• 제목/요약/키워드: Process기술

검색결과 16,990건 처리시간 0.047초

반도체 공정용 급속 열처리 장치의 최근 기술 동향 (Recent Trends in Rapid Thermal Processing Technology)

  • 김영규;이해문;정태진
    • 전자통신동향분석
    • /
    • 제13권3호통권51호
    • /
    • pp.71-83
    • /
    • 1998
  • 반도체 제조용 웨이퍼의 온도를 측정하고 제어하는 기술의 진보로 열처리 장비 시장에서 점점 더 각광을 받고 있는 급속 열처리(rapid thermal process: RTP) 장치의 최근 기술 동향을 전반적으로 조사 분석하였다. RTP의 장점, 온도 제어 모델링 기술(model-based control), 최근에 개발된 여러 종류의 RTP 시스템 설계 및 이들 각각의 기술적인 문제들이 기술된다. 새롭게 개발된 단일 wafer furnace와 광자 효과를 이용한 rapid photothermal process (RPP)에 관해서도 기술하였다. 아울러 최근 열처리 장비 업체들의 현황과 열처리 장비 시장의 향후 전망에 관해서도 검토하였다.

피에조 볼트 측정 데이터에 기반한 자동차 부품 트리밍 공정에서의 금형 마모 예측 연구 (A Study on the Prediction of Die Wear Based on Piezobolt Sensor Measurement Data in the Trimming Process of an Automobile Part)

  • 권오동;문희범;강경필;이경훈;허민철
    • 소성∙가공
    • /
    • 제31권2호
    • /
    • pp.103-108
    • /
    • 2022
  • Systematic quality control based on real time data is required for modern factories. This study introduced a method of predicting punch wear in the trimming process of automobile parts. Based on monitoring data of the mass production process using a bolt-type piezo sensor, it was shown that precursor symptoms of die wear could be predicted from the change in load pattern with respect to production volume. The load pattern that changed according to the wear of the die was verified by numerical analysis.

수요 요인을 고려한 첨단재료기술의 혁신유형 분류에 관한 연구 (Innovation Patterns of Advanced Materials Technology Considering the Demand Factors)

  • 채재우;조규갑;김정흠;이용태
    • 기술혁신학회지
    • /
    • 제9권1호
    • /
    • pp.103-130
    • /
    • 2006
  • 본 논문은 첨단 재료기술의 혁신유형을 분류하는 것이다. 기존의 혁신유형 분류에 관한 연구는 전 기술 혹은 전 산업에 포괄 적용하는 개념에서 접근하고 있어 산업기술별 혁신의 고유한 특수성이 기술혁신유형에 제대로 반영되지 못하고 있다. 이에, 본 논문에서는 첨단재료기술에 한정하여 기술혁신에 대한 이해를 증진하고 연구개발 및 정책수립의 기본 틀로 활용하는데 목적을 둔 4가지의 기술혁신 유형(공급재료혁신, 수요재료혁신, 공급공정혁신 및 수요공정혁신)을 제안하였다. 혁신유형의 도출과정은 첨단재료기술혁신의 특성, 원천, 과정 분석과 함께 사용자 산업과의 상호작용 분석에 근거하고 있다. 4가지 혁신 유형별로 특징과 사례분석을 통하여 연구개발 혹은 정책수립 등의 도구로서 활용가능성과 관련 시사점을 살펴보았다.

  • PDF

지식종합화과정의 분석: 엔지니어링 사이언스 관점 (Analysis of Knowledge Combination Process: From Engineering Science Perspective)

  • 남수현
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제10권9호
    • /
    • pp.2415-2423
    • /
    • 2009
  • 본 논문은 조직원의 지식을 종합화하는 프로세스를 고찰한다. 이전의 관련 연구는 관리적, 사회적 관점에서 프로세스의 부분에 국한하거나 정성적 분석에 초점을 맞추었다. 본 연구는 프로세스를 통합적이고 계량적으로 살펴보는 엔지니어링 접근법을 제안한다. 이를 위해서 대기네트워크 이론을 도입하여 지식종합화 환경의 구성요소들 간의 상호작용을 포착하는 모델과 적용 방법론을 기술한다. 이를 통해서 지식종합화 프로세스의 성과지표를 도출할 수 있고, 이러한 지표는 지식종합화 프로세스를 개선하기 위한 계획이나 통제에 효과적으로 사용이 될 수 있을 것이다.

중질유 고부가화를 위한 SDA 개발 기술의 특허 정보 분석 (Patent Analysis of SDA Technology for Heavy Oil Upgrading)

