• 제목/요약/키워드: Post process

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S/H Life Time에 따른 WSix의 특성 변화에 관한 연구 (A Study on the Characteristics change of WSix Thin Films by S/H Life Time)

  • 정양희;강성준
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제6권5호
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    • pp.689-695
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    • 2002
  • 막질의 조성은 공정 개발과 고품질 생산 적용을 위한 반도체 소자의 제조에 있어서 풍요한 요소의 하나 이다. 막의 표면과 계면의 조성은 기본적으로 AES측 통하여 알 수 있다. 본 연구에서는 온도, DCS post flow, shower head life time 등과 같은 공정조건으로 LPCVD법을 이용한 tungsten suicide 박막을 증착하고 이들의 구조적, 전기적 특성과 조성비를 측정하며 WSix박막을 해석하였고 이로부터 Si/W의 조성비를 비교하였다. Si와 W의 조성비는 DCS post flow에 의하여 WSix박막의 표면에서 증가하였으며, 폴리실리콘과 tungsten silicide 계면에서는 온도의 증가에 따라 조성비가 증가함을 알 수 있었다. 이 결과는 메모리 소자 제조의 WSix 박막 증착의 공정조건 최적화에 적용될 수 있다.

포스트텐션 콘크리트 보에서 비부착 외부강봉의 응력 (Stress of External Steel Rod in Post-Tensioned Concrete Beam)

  • 이수헌;강현구;신경재
    • 한국공간구조학회논문집
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    • 제15권1호
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    • pp.47-55
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    • 2015
  • This paper shows the simplified equation to predict the ultimate moment capacity and corresponding rod stress in reinforced concrete beam with external post-tensioning rods. Because the stress of external post-tensioning rod depends on the beam deflection, the previous analytical model for post-tensioned beams requires a tedious iteration process. Also, the stress equations in ACI code or other researchers' models are suitable only for internal tendons in concrete beams. In this study, given the lack of analytical approaches to predict the nominal stress of the external unbonded rod, a simple and robust equation has been proposed for externally post-tensioned concrete beams. It is concluded that the proposed equation predicted the stress of external steel rods in post-tensioned concrete beams reasonably well.

계면활성제가 첨가된 DHF의 Post-Oxide CMP 세정 공정에의 적용 연구 (Application of Surfactant added DHF to Post Oxide CMP Cleaning Process)

  • 류청;김유혁
    • 대한화학회지
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    • 제47권6호
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    • pp.608-613
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    • 2003
  • Post-Oxide CMP(Chemical-Mechanical Polishing) 결과 실리콘 웨이퍼를 오염 시키고 있는 슬러리 입자의 세정 가능성을 조사하기 위하여DHF(Diluted HF)에 비이온성 계면 활성제인 PAAE(Polyoxyethylene Alkyl Aryl Ether), 비양성자성 용제인 DMSO(Dimethylsulfoxide) 와 초순수의 혼합물인 새로운 세정액을 제조하였다. 세정력을 평가하기 위해서 세정제 내에서 각각 다른 제타 포텐셜을 갖는 실리카($SiO_2$), 알루미나($Al_2O_3$)와 PSL(polystylene latex) 입자를 실리콘 웨이퍼 표면의 산화막에 인위적으로 오염시킨 후 실험에 이용하였다. 초음파하에서 세정액의 성능 평가 결과 본 세정기술은 효과적인 입자의 세정능력과 금속이온에 대한 세정 능력을 나타내고 있음을 확인하였다. 즉 기존의 APM($NH_4OH,\;H_2O_2$와 D.I.W의 혼합물)과 달리 상온에서 세정이 가능하고 세정과정이 단축 되었으며, 낮은 농도의 HF를 사용함으로써 최소의 에칭에 의하여 표면 거칠기를 감소시킬 수 있음을 보여주고 있다. 또한 주요 CMP 금속 배선 물질들에 대한 낮은 부식력으로 기존의 CMP 후 세정공정에 뿐만 아니라 차세대CMP 공정으로 각광 받고 있는 Copper CMP 에 대한 Brush 세정 공정의 보조 세정제로 본 세정제가 적용될 가능성이 있음을 확인하였다.

반품과정에서의 소비자만족.불만경험 (Consumer Satisfaction and Dissatisfaction in Return Process)

  • 박경애
    • 한국의류학회지
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    • 제30권7호
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    • pp.1116-1125
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    • 2006
  • This study investigated consumer satisfaction and dissatisfaction experiences in post-purchase product return process. As an exploratory research the study collected qualitative data of subjective consumer experiences using an open-ended questionnaire and identified and classified themes and patterns of satisfaction and dissatisfaction experiences. A total of 113 cases were categorized into satisfied experiences, unsatisfied experiences, and neutral experiences. Further, satisfied experiences were sub-categorized into kind sales associates, quick and easy return process, and services higher than expected based on sources of satisfaction in the return process while unsatisfied experiences were sub-classified into rejection of return, attitude of sales associates, and hassle of return process. In-store adaptive behaviors and intentions on future behaviors were also observed. The results indicated that service quality in the post-purchase service encounter and consumer expectation were important in determining satisfaction and dissatisfaction in the return process. Insights for research questions were proposed.

