BCl$_3$ , BCl$_3$ /Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 와 AlGaAs 반도체 소자의 건식식각
(Dry Etching of GaAs and AlgaAs Semiconductor Materials in High Density BCl$_3$ , BCl$_3$ /Ar Inductively Coupled Plasmas)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.1
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- pp.31-36
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- 2003