  • 김용헌;이원수;김재호;전상구;나정걸;노남선;이기봉
    • 공업화학
    • /
    • 제21권4호
    • /
    • pp.372-376
    • /
    • 2010
  • 세계적인 자원 확보에 대한 경쟁과 재래에너지의 한계성으로 비재래 에너지가 미래의 에너지원으로 주목받고 있다. 그중에서도, 특히 중질유 및 오일샌드를 경질화하여 부가가치를 높이는 중질유분의 고부가화 공정에 대한 수요가 증가하고 있다. 다양한 형태의 중질 탄화수소로부터 Deasphalted Oil (DAO)를 생산하는 Solvent Deasphalting (SDA) 기술이 기존 정제산업에서 사용되어져 왔고, 비재래 에너지원에서의 사용에도 주목받고 있다. 자원 확보 경쟁에 나선 일부 국가에서는 SDA 기술에 대하여 이미 활발한 연구개발 및 DAO의 상업생산을 시작하고 있다. 본 연구에서는 SDA 기술 개발을 위해 필요한 특허분석을 하였고, SDA특허기술이 출원되기 시작한 1970년대부터 최근까지의 한국, 미국, 일본, 캐나다(캐나다 특허는 1950년도 이후 문헌부터 검색), 유럽, 국제특허를 이용하여, 추출, 회수, 용매 및 기타로 세부기술을 분리한 후, 총 334건을 SDA 기술과 관련된 특허로 추출하여 분석하였다. SDA 기술의 연도별 출원동향을 살펴보면, 대략 10년을 주기로 감소하는 구간이 나타나나 전체적으로는 증가하고 있는 경향을 보이고 있으며, 미국특허가 131건(39%)으로 가장 많으며, 그 다음으로 캐나다특허 83건(25%), 유럽특허 45건(13%), 일본특허 35건(11%)으로 나타났으며, 한국특허는 6건(2%)을 출원하여 가장 낮은 출원건수를 보였다. 다른 나라에 비해 SDA 관련 기술이 취약한 한국은 에너지 자원 기술의 효율적 이용을 위해서 SDA 기술에 대한 연구 개발 및 정부지원이 반드시 필요할 것으로 생각된다.

마이크로 광 조형 기술을 이용하여 미세 유체 시스템을 개발하기 위한 가상 조립 공정의 개발 (Development of Virtual Assembly Process for the Fabrication of Micro-fluidic Systems Using Micro-stereolithography Technology)

  • 강현욱;이인환;조동우
    • 한국공작기계학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국공작기계학회 2004년도 춘계학술대회 논문집
    • /
    • pp.304-309
    • /
    • 2004
  • As it is difficult to construct a micro-fluidic system composed of micro-mixers, micro-channels and/or micro-chambers in a single process, an assembly process is typically used. The assembling and bonding of micro-parts, however, introduces other problems. In this work, a virtual assembly process was developed that can be used to design various micro-fluidic systems before actual fabrication commences. In the process, the information required for the micro-stereolithography process is generated automatically. Consequently, complex micro-fluidic systems can be fabricated in a single process, thereby avoiding the need for additional assembly or bonding processes. Using the developed process, several examples were fabricated.

  • PDF

반도체 전공정의 하드마스크 스트립 검사시스템 개발 (Development of Hard Mask Strip Inspection System for Semiconductor Wafer Manufacturing Process)

  • 이종환;정성욱;김민제
    • 반도체디스플레이기술학회지
    • /
    • 제19권3호
    • /
    • pp.55-60
    • /
    • 2020
  • The hard mask photo-resist strip inspection system for the semiconductor wafer manufacturing process inspects the position of the circuit pattern formed on the wafer by measuring the distance from the edge of the wafer to the strip processing area. After that, it is an inspection system that enables you to check the process status in real time. Process defects can be significantly reduced by applying a tester that has not been applied to the existing wafer strip process, edge etching process, and wafer ashing process. In addition, it is a technology for localizing semiconductor process inspection equipment that can analyze the outer diameter of the wafer and the state of pattern formation, which can secure process stability and improve wafer edge yield.

수리 가능 시스템의 신뢰성 분석 절차 및 사례 연구 (Reliability Analysis Procedures for Repairable Systems and Related Case Studies)

  • 이성환;염봉진
    • 한국군사과학기술학회지
    • /
    • 제9권2호
    • /
    • pp.51-59
    • /
    • 2006
  • The purpose of this paper is to present reliability analysis procedures for repairable systems and apply the procedures for assessing the reliabilities of two subsystems of a specific group of military equipment based on field failure data. The mean cumulative function, M(t), the average repair rate, ARR(t), and analytic test methods are used to determine whether a failure process follows a renewal or non-renewal process. For subsystem A, the failure process turns out to follow a homogeneous Poisson process, and subsequently, its mean time between failures, availability, and the necessary number of spares are estimated. For subsystem B, the corresponding M(t) plot shows an increasing trend, indicating that its failure process follows a non-renewal process. Therefore, its M(t) is modeled as a power function of t, and a preventive maintenance policy is proposed based on the annual mean repair cost.

RFID 시스템 구축을 위한 장비 BMT (BMT for RFID Facility Installation )

  • 송재관;김기학;허홍석;박종흥
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국정보처리학회 2008년도 추계학술발표대회
    • /
    • pp.763-765
    • /
    • 2008
  • 최근 물류가 취급되는 발착장에서는 업무효율을 높이기 위해 RFID 시스템을 구축하여 물류의 발착업무를 자동으로 수행하는 사례가 늘고 있다. 본 고는 우편집중국 발착장에 900MHz 대역의 RFID 시스템을 구축하기에 앞서, 시스템을 구성하는 주요 장비의 기능 및 성능을 사전에 검증하고 대상장비의 신뢰성을 제고하고 시간과 노력 및 비용을 줄이기 위해 BMT 를 실시한 내용을 기술한 것이다. BMT 의 주요 항목으로는, RFID 고정형 리더의 전파간섭시험, 주파수 호핑시험, 롤파렛 인식시험 등이었으며, 해당 장비의 기능 및 성능을 기술적으로 검증할 수 있었다.