Dislocation-Free Shallow Trench Isolation 공정 연구 (A study on the Dislocation-Free Shallow Trench Isolation (STI) Process)

  • 유해영;김남훈;김상용;이우선;장의구
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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    • pp.84-85
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    • 2005
  • Dislocations are often found at Shallow Trench Isolation (STI) process after repeated thermal cycles. The residual stress after STI process often leads defect like dislocation by post STI thermo-mechanical stress. Thermo-mechanical stress induced by STI process is difficult to remove perfectly by plastic deformation at previous thermal cycles. Embedded flash memory process is very weak in terms of post STI thermo-mechanical stress, because it requires more oxidation steps than other devices. Therefore, dislocation-free flash process should be optimized.

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상대밀도와 반복전단이력의 차이에 의한 모래의 액상화 후 재압축 특성 (Recompression Properties of Sand in Post-Liquefaction Process According to Relative Density and Cyclic Loading History)

  • 권영철
    • 한국지반환경공학회 논문집
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    • 제13권1호
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    • pp.21-29
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    • 2012
  • 액상화에 의한 지반 파괴는 지반 진동이 발생하는 도중은 물론이고 지반 진동이 종료된 이후에도 크게 발생할 가능성이 있다. 이러한 지반 변형 혹은 파괴 과정 중에는 지반 내에서 과잉간극수압의 재분배가 일어나고, 그 결과 시시각각 흙의 유효응력이 변화하게 된다. 따라서 지진 후 배수 과정에서는 전체 배수량의 변화뿐만 아니라 배수과정에서 흙의 유효응력 변화특성이 매우 중요하다고 생각된다. 본 연구의 주요한 목적은 다양한 비배수 전단이력을 모래에 가한 후 발생하는 체적압축특성, 즉 체적변형률과 평균유효응력의 관계를 밝히는 것이다. 본 연구에서는 모래의 상대밀도와 반복전단이력을 변화시켜가면서 반복전단 삼축압축시험을 실시하고 그 결과를 액상화 후의 재압축 특성에 초점을 맞추어 분석하였다. 시험 결과 모든 경우에서 평균유효응력이 0이 되는 영역에서 체적변형률의 발생이 급증하는 패턴을 보였으며 세립분을 포함하고 있는 풍화토가 보다 완만한 패턴을 보이고 있었다. 또한 반복재하에 의한 액상화 후의 압축특성은 누적 손실에너지와 최대전단변형률에 크게 의존하고 있으며 이러한 경향은 상대밀도나 재하이력 및 흙의 종류에 관계없이 동일한 경향으로 나타나고 있음을 알 수 있었다. 특히 세립분을 포함하는 모래에서는 누적 손실에너지와 최대체적변형률의 일정한 추세선을 확인할 수 있었으나, 표준사와 같은 입도가 균등한 흙에서는 팽창 특성에 의해 유효응력이 일시적으로 상승하면서 통일성 있는 관계로 파악하기 어려웠다.

졸-겔법에 의해 제조된 Al-Doped ZnO 박막의 후열처리 온도에 따른 전기 및 광학적 특성 (Optical and Electrical Properties with Various Post-Heating Temperatures in the Al-Doped ZnO Thin Films by Sol-Gel Process)

  • 고석배;최문순;고형덕;이충선;태원필;서수정;김용성
    • 한국세라믹학회지
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    • 제41권10호
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    • pp.742-748
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    • 2004
  • 비등점이 낮은 용매인 isopropanol에 용질농도 0.7mol/$\iota$ Zn acetate를 용해시키고 dopant로 Al chloride를 첨가하여 균일하고 안정한 sol을 합성하였다. 졸-겔법에 의한 Al-doped ZnO(AZO) 박막의 제조시 $500\~700^{\circ}C$의 범위에서 후열처리 온도를 제어하여 박막의 전기 및 광학적 특성을 조사하였다. 후열처리 온도가 증가할수록 (002) 면으로의 c-축 결정배향성은 증가하였고, 박막 표면은 균일한 나노입자의 미세구조를 형성하였다. 광 투과도는 $650^{\circ}C$ 이하의 후열처리 온도에서 $86\%$이상이었으나, $700^{\circ}C$에서는 감소하였다. 박막의 전기 비저항 값은 $650^{\circ}C$ 이하에서 열처리 온도가 증가함에 따라 73에서 22$\Omega$-cm로 감소하였으나 $700^{\circ}C$에서 580$\Omega$-cm로 급격히 증가하였다. 후열처리 온도 $700^{\circ}C$에서 AZO 박막의 전기 및 광학적 특성의 열화는 XPS 분석결과, 박막 표면에 석출된 $Al_2O_3$ 상에 기인하였다. AZO 박막의 전기 및 광학적 특성 향상을 위한 최적의 후열처리 온도는 $600^{\circ}C$였다.

다중지능을 활용한 과학수업이 초등학생의 과학학습동기, 학업성취도 및 과학탐구능력에 미치는 효과 - 3학년 '지층과 화석' 단원을 중심으로 - (The Effects of Science Class using Multiple Intelligence on the Learning Motivation, Academic Achievement and Science Process Skill of Elementary Student - Focused on 'Stratum and Fossil' Unit in 3rd Grade -)

  • 김진현;이형철
    • 한국초등과학교육학회지:초등과학교육
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    • 제36권1호
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    • pp.31-42
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    • 2017
  • This study aimed to investigate the effect of science class using multiple intelligence on science learning motivation, academic achievement and science process skill of elementary student. The number of participants were 98, 4 classes of $3^{rd}$ graders in G elementary school in B city. The experimental group, 2 classes including 49 participants, had science classes using multiple intelligence while the comparative group, 2 classes including 49 participants, took ordinary teacher-driven lessons using teacher's guidebook. Pre and post tests were done before and after executing lessons to assess the changing in each group's science learning motivation, academic achievement and science process skill. The results of this study can be summarized as follows: First, the pre and post test results of science learning motivation revealed that the experimental group had higher improvement compared to the comparative group and the difference was meaningful. Second, the post test results of the science academic achievement showed that the experimental group had higher average value compared to the comparative group and the difference was meaningful. Third, the pre and post test results of basic science process skill showed that the experimental group had higher average value compared to the comparative group and the difference was meaningful, especially in inference and prediction elements.

Post-Chlorination Process Control based on Flow Prediction by Time Series Neural Network in Water Treatment Plant

  • Lee, HoHyun;Shin, GangWook;Hong, SungTaek;Choi, JongWoong;Chun, MyungGeun
    • International Journal of Fuzzy Logic and Intelligent Systems
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    • 제16권3호
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    • pp.197-207
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    • 2016
  • It is very important to maintain a constant chlorine concentration in the post chlorination process, which is the final step in the water treatment process (hereafter WTP) before servicing water to citizens. Even though a flow meter between the filtration basin and clear well must be installed for the post chlorination process, it is not easy to install owing to poor installation conditions. In such a case, a raw water flow meter has been used as an alternative and has led to dosage errors due to detention time. Therefore, the inlet flow to the clear well is estimated by a time series neural network for the plant without a measurement value, a new residual chlorine meter is installed in the inlet of the clear well to decrease the control period, and the proposed modeling and controller to analyze the chlorine concentration change in the well is a neuro fuzzy algorithm and cascade method. The proposed algorithm led to post chlorination and chlorination improvements of 1.75 times and 1.96 times respectively when it was applied to an operating WTP. As a result, a hygienically safer drinking water is supplied with preemptive response for the time delay and inherent characteristics of the disinfection process.

리미티드 에디션 패션제품 구매자의 구매의사결정과정에 관한 연구 (A Qualitative Research on Purchase Decision-Making Process by Limited Edition Fashion Consumers)

  • 황경의;고애란
    • Human Ecology Research
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    • 제54권6호
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    • pp.599-610
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    • 2016
  • The purposes of this study are to identify the characteristics of limited edition fashion consumers, to analyze their purchase decision-making processes, and to examine negative factors of consumers' recognition toward limited edition fashion products. A qualitative investigation was conducted by doing in-depth interviews with 11 selected consumers in their twenties and thirties who have actively purchased and consumed limited edition fashion products. The results of this study can be summarized as follows. First, there are four sub-categories of appearance management activity, acceptance of fashion trend, information-seeking behavior, and hedonic shopping orientation for the limited edition fashion consumers' characteristics. Second, the purchase decision-making process of limited edition fashion consumers are identified as seven steps: need recognition, information search, evaluation of alternatives, planning and courtship, purchase, post-purchase evaluation, and post-purchase behavior. Courtship/attachment formation and post-purchase behavior are unique steps when compared to general purchase decision-making process. Third, this study identified negative factors of consumers' recognition toward limited edition this study in order to suggest several improvement plans for enterprises using limited marketing. Four sub-categories are examined: outrageous price, tricks of company, fatigue due to purchasing competition, and re-sellers. In conclusion, this study indicates that the purchase decision-making process of limited edition consumers, which involves two distinctive steps including courtship/attachment formation and post-purchase behavior, can be differentiated from general consumers. The results of this study provides preliminary data for further research for in-depth analysis of limited edition consumers.