the future Internet. Smart environments are integrated with Semantic Web to provide context-awareness to the processed information. Self-learning techniques have been adopted within smart solutions for efficient retrieval of data but do not process data with privacy parameters for in-place authorization. To overcome this issue, we present a novel approach of deploying access control as a service mechanism within Semantic Web based smart environment by using eXtensible Access Control Markup Language (XACML). The proposed XACML as a Service (XACMLaaS) approach offers fine-grained access control for protecting information within smart environment. In this paper, we have defined mathematical rules for each components of proposed access control service layer. These rules are for implementation of access control using XACML. The proposed approach allows the adaptation of authorization of information at component level and provides scalable solution for authorization policies and rule enforcement within smart environment.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제22권11호
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• pp.961-968
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• 2009

In this work, transparent conductive oxide(TCO) films such as $In_2O_3-SnO_2$(ITO) and $In_2O_3-ZnO$(IZO) were prepared on polyethylene naphthalene(PEN) and glass substrates by using rf-magnetron sputtering system. The TCO films deposited on PEN substrate show very poor conductivity as compared to that of the TCO films deposited on glass substrates. From the results of the residual gas analysis(RGA) test, this poor stability of plastic substrate is presumed to be caused by the deteriorated adhesion between the TCO films and the plastic substrate due to outgassing from the plastic substrate during deposition of TCO films. From our experiment, it is found that the vaporization of some defects in the plastic substrates deteriorate the adhesion of the TCO films to the plastic substrate, because the most plastic substrates containing the water vapor and/or other adsorbed particles such as organic solvents. Mixing of these gases vaporized in the sputtering process will also affect the electrical property of the deposited TCO films. Inorganic thin composite $(SiO_2)_{40}(ZnO)_{60}$ film as a gas barrier layer is coated on the PEN substrate to protecting the diffusion of vapors from the substrate, so that the TCO films with an improved quality can be obtained.

• 한국추진공학회지
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• 제10권4호
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• pp.85-92
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• 2006

액체로켓엔진의 막냉각 성능 예측을 위한 설계 프로그램을 개발하였다. 저혼합비 가스층이 가지는 열차단 효과를 CFD를 적용하여 해석하였다. CFD 해석 결과에 기반한 1차원 막냉각 모델을 기존의 재생냉각 프로그램에 적용하였다. 축소형 calorimetric 연소기와 실물형 연소실의 열유속 시험 데이터비교를 통하여, 비록 과다예측 특성을 보이기는 하지만 만족할만한 결과를 얻었다. 이로서 막냉각이 로켓엔진의 노즐목의 열하중 감소에 효과적임이 확인되었